一种EBSD用无图像漂移试样座的制作方法

本实用新型涉及一种用于扫描电镜分析时固定试样的无图像漂移试样座。

背景技术：

在电子背散射衍射实验，简称EBSD实验时，常常要将试样倾斜70°。一般是将试样用导电胶粘贴在样品台上，再将样品台和试样一起倾斜70°。这种方式，对薄试样效果尚可，但对于镶嵌后的试样，则会发生图像漂移。因为镶嵌后的试样体积较大，比较重，用导电胶固定后倾斜70°，试样会由于重力作用发生缓慢的滑移，最终会导致最先采集的二次电子像与EBSD分析数据不能很好地对应，测试精度也会大受影响。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服现有技术缺陷，提供一种EBSD用无图像漂移试样座。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种EBSD用无图像漂移试样座，由底座、立柱和第一定位销组成，第一定位销固定在底座底部中心，工作时第一定位销插入扫描电镜样品台上的小孔将底座定位，立柱固定在底座上表面，立柱的立面有一个倾斜角为α的支承斜面。

进一步的，所述倾斜角α为70°。

进一步的，还有一个杯状试样座，杯状试样座底部固定有第二定位销，支承斜面上开有定位孔，工作时第二定位销插入支承斜面上的定位孔，使杯状试样座底面与支承斜面贴合固定。

进一步的，杯状试样座侧壁穿有可将试样固定的锁紧螺栓。

本实用新型可以将试样固定在预设的支承斜面上，不必在实验时将试样粘贴在样品台上后一起倾斜观察，因而试样不会发生滑移，保证了图像的测试精度。

附图说明

图1是底座结构示意图。

图2是杯状试样座结构示意图。

图中，1-底座；2-支承斜面；3-定位孔；4-第一定位销；5-杯状试样座；6-锁紧螺栓；7-第二定位销；8-立柱。

具体实施方式

下面结合附图作进一步描述：

实施例1：如图1所示，一种EBSD用无图像漂移试样座，由底座1、立柱8和第一定位销4组成，第一定位销4固定在底座1底部中心，工作时第一定位销4插入扫描电镜样品台上的小孔将底座1定位，立柱8固定在底座1上表面，与底座1为一体式结构，立柱8的立面有一个倾斜角为α的支承斜面2，根据EBSD实验要求，倾斜角α为70°，也可根据需要设定为其它角度。当薄片试样做EBSD分析时，可以直接用导电胶将试样粘附在支承斜面2上，因为试样比较薄，重量轻，不会因重力发生滑移，图像不会漂移。

实施例2：如图1、图2所示，除与实施例1相同的试样座外，还有一个杯状试样座5，杯状试样座5底部固定有第二定位销7，支承斜面2上开有定位孔3，工作时第二定位销7插入支承斜面2上的定位孔3，使杯状试样座5底面与支承斜面2贴合固定，同时底座1上部与支承斜面2交汇处挖出相应空间，便于与杯状试样座5侧壁贴合，杯状试样座5侧壁穿有可将试样固定的锁紧螺栓6。当镶嵌试样做EBSD分析时，将镶嵌试样放入杯状试样座5中，再将锁紧螺栓6拧紧，将镶嵌试样固定，然后将第二定位销7插入支承斜面2上的定位孔3中。这样，整个试样就固定好了，试样倾斜度与支承斜面2一致，满足实验要求，而且试样不会因重力发生滑移，图像不会漂移。