本发明涉及用于使探针与基板接触的检查辅具、包括该检查辅具的基板检查装置以及基板检查方法。
背景技术：
以往已知如下技术：将作为检查对象的多个单位基板形成为多行多列的矩阵状来作成集合基板，并对应于相邻的多个单位基板的检查点而配置多个检查辅具，一次性地对该集合基板内的多个单位基板进行检查(参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平8-21867号公报
技术实现要素：
然而，在配置有多个单位基板并将该多个单位基板汇集于一张基板上而成的集合基板中，在集合基板的制造工序中，集合基板内的各单位基板的检查点相比于设计上的理想位置产生偏移。这是因为存在以下情况：通过增层结构制造的基板在层叠各层时，利用高温压焊进行固定，构成基板的基材收缩。尤其在由柔性基板构成的集合基板中，由于使用薄而富有柔软性的材料，因此在其制造时基板伸长的倾向明显。
像这样，当基板收缩或伸长时，使得本来应该使探针接触的检查点的位置与安装于检查辅具的探针之间的位置关系产生偏移，导致无法准确地检查基板。尤其在为集合基板的情况下，由于包括多个单位基板，因此基板面积大。其结果是，存在如下缺陷：基板收缩或伸长的情况下的检查点的位置偏移量容易变大，从而无法准确地执行基板检查的可能性增大。
本发明的目的在于提供一种即使在基板收缩或伸长的情况下也容易准确地执行基板检查的检查辅具、基板检查装置以及基板检查方法。
根据本发明的一个方面的检查辅具安装于检查作为检查对象的被检查基板的检查装置主体，用于使探针分别与设置于所述被检查基板的多个检查点接触，所述检查辅具包括：板状的固定板，其具有第一面和第二面；以及第一相对部件及第二相对部件，该第一相对部件及第二相对部件安装于所述固定板，所述第一相对部件以与所述被检查基板的一部分的第一区域中设置的检查点的配置对应的方式配置所述探针，并且具有：用于与所述第一区域相对配置的第一相对面；以及第一安装面，其安装于所述固定板的所述第二面，所述第二相对部件以与所述被检查基板的不同于所述第一区域的第二区域中设置的检查点的配置对应的方式配置所述探针，并且具有：第二相对面，其用于与所述第二区域相对配置；以及第二安装面，其安装于所述固定板的所述第二面，所述固定板的所述第一面为用于安装于所述检查装置主体的面，在所述固定板中的所述第二相对部件安装于所述第二面的区域内形成有垂直地贯通所述固定板的多个固定侧定位孔，该多个固定侧定位孔用于贯穿插入用于定位的定位销，在所述第二相对部件上形成有定位用的移动侧定位孔，从而所述固定侧定位孔与所述移动侧定位孔构成多个对，其中，所述移动侧定位孔与所述多个固定侧定位孔分别对应而成对，并且能够接受所述定位销的末端侧，所述多个对包括如下的对：在向所述多个对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中的至少一对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入所述定位销来将所述固定板和所述第二相对部件定位的状态下，所述固定侧定位孔与所述移动侧定位孔位于沿着规定的第一方向偏移的位置的对。
根据该结构，以与设置于被检查基板的检查点的配置对应的方式配置探针的第一及第二相对部件安装于固定板。而且，在固定板的供第二相对部件安装的区域内形成有多个固定侧定位孔。另一方面，在第二相对部件形成有与多个固定侧定位孔各自对应而成对并且能够接受定位销的末端侧的移动侧定位孔。并且，如果向多个对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中的至少一对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入定位销来将固定板与第二相对部件定位，则成对的固定侧定位孔与移动侧定位孔被设成以位于沿着规定的第一方向偏移的位置的方式配置的对。
在此，当向位于所述偏移的位置的对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入定位销时，第二相对部件以位于该偏移的位置的固定侧定位孔的位置与移动侧定位孔位置一致的方式相对于固定板移动。如果第二相对部件相对于固定板移动，则第一相对部件与第二相对部件之间的位置关系发生变化。即，根据该结构，通过向具有恰当的偏移量的固定侧定位孔与移动侧定位孔的对中插入定位销，能够调节第一相对部件与第二相对部件之间的位置关系，即能够调节利用第一相对部件配置的探针与利用第二相对部件配置的探针之间的位置关系。因而，即使在被检查基板收缩或伸长的情况下，也容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触。其结果是，容易准确地执行基板检查。
并且，优选所述第一方向为沿着所述第一相对部件与所述第二相对部件的排列方向的方向。
