电化学传感器的制作方法

文档序号:17347629发布日期:2019-04-09 20:52阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电化学传感器,限定用于与至少第一电极和第二电极电连通的电解质的区域,所述电化学传感器包括基底和附接帽,所述附接帽至少部分地被构造成为包括所述电解质的区域提供密封;

其中所述基底是能够使用集成电路制造技术加工的第一晶片;

其中所述附接帽包括第二晶片;

其中所述电化学传感器包括在所述第一晶片的第一侧上限定工作电极的材料层,并且所述工作电极是多孔的。

2.根据权利要求1所述的电化学传感器,其中所述帽包括限定所述第二晶片中的空腔的特征,所述特征与电解质区域对齐。

3.根据权利要求1所述的电化学传感器,其中所述基底限定至少部分地填充有电解质的储存器。

4.根据权利要求3所述的电化学传感器,其中所述储存器的内表面涂覆有限定电极的材料。

5.根据权利要求3所述的电化学传感器,其中所述工作电极包括暴露于所述储存器的部分。

6.根据权利要求1所述的电化学传感器,其中工作电极形成在所述基底的第一表面上,并且对电极和参考电极中的至少一个形成在所述基底的主体中并且与保持电解质的储存器接触。

7.根据权利要求1所述的电化学传感器,其中工作电极和对电极位于传感器的基底和帽之间的插入件上。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的电化学传感器,其中所述电化学传感器是多个传感器中的一个,并且其中多个传感器中的至少一个传感器包括通向电解质区域的开口,所述电解质区域被闭合件密封,该闭合件被配置为响应于电信号而打开。

9.根据权利要求8所述的电化学传感器,其中所述闭合件包括导电薄膜。

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