技术总结
本实用新型公开了一种混合式非球面透镜模具的在位测量系统，包括接触探针、气浮轴承、光学干涉系统、图像采集处理系统和软件处理系统，所述光学干涉系统包括：一个光源、一个激光扩束系统、一个猫眼反射镜、两个反射镜、一个偏振分光镜、一个1/2λ波片、三个1/4λ玻片、一个分束光栅或全息分束单元、一个空间滤波器和一组偏振片组；所述图像采集处理系统包括：CCD相机、图像采集卡和计算机，软件处理系统包括：相位计算模块、面形坐标转换模块、曲面拟合模块和误差分析模块。本实用新型的有益效果：位移测量的精度可达纳米量级，并且能实现实时的在位测量，测量过程可避开振动噪声的干扰，且测量准确性和稳定性高。
技术研发人员：朱勇建;曹胜;范玉峰;王宇
受保护的技术使用者：浙江科技学院（浙江中德科技促进中心）
文档号码：201621091818
技术研发日：2016.09.29
技术公布日：2017.05.03