根据该结构，当向位于所述偏移的位置的对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入定位销时，第二相对部件能够沿着第一相对部件与第二相对部件的排列方向移动，即能够调节利用第一相对部件配置的探针与利用第二相对部件配置的探针之间的间隔。因而，即使在被检查基板收缩或伸长的情况下，也容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触。其结果是，容易准确地执行基板检查。
并且，优选位于所述偏移的位置的对为多个对，该多个对的沿着所述第一方向的偏移量彼此不同。
根据该结构，通过恰当地选择将定位销插入的对，能够变更使第二相对部件移动的移动量。由此，第二相对部件的位置调整的自由度提高。其结果是，容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触，从而容易准确地执行基板检查。
并且，优选所述至少一对为沿着所述第一方向的偏移量彼此相等的多个对，位于所述偏移的位置处的对为沿着所述第一方向的偏移量彼此相等的多个对。
根据该结构，能够向第二相对部件的形成于彼此不同的位置处的多个对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入定位销。其结果是，能够对安装于固定板的第二相对部件的方向进行规定。因而，容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触。其结果是，容易准确地执行基板检查。
并且，优选位于所述偏移的位置的对包含如下的多个组，所述多个组中的各个组包含沿着所述第一方向的偏移量彼此相等的多个对，所述多个组的沿着所述第一方向的偏移量彼此不同。
根据该结构，通过恰当地选择多个将定位销插入的对，能够对安装于固定板的第二相对部件的方向进行规定，并且能够变更使第二相对部件移动的移动量。由此，能够对安装于固定板的第二相对部件的方向进行规定，并且能够提高第二相对部件的位置调整的自由度。其结果是，容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触，从而容易准确地执行基板检查。
并且，优选在所述定位销的末端部形成有从该定位销的外周朝向轴心倾斜并且相对于所述定位销的轴线所成的角度为45度以下的倾斜面，位于所述偏移的位置处的对的沿着所述第一方向的偏移量比所述倾斜面的沿着与所述轴线垂直的方向的宽度小。
根据该结构，当向位于所述偏移的位置的对中插入定位销时，第二相对部件通过倾斜面向消除该被插入的对的固定侧定位孔与移动侧定位孔之间的偏移的方向移动。其结果是，通过将定位销插入，能够使第二相对部件移动。
并且，优选所述定位销包括：螺纹部，其形成于后端侧；以及圆柱形的定位部，其直径比所述螺纹部的直径小且从所述螺纹部的末端沿着所述轴线延伸，所述倾斜面形成于所述定位部的末端部，在所述固定侧定位孔的所述第一面侧的开口部附近形成有用于与所述螺纹部螺合的内螺纹部，从所述定位部的后端到所述倾斜面的末端为止的所述轴线方向的长度比所述固定板的厚度短。
根据该结构，当将定位销插入到固定侧定位孔中而使螺纹部与内螺纹部螺合时，定位销的定位部被插入到移动侧定位孔中。在此，由于从定位部的后端到倾斜面的末端为止的轴线方向的长度比固定板的厚度短，因此当向固定侧定位孔与移动侧定位孔的对中插入定位销时，在倾斜面到达移动侧定位孔的开口部周缘之前，定位销的螺纹部到达固定侧定位孔的内螺纹部而彼此的螺纹牙发生干涉。若在该状态下使定位销向螺纹紧固方向旋转，则定位销向移动侧定位孔方向前进，倾斜面与移动侧定位孔的开口部周缘抵接。当进一步使定位销向螺纹紧固方向旋转而使定位销前进时，倾斜面与移动侧定位孔的开口部周缘滑动，第二相对部件伴随定位销的前进而向使固定侧定位孔的位置与移动侧定位孔的位置一致的方向移动，从而定位销的定位部被插入到移动侧定位孔中，将固定侧定位孔和移动侧定位孔进行定位。因而，容易使第二相对部件移动来进行定位。
并且，优选所述定位销的末端部为球面状，该球面状的一部分为从该定位销的外周朝向轴心倾斜的倾斜面，位于所述偏移的位置的对的沿着所述第一方向的偏移量比从相对于所述倾斜面的切线与所述定位销的轴线所成的角度为45度的切点位置到所述定位销的外周为止的沿着与所述轴线垂直的方向的距离小。
根据该结构，当向位于所述偏移的位置的对中插入定位销时，第二相对部件通过倾斜面向消除该被插入的固定侧定位孔与移动侧定位孔之间的偏移的方向移动。其结果是，通过将定位销插入，能够使第二相对部件移动。
并且，优选所述定位销包括：螺纹部，其形成于后端侧；以及圆柱形的定位部，其直径比所述螺纹部的直径小且从所述螺纹部的末端沿着所述轴线延伸，所述倾斜面形成于所述定位部的末端部，在所述固定侧定位孔的所述第一面侧开口部附近形成有用于与所述螺纹部螺合的内螺纹部，从所述定位部的后端到所述切点位置为止的所述轴线方向的长度比所述固定板的厚度短。
根据该结构，通过将定位销插入到固定侧定位孔与移动侧定位孔的对中来进行螺纹紧固，容易使第二相对部件移动来进行定位。并且，由于通过使倾斜面呈球面状，倾斜面与轴线方向所成的角随着远离定位销的轴线位置而变小，因此通过螺纹紧固使定位销前进的力高效地转变为使第二相对部件移动的力。其结果是，能够减小进行螺纹紧固所需的力。
