技术总结
本发明公开了一种MEMS微型拉曼光谱仪，包括采样模块、控制显示模块、MEMS色散模块，本发明的各个模块的集成程度更高，更容易缩小设备体积，可以做成手持式光谱仪，而且本发明可以对激光照明系统与拉曼散射光的透镜共光路产生的杂散光进行严格的抑制，本发明采用嵌入式操作系统完成数据处理功能，可以实现手持式使用，完全脱离电脑而独立工作，本发明采用采用MEMS技术光栅与可动F‑P腔集成的色散，可以保证在较宽的自由光谱范围的同时，又能够获得较窄的半峰全宽，获得高的光谱分辨率。
技术研发人员：聂新明;田亚平;韩彩芹;朱超
受保护的技术使用者：江苏师范大学
文档号码：201710166631
技术研发日：2017.03.20
技术公布日：2017.06.20