技术总结
本实用新型公开了一种参考镜精确调节机构，包括调节支架，调节支架设置绕X轴旋转的X轴向偏摆件，所述调节支架与X轴向偏摆件之间通过转轴组件相互旋转连接，所述的调节支架设有驱动X轴向偏摆件转动的X轴驱动电机；所述的X轴向偏摆件设有绕Y轴旋转的Y轴向偏摆件，在X轴向偏摆件上设有驱动Y轴向偏摆件转动的Y轴驱动电机，所述的Y轴驱动电机与X轴驱动电机均为直线往复步进电机，所述X轴向偏摆件的旋转轴线以及Y轴向偏转的旋转轴线穿过参考镜的中心，能够大大降低参考镜自动调节结构成本并提升干涉测量的稳定性和准确性。
技术研发人员：周其
受保护的技术使用者：深圳市维度科技有限公司
文档号码：201621484694
技术研发日：2016.12.29
技术公布日：2017.09.26