并且，根据本发明的一个方面的基板检查装置包括：上述的检查辅具；以及安装有所述检查辅具的所述检查装置主体。
根据该结构，即使在被检查基板收缩或伸长的情况下，也容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触，其结果是，能够得到容易准确地执行基板检查的基板检查装置。
并且，优选在所述被检查基板设置有多个单位区域，所述多个单位区域为包括所述第一区域和所述第二区域的区域，并且以彼此大致相同的配置而配置有所述检查点，所述检查装置主体包括：驱动部，其使所述被检查基板与所述检查辅具相对地移动；以及移动控制部，其利用所述驱动部使所述被检查基板与所述检查辅具相对移动以使所述各探针依次与所述各单位区域的所述检查点接触。
根据该结构，即使在多个单位区域彼此之间的间隔由于被检查基板的收缩或伸长而发生变化的情况下，也能够使检查辅具移动到各单位区域的该位置。因而，即使在被检查基板收缩或伸长的情况下，也容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触。其结果是，能够得到容易准确地执行基板检查的基板检查装置。
并且，根据本发明的一个方面的基板检查方法使用上述的检查辅具检查所述被检查基板，在所述被检查基板设置有多个单位区域，所述多个单位区域为包括所述第一区域和所述第二区域的区域，并且以彼此大致相同的配置而配置有所述检查点，所述基板检查方法包括：板定位工序，在所述工序中，向所述多个对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中的至少一对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入所述定位销而将所述固定板和所述第二相对部件定位；以及移动工序，在所述工序中，使所述被检查基板与所述检查辅具相对移动以使所述各探针依次与所述各单位区域的所述检查点接触。
根据该基板检查方法，即使在多个单位区域彼此之间的间隔和各单位区域内的第一区域与第二区域之间的位置关系由于被检查基板的收缩或伸长而发生变化的情况下，也能够对应于第一区域与第二区域之间的位置变化而通过板定位工序恰当地对第二相对部件相对于固定板的位置进行定位，即能够调节第一相对部件与第二相对部件之间的位置关系。并且，关于单位区域彼此之间的间隔变化，能够通过移动工序使检查辅具移动到各单位区域的该位置。其结果是，即使在被检查基板收缩或伸长的情况下，也容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触。其结果是，容易准确地执行基板检查。
并且，优选所述多个单位区域被配置成沿着所述第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向的矩阵状，在所述移动工序中，使所述被检查基板与所述检查辅具相对移动以使所述各探针依次与沿所述第二方向排列的一列的各单位区域的所述检查点接触，之后在所述板定位工序中，对应于在所述第一方向上与所述一列邻接的列的所述单位区域而选择所述多个对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中的一对，向该选择出的对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入所述定位销来将所述固定板与所述第二相对部件定位，之后在所述移动工序中，使所述被检查基板与所述检查辅具相对移动以使所述各探针依次与在所述第一方向上相邻的列的所述各单位区域的所述检查点接触。
根据该结构，在多个单位区域配置成矩阵状的情况下，容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触。
这样的结构的检查辅具、基板检查装置以及基板检查方法即使在基板收缩或伸长的情况下也容易准确地执行基板检查。
附图说明
图1是概要性地示出执行本发明的一个实施方式所涉及的基板检查方法的基板检查装置的结构的主视图。
图2是示出图1所示的基板的一例的说明图。
图3是概念性地示出图1所示的检查部驱动机构和检查部的结构的一例的概念图。
图4是示出在固定板上安装有安装板的状态的俯视图。
图5是图4中的v-v线剖视图。
图6是用于说明向图5所示的固定侧定位孔与移动侧定位孔的对中插入定位销时的定位销的作用的说明图。
图7是示出在图5所示的固定侧定位孔与移动侧定位孔的对中插入有定位销的状态的说明图。
图8是用于说明使倾斜面呈球面状的定位销的说明图。
具体实施方式
下面根据附图对本发明所涉及的实施方式进行说明。此外，在各图中标注了相同标记的结构表示相同的结构，省略其说明。图1是概要性地示出执行本发明的一个实施方式所涉及的基板检查方法的基板检查装置1的结构的主视图。图1所示的基板检查装置1为用于对形成于作为检查对象的被检查基板即基板100的电路图案进行检查的装置。在图1中，将基板检查装置1的纸面左右方向设为x轴方向、将纸面深度方向设为y轴方向、将纸面上下方向设为z轴方向来表示方向。
