成像光谱仪的制作方法

文档序号:11072839阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种成像光谱仪,其特征在于,包括沿光线传输方向依次设置的振镜组或柱面镜、第一透镜、反射镜、第二透镜、二向色镜、物镜、光栅、成像透镜及相机,所述第一透镜和所述第二透镜垂直设置,所述反射镜设于所述第一透镜的焦点处,样品设置于所述物镜出射激光的一端,所述反射镜、所述第二透镜、所述二向色镜、所述物镜和所述样品设于同一直线上,飞秒激光射向所述振镜组或柱面镜,经所述第一透镜聚焦于所述反射镜,被所述反射镜反射至所述第二透镜准直并射向所述二向色镜,所述二向色镜透射激光而反射荧光,透射过所述二向色镜的飞秒激光经所述物镜后射向样品,样品中的荧光粉受所述飞秒激光的激发产生荧光并射向所述二向色镜,荧光被所述二向色镜反射至所述光栅进行光谱分离,经所述光栅光谱分离后的荧光经过所述成像透镜并成像于所述相机的感光面。

2.如权利要求1所述的成像光谱仪,其特征在于,所述振镜组包括第一机械振镜和第二机械振镜,所述第一机械振镜的扫描方向为快轴,所述第二机械振镜的扫描方向为垂直于所述快轴的慢轴。

3.如权利要求2所述的成像光谱仪,其特征在于,所述第一机械振镜和所述第二机械振镜相互平行设置。

4.如权利要求2所述的成像光谱仪,其特征在于,所述第一机械振镜和所述第二机械振镜相对于水平方向45°设置。

5.如权利要求1所述的成像光谱仪,其特征在于,所述反射镜和所述二向色镜相互垂直,且所述二向色镜相对于水平方向45°设置。

6.如权利要求1所述的成像光谱仪,其特征在于,所述光栅垂直于水平方向设置。

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