压电挠曲传感器的制作方法

文档序号:14958152发布日期:2018-07-17 23:59阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
提供一种能够以较高检测效率对被安装的安装基板的挠曲进行检测的压电挠曲传感器。压电挠曲传感器(1)中,在平面形状为矩形或者正方形的第1压电板(11)的第1主面(11a),经由第1接合材料层(5)来接合第1封装基板(3),在第1压电板(11)的第2主面(11b),经由第2接合材料层(6)来接合第2封装基板(4)。在第1压电板(11)的第1主面(11a)以及第2主面(11b)的一方设置有第2电极(12),在另一方设置有第1、第2分割电极(13、14)。第1压电板(11)的极化轴方向(P)平行于第1以及第2主面(11a、11b)、并且是沿着矩形或者正方形的任意边的方向。在俯视时,在与第1分割电极(13)和第2分割电极(14)之间的第1电极非形成区域的至少一部分重叠的位置,在第1封装基板(3)设置有在与极化轴方向(P)交叉的方向上延伸的槽(10)。

技术研发人员:千田进悟;源明裕也;市丸正幸
受保护的技术使用者:株式会社村田制作所
技术研发日:2016.10.31
技术公布日:2018.07.17
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