基板100例如可以为柔性基板、环氧玻璃钢板等刚性基板、液晶显示器或等离子体显示器用的电极板以及半导体封装用的封装基板或膜形载体等各种基板。在基板100形成有配线图案，并且设定有用于检查该配线图案的导通、断线、短路等的检查点。作为检查点，恰当地设定有配线图案的规定部位、垫片(pad)、焊垫(land)、电极等。
图2是示出图1所示的基板100的一例的说明图。图2所示的基板100例如为柔性基板，并且为将多个电路板汇集成一张的集合基板。在图2所示的基板100形成有电路板p1与电路板p2成为一组的多个单位区域a11～a14、单位区域a21～a24以及单位区域a31～a34。单位区域a11～a14、单位区域a21～a24以及单位区域a31～a34分别包括第一区域a1和第二区域a2。此外，在各附图中，省略了形成于电路板p1、p2的配线图案、检查点的记载。下面将单位区域a11～a14、单位区域a21～a24以及单位区域a31～a34统称为单位区域a。
第一区域a1以包含形成于电路板p1的检查点的方式设置，第二区域a2以包含形成于电路板p2的检查点的方式设置。在图2所示的例中，电路板p1与电路板p2为相同的电路板。考虑电路板p1、p2的形状而使电路板p1旋转180度来配置电路板p2，以使能够从基板100高效地获取电路板p1、p2。
此外，电路板p1和电路板p2可以为不同的电路板，或者也可以将相同的电路板配置于相同的方向。
图1所示的基板检查装置1包括检查装置主体2、检查辅具3u、3d。即，检查装置主体2相当于从基板检查装置1卸掉检查辅具3u、3d后的部分。检查装置主体2主要包括检查部4u、4d、检查辅具驱动机构5u、5d、基板固定装置6、检查部驱动机构7u、7d、控制部9以及容纳这些各部的壳体8。检查辅具驱动机构5u、5d以及检查部驱动机构7u、7d相当于驱动部的一例。基板固定装置6构成为将作为检查对象的基板100固定于规定的位置。
控制部9例如使用向探针pr供给检查用的电流、电压的电源电路、检测由探针pr检测出的电压信号或电流信号的检测电路以及微型计算机等而构成，通过执行规定的控制程序，控制基板检查装置1的各部的动作以执行基板100的检查。控制部9借助探针pr例如向各检查点供给电压或电流，检测由探针pr从各检查点检测出的电压信号或电流信号，并且将这些检测值或根据检测值计算出的电阻值等与预先存储的基准值进行比较，由此进行基板100的检查。
检查部4u位于固定在基板固定装置6的基板100的上方。检查部4d位于固定在基板固定装置6的基板100的下方。检查部驱动机构7u为使检查部4u沿x轴方向和y轴方向移动的移动机构。检查部驱动机构7d为使检查部4d沿x轴方向和y轴方向移动的移动机构。检查部驱动机构7u、7d能够根据来自控制部9的控制信号使检查部4u、4d移动到x-y平面上的任意位置。以下，将检查部驱动机构7u、7d统称为检查部驱动机构7。控制部9相当于移动控制部的一例。
检查部4u、4d构成为能够装卸用于对形成于基板100的电路图案进行检查的检查辅具3u、3d。检查部4u与检查部4d除了上下翻转以外同样地构成，因此以下将检查部4u、4d统称为检查部4，将检查辅具驱动机构5u、5d统称为检查辅具驱动机构5，将检查辅具3u、3d统称为检查辅具3，下面利用统称来统一说明检查部4u、4d的各部的结构。
图3是概念性地示出图1所示的检查部驱动机构7和检查部4的结构的一例的概念图。图3所示的检查部4通过在检查辅具驱动机构5安装检查辅具3而构成。
检查辅具3包括固定板31、第一相对部件30a以及第二相对部件30b。固定板31具有板状形状，其一个板面为第一面31a，另一板面为第二面31b。固定板31的第一面31a可装卸地安装于检查辅具驱动机构5。此外，固定板31也可以固定地安装于检测辅具驱动机构5。
第一相对部件30a和第二相对部件30b安装于固定板31的第二面31b。
第一相对部件30a通过依次层叠以下板而构成：安装于固定板31的第二面31b的板状的安装板32a；形成有用于与探针pr接触的电极的电极板33a；以及与基板100相对配置的相对板34a。安装板32a、电极板33a以及相对板34a例如利用图略的螺栓等紧固件、粘接剂等成为一体。
安装板32a利用多个螺栓35安装于固定板31。在电极板33a和相对板34a形成有用于插入对螺栓35进行螺纹紧固的螺丝刀的贯通孔351。安装板32a的固定板31侧的板面为第一安装面320a。由此，第一相对部件30a整体安装于固定板31。
相对板34a的与基板100相对配置的一侧的板面为第一相对面341a。在相对板34a以与设置于第一区域a1的各检查点的配置对应的方式形成有用于保持探针pr的贯通孔。在该贯通孔中插入探针pr，探针pr的末端部从第一相对面341a稍微突出。
