技术特征：
技术总结
本发明提供一种即使基板伸缩也容易准确地执行基板检查的检查辅具、基板检查装置以及基板检查方法。检查辅具包括板状的固定板(31)和安装于固定板并配置有探针的第一及第二相对部件(30a、30b)，在固定板形成有用于贯穿插入定位销(36)的多个固定侧定位孔(211、217)，在第二相对部件形成有分别与多个固定侧定位孔对应而成对的移动侧定位孔(221、227)，在向固定侧定位孔和移动侧定位孔中插入定位销而将固定板和第二相对部件定位的状态下，固定侧定位孔与移动侧定位孔形成位于沿着X轴方向偏移的位置处的对。
技术研发人员：加藤穰;冈本圭弘;林明生;山岸拓平
受保护的技术使用者：日本电产理德株式会社
技术研发日：2016.11.01
技术公布日：2018.07.17