含直线诱导的裂纹的高灵敏度传感器及其制造方法与流程

文档序号:14958156发布日期:2018-07-17 23:59阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种具有导电薄膜的高灵敏度传感器,其中导电薄膜含有线性诱导的裂纹。该高灵敏度传感器涉及一种传感器,该传感器是通过在形成于支撑体上的导电薄膜上形成直线诱导的微裂纹来获得,用于通过测量由微裂纹形成的微结合结构中的变化、短路或开口引起的电阻变化,来测量外部张力和压力。另外,这种高灵敏度的导电性裂纹传感器可应用于高精度测量或人造皮肤,并且可以通过使传感器像素化而用作定位检测传感器。因此,该高灵敏度传感器可以有效地用于精确测量的领域,通过人体皮肤等生物测量装置,人体运动测量传感器和显示面板传感器等。

技术研发人员:崔瑢桓;李泰珉;李建熙;崔万秀;姜大植;拜特洛·皮其特撒
受保护的技术使用者:多次元能源系统研究集团;首尔大学校产学协力团
技术研发日:2016.11.28
技术公布日:2018.07.17
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