在电极板33a的相对板34a侧的板面上形成有电极37，该电极37以与形成于相对板34a的各贯通孔对应的方式配置。由此，插入到各贯通孔中的探针pr的后端部与各电极37接触。各电极37通过图略的线缆与控制部9连接。
第二相对部件30b通过依次层叠以下板而构成：安装于固定板31的第二面31b的板状的安装板32b；形成有用于与探针pr接触的电极的电极板33b；以及与基板100相对配置的相对板34b。安装板32b、电极板33b以及相对板34b例如利用图略的螺栓等紧固件、粘接剂等成为一体。
安装板32b利用多个螺栓35安装于固定板31。在电极板33b和相对板34b形成有用于插入对螺栓35进行螺纹紧固的螺丝刀的贯通孔351。将安装板32b的固定板31侧的板面设为第二安装面320b。由此，第二相对部件30b整体安装于固定板31。
在固定板31中的第二相对部件30b安装于第二面31b的区域内形成有垂直地贯通固定板31的固定侧定位孔211～217。固定侧定位孔211～217为用于贯穿插入用于定位的定位销36的贯通孔。
在第二相对部件30b的安装板32b形成有定位用的移动侧定位孔221～227，这些移动侧定位孔221～227与各个固定侧定位孔211～217对应而成对，并且能够接受定位销36的末端侧。此外，在图3中，示出了移动侧定位孔221～227贯通安装板32b的例，但是移动侧定位孔221～227只要能够接受定位销36的末端部即可，可以不必贯通安装板32b。
相对板34b的与基板100相对配置的一侧的板面为第二相对面341b。在相对板34b以与设置于第二区域a2的各检查点的配置对应的方式形成有用于保持探针pr的贯通孔。在该贯通孔中插入探针pr，探针pr的末端部从第二相对面341b稍微突出。
在电极板33b的相对板34b侧的板面形成有以与形成于相对板34b的各贯通孔对应的方式配置的电极37。由此，插入到各贯通孔中的探针pr的后端部与各电极37接触。各电极37通过图略的线缆与控制部9连接。
图4是示出在固定板31安装有安装板32a和安装板32b的状态的俯视图。在图4中示出了从固定板31的第一面31a侧观察到的俯视图。安装板32a呈以能够覆盖第一区域a1的方式与第一区域a1对应的形状。安装板32b呈以能够覆盖第二区域a2的方式与第二区域a2对应的形状。在图4所示的例中，安装板32a与安装板32b的排列方向沿着x轴方向，即第一相对部件30a与第二相对部件30b的排列方向沿着x轴方向。x轴方向相当于第一方向的一例，y轴方向相当于第二方向的一例。
安装板32a、32b在其角部附近利用螺栓35安装于固定板31。在固定板31的供安装板32b安装的位置处，在三处设置有固定侧定位孔211～217。
图5是图4中的v-v线剖视图。在安装板32b利用螺栓35安装于固定板31的状态下，在安装板32b的第二安装面320b的分别与固定板31的固定侧定位孔211～217对应的位置处以与固定侧定位孔211～217成对的方式形成有移动侧定位孔221～227。在图5中示出了在三处设置的固定侧定位孔211～217以及移动侧定位孔221～227中的一处，但是其它两处也同样地构成，因此省略其说明。
图6是用于说明向图5所示的固定侧定位孔214与移动侧定位孔224的对中插入定位销36时的定位销36的作用的说明图。下面，参照图5和图6对定位销36与固定侧定位孔211～217以及移动侧定位孔221～227的结构的一例进行说明。
定位销36包括圆柱状的定位部361、设置于定位部361的末端的倾斜面362以及直径比定位部361的直径大且在外周形成有螺纹牙的螺纹部363。在螺纹部363形成有用于利用螺丝刀进行螺纹紧固的辅具孔或辅具槽。
倾斜面362从定位部361的外周朝向轴心倾斜，例如呈圆锥形状。倾斜面362与定位部361的轴心所成的角度r为45度以下。此外，倾斜面362不限为圆锥状，例如可以为圆锥台状，也可以为球面状，还可以为其它形状。
与三处的固定侧定位孔211～217以及移动侧定位孔221～227对应地准备了三个定位销36。下面，将固定侧定位孔211～217统称为固定侧定位孔21，将移动侧定位孔221～227统称为移动侧定位孔22。
在固定侧定位孔211～217分别形成有能够高精度地接受定位部361的圆孔状的孔部b和以与螺纹部363螺合的方式形成的内螺纹部c。移动侧定位孔221～227呈直径与孔部b的直径相同的圆孔形状。孔部b的长度l2比定位销36的定位部361的长度lb短，当将定位销36插入到固定侧定位孔211～217中而使螺纹部363与内螺纹部c螺合时，定位销36的定位部361被插入到移动侧定位孔221～227中。
在图5所示的例中，示出了将定位销36插入到固定侧定位孔211与移动侧定位孔221的对中的状态。虽然在图5中省略了记载，但是向三处的固定侧定位孔211和移动侧定位孔221的对中的其它两处的固定侧定位孔211和移动侧定位孔221的对中也插入有定位销36。下面，在将定位销36插入到固定侧定位孔211～217和移动侧定位孔221～227的任一对中时，假设将定位销36插入到三处中的标注彼此相同的标记的对应的对中。
在将定位销36插入到固定侧定位孔211与移动侧定位孔221的对中的状态下，固定侧定位孔211的中心轴线与移动侧定位孔221的中心轴线一致。在该状态下，在固定侧定位孔211和移动侧定位孔221以外的其它对中，形成各个对的固定侧定位孔212～217与移动侧定位孔222～227位于沿着x轴方向、即第一相对部件30a与第二相对部件30b的排列方向偏移的位置处。
当具体地例示一例时，移动侧定位孔222位于相对于固定侧定位孔212向-x方向(纸面左方向)偏移20μm的位置处。以下，对于向-x方向的偏移量标注“-”标记，对于向+x方向的偏移量标注“+”标记。移动侧定位孔223位于相对于固定侧定位孔213偏移-40μm的位置处，移动侧定位孔224位于相对于固定侧定位孔214偏移-60μm的位置处，移动侧定位孔225位于相对于固定侧定位孔215偏移+20μm的位置处，移动侧定位孔226位于相对于固定侧定位孔216偏移+40μm的位置处，移动侧定位孔227位于相对于固定侧定位孔217偏移+60μm的位置处。
即，位于孔位置偏移的位置处的、在三处设置的固定侧定位孔212～217以及移动侧定位孔222～227的各个对包括多个组(由三处的固定侧定位孔212与移动侧定位孔222的对构成的组、由三处的固定侧定位孔213与移动侧定位孔223的对构成的组、……、由三处的固定侧定位孔217与移动侧定位孔227的对构成的组)，所述多个组包括沿着x轴方向的偏移量彼此相等的多个对(三处的固定侧定位孔212与移动侧定位孔222的对、三处的固定侧定位孔213与移动侧定位孔223的对、……、三处的固定侧定位孔217与移动侧定位孔227的对)，这些多个组的沿着x轴方向的偏移量彼此不同。
位于孔位置偏移的位置处的固定侧定位孔212～217与移动侧定位孔222～227的对的沿着x轴方向的偏移量d比定位销36的倾斜面362的沿着与轴心垂直的方向的宽度w小。由此，当在固定侧定位孔212～217与移动侧定位孔222～227的对中插入将定位销36时，安装板32b通过倾斜面362向消除该被插入的固定侧定位孔与移动侧定位孔之间的偏移的方向移动。
在此，螺栓35相对于与螺栓35的轴线方向垂直的方向设有规定的游隙。螺栓35的游隙为上述各对的偏移量中最大的偏移量以上，在图5所示的例中，相对于+x方向和-x方向分别设有60μm以上的游隙。因而，当在稍微松动螺栓35的状态下插入定位销36时，安装板32b能够在螺栓35的游隙的范围内移动。
如图6所示，定位销36的将定位部361与倾斜面362合计的长度la、即从定位部361的后端到倾斜面362的末端为止的轴线方向的长度la比固定侧定位孔21的深度、即固定板31的厚度l1短。由此，例如图6所示，当将定位销36插入到固定侧定位孔214与移动侧定位孔224的对中时，在倾斜面362到达移动侧定位孔22的开口部周缘之前，定位销36的螺纹部363到达固定侧定位孔21的内螺纹部c而彼此的螺纹牙发生干涉，使得无法线性地插入。
当在该状态下使用辅具使定位销36向螺纹紧固方向旋转时，定位销36向移动侧定位孔224方向前进，倾斜面362与移动侧定位孔22的开口部周缘抵接。当进一步使定位销36向螺纹紧固方向旋转而使定位销36前进时，倾斜面362与移动侧定位孔22的开口部周缘滑动，安装板32b伴随定位销36的前进而向使固定侧定位孔214的位置与移动侧定位孔224的位置一致的方向移动，从而定位销36的定位部361被插入到移动侧定位孔224中，固定侧定位孔214和移动侧定位孔224被定位。
在定位部361与倾斜面362合计的长度la比固定板31的厚度l1长的情况下，即使想要将定位销36线性地插入到位置偏移的固定侧定位孔21与移动侧定位孔22的对中，倾斜面362也会与移动侧定位孔22的开口部周缘抵接，若在这样的状态下推入定位销36来进行插入，则需要非常大的推入力。
然而，如图6所示，定位部361与倾斜面362合计的长度la比固定板31的厚度l1短，因此即使倾斜面362与移动侧定位孔22的开口部周缘抵接，之后通过使用螺丝刀等辅具使定位销36旋转，也能够使安装板32b移动的同时插入定位销36，将固定板31与安装板32b定位。因而，通过使定位部361与倾斜面362合计的长度la比固定板31的厚度l1短，容易使安装板32b移动来进行定位。
图7是示出将定位销36插入到图5所示的固定侧定位孔214与移动侧定位孔224的对中的状态的说明图。通过在图5所示的固定侧定位孔214与移动侧定位孔224的对中插入定位销36，安装板32b移动，并且如图7所示，固定侧定位孔214的位置与移动侧定位孔224的位置一致。然后，跨过该固定侧定位孔214与移动侧定位孔224而插入定位销36，由此将安装板32b相对于固定板31定位，即、将第二相对部件30b相对于已固定于固定板31的第一相对部件30a定位。
如图5所示，在使固定侧定位孔211与移动侧定位孔221一致时，移动侧定位孔224配置成相对于固定侧定位孔214向-x方向偏移60μm。因而，当使固定侧定位孔214的位置与移动侧定位孔224的位置一致时，如图7所示，使形成有移动侧定位孔224的安装板32b向+x方向移动60μm。
在此，固定侧定位孔211与移动侧定位孔221的对(偏移量为零)、固定侧定位孔212与移动侧定位孔222的对、固定侧定位孔213与移动侧定位孔223的对、固定侧定位孔214与移动侧定位孔224的对、固定侧定位孔215与移动侧定位孔225的对、固定侧定位孔216与移动侧定位孔226的对以及固定侧定位孔217与移动侧定位孔227的对的偏移量彼此不同。因而，能够根据选择哪个对来作为要插入定位销36的对而恰当地设定安装板32b的移动量、即第一相对部件30a与第二相对部件30b之间的间隔。在该情况下，由于安装板32b的移动量为插入了定位销36的固定侧定位孔与移动侧定位孔的偏移量，因此能够高精度地设定第一相对部件30a与第二相对部件30b之间的间隔。
由此，即使在基板100收缩或伸长而使得电路板p1与电路板p2之间的间隔相比于设计上的间隔发生变化的情况下，通过根据该变化量恰当地选择固定侧定位孔与移动侧定位孔的对并插入定位销36，也能够使第一相对部件30a和第二相对部件30b高精度地与电路板p1和电路板p2相对配置，从而使设置于第一相对部件30a和第二相对部件30b的各探针pr高精度地与设置于电路板p1和电路板p2的各检查点接触，由此容易准确地执行基板检查。
图8是用于说明倾斜面362为球面状、例如半球形的定位销36的说明图。图8所示的定位销36的从切点位置px到定位部361的后端部为止的沿着轴线的方向的距离即长度la比固定板31的厚度l1短，该切点位置px是作为包括定位销36的轴线的平面内的线的相对于球面状的倾斜面362的切线364与该轴线所成的角度r为45度的位置。并且，偏移量d设成：在包括切线364与该轴线所成的角度r为45度的切点位置px以及该轴线的平面内，从切点位置px到定位部361的外周为止的与轴线正交的方向的距离w1以下。
由此，与图6所示的定位销36同样地，通过向固定侧定位孔214与移动侧定位孔224中插入定位销36并螺纹紧固，容易使安装板32b移动来进行定位。并且，通过使倾斜面362为球面状，倾斜面362与轴线所成的角度随着远离轴线位置而变小，因此利用螺纹紧固使定位销36前进的力高效地转变为使安装板32b移动的力。其结果是，相比于倾斜面362为圆锥或圆锥台形状的情况，能够减小螺纹紧固所需的力。
另一方面，在如图6所示的定位销36那样倾斜面362为圆锥形状的情况下，容易将倾斜面362与轴心所成的角度r直到轴心位置为止成为45度以下。因而，能够将固定侧定位孔21与移动侧定位孔22的偏移量设为接近定位部361的半径的值，因此如果将倾斜面362设为圆锥形状，则容易使固定侧定位孔21与移动侧定位孔22的偏移量增大。
参照图3，检查辅具驱动机构5由以下部分构成：使检查辅具3相对于检查装置主体2沿x轴方向移动的x辅具驱动部5x；与x辅具驱动部5x连接并且使检查辅具3沿y轴方向移动的y辅具驱动部5y；与y辅具驱动部5y连接并且使检查辅具3绕z轴旋转移动的θ辅具驱动部5θ；以及与θ辅具驱动部5θ连接并且使检查辅具3沿z轴方向移动的z辅具驱动部5z。
由此，检查辅具驱动机构5构成为能够根据来自控制部9的控制信号将检查辅具3相对于基板100相对地定位，或使检查辅具3沿上下方向(z轴方向)升降而使安装于检查辅具3的探针pr相对于形成在基板100的配线图案上的检查点接触或分离。
接着，对使用安装有本发明的一个实施方式所涉及的检查辅具3的基板检查装置1的基板检查方法进行说明。此外，由于检查部4u与检查部4d同样地进行动作，因此省略关于检查部4d的动作的说明，而对检查部4u的动作进行说明。
参照图2，基板100由于其制造偏差而使得单位区域a彼此之间的距离产生偏差，进而在各单位区域a内也使得第一区域a1与第二区域a2之间的距离产生偏差。因此，为了使探针pr与各单位区域a内的各检查点准确地接触，需要根据该偏差来调整探针的接触位置。
因此，在本发明所涉及的基板检查方法中，关于各单位区域a彼此之间的位置调整，通过如下的移动工序来进行调整：利用检查部驱动机构7和检查辅具驱动机构5，使检查辅具3移动以使各探针pr依次与各单位区域a的检查点接触。并且，关于第一区域a1与第二区域a2之间的位置调整，通过如下的板定位工序来进行调节：向多个对的固定侧定位孔21与移动侧定位孔22中的任一对的固定侧定位孔21与移动侧定位孔22中插入定位销36来将固定板31与第二相对部件30b定位，由此调节第一相对部件30a与第二相对部件30b之间的距离。
在移动工序中，例如也可以设置用于拍摄基板100的表面的照相机，控制部9根据由该照相机拍摄到的单位区域a(电路板p1、p2)的图像控制检查部驱动机构7和检查辅具驱动机构5的驱动来使检查辅具3移动，从而使探针pr与设置于作为检查对象的单位区域a的各检查点接触。
板定位工序例如如下执行。首先，用户测定作为检查对象的基板100中的电路板p1与电路板p2之间的间隔，并且计算该间隔与设计上的基准值之差。然后，用户首先松动第二相对部件30b的螺栓35，选择设定有能够抵消计算出的差这样的偏移量d的固定侧定位孔21与移动侧定位孔22的对，向该对中插入定位销36并螺纹紧固，来对第二相对部件30b的位置进行调整和定位之后，紧固第二相对部件30b的螺栓35来进行固定。
由此，校正由于基板100的伸缩引起的电路板p1与电路板p2之间的间隔的偏移，从而能够使安装于第一相对部件30a的探针pr和安装于第二相对部件30b的探针pr分别恰当地与电路板p1的检查点和电路板p2的检查点接触。
在任意时刻恰当地执行板定位工序即可。例如，电路板p1与电路板p2之间的间隔的偏移根据基板100的制造批次发生变化的情况较多。因此，也可以按基板100的制造批次执行板定位工序。
并且，例如在图2所示的基板100中，有时采取使x轴方向上的伸缩的偏差增大这样的伸缩方式。在这样的情况下，也可以通过移动工序使检查辅具3依次向沿y轴方向(第二方向)排列的一列的单位区域a11～a14移动来执行单位区域a11～a14的检查，之后按照沿在x轴方向上与单位区域a11～a14的列邻接的列上排列的单位区域a21～a24中的第一区域a1与第二区域a2之间的间隔来执行板定位工序，从而调节第一相对部件30a与第二相对部件30b之间的间隔，之后通过移动工序使检查辅具3依次向单位区域a21～a24移动来执行单位区域a21～a24的检查。
此外，示出了第二相对部件30b通过层叠安装板32b、电极板33b以及相对板34b而构成的例，但是第二相对部件30b不限于层叠结构，也可以一体地构成。并且，示出了移动侧定位孔22为贯通安装板32b的贯通孔的例，但是移动侧定位孔22可以不贯通安装板32b，或者也可以为贯通第二相对部件30b整体的贯通孔。
并且，示出了第一区域a1和第二区域a2分别与电路板p1和电路板p2对应并且电路板p1与电路板p2为相同的基板的例，但是电路板p1与电路板p2也可以为彼此不同的基板。并且，示出了单位区域a中包括电路板p1和电路板p2的例，但是也可以为在单位区域a中只包括一个电路板的结构。而且，也可以在该一个电路板设置第一区域a1和第二区域a2。
并且，示出了在单位区域a设定有第一区域a1和第二区域a2这两个区域并且设置有与第一区域a1对应的第一相对部件30a和与第二区域a2对应的第二相对部件30b的例，但是也可以在单位区域a设定第一区域a1和多个第二区域a2并且设置与第一区域a1对应的第一相对部件30a和与多个第二区域a2对应的多个第二相对部件30b。
并且，示出了在三处设置有固定侧定位孔211～217和移动侧定位孔221～227的例，但是也可以设置有两处或四处以上。并且，固定侧定位孔211～217和移动侧定位孔221～227也可以是一处。然而，在能够利用多个定位销36准确地规定将安装板32b安装于固定板31的安装角度这一点上，更优选为设置多处的固定侧定位孔211～217和移动侧定位孔221～227的方式。
并且，示出了在定位销36的末端形成有倾斜面362的例，但是也可以为未设置有倾斜面362的结构。然而，通过包括倾斜面362，能够向固定侧定位孔21与移动侧定位孔22的对中顺畅地插入定位销36，并且能够将用于插入定位销36的力转变为使安装板32b移动的力，在这一点上更优选。
并且，示出了在定位销36设置有螺纹部363并且在固定板31设置有内螺纹部c的例，但是也可以不设置螺纹部363和内螺纹部c。
并且，示出了作为驱动部的一例的检查辅具驱动机构5u、5d和检查部驱动机构7u、7d通过使检查辅具3移动来使基板100与检查辅具3相对移动的例，但是驱动部也可以通过使基板100移动、或使基板100和检查辅具3这两者移动来使基板100与检查辅具3相对移动。
并且，也可以为在固定板31的供第一相对部件30a安装的区域也形成固定侧定位孔21并且在第一相对部件30a(安装板32a)也形成移动侧定位孔22的结构。
符号说明
1：基板检查装置；
2：检查装置主体；
3，3u，3d：检查辅具；
4，4u，4d：检查部；
5，5u，5d：检查辅具驱动机构；
5x：x辅具驱动部；
5y：y辅具驱动部；
5z：z辅具驱动部；
5θ：θ辅具驱动部；
6：基板固定装置；
7，7u，7d：检查部驱动机构；
8：壳体；
9：控制部；
21，211～217：固定侧定位孔；
22，221～227：移动侧定位孔；
30a：第一相对部件；
30b：第二相对部件；
31：固定板；
31a：第一面；
31b：第二面；
32a，32b：安装板；
33a，33b：电极板；
34a，34b：相对板；
35：螺栓；
36：定位销；
37：电极；
100：基板(移动控制部)；
320a：第一安装面；
320b：第二安装面；
341a：第一相对面；
341b：第二相对面；
351：贯通孔；
361：定位部；
362：倾斜面；
363：螺纹部；
364：切线；
a，a11～a14，a21～a24，a31～a34：单位区域；
a1：第一区域；
a2：第二区域；
b：孔部；
c：内螺纹部；
d：偏移量；
l1：厚度；
l2，la，lb：长度；
p1，p2：电路板；
pr：探针；
px：切点位置；
r：角度；
w：宽度；
w1：距离。