复用接触孔的非制冷红外焦平面阵列选通电路的制作方法

文档序号:12446139阅读:来源:国知局
技术总结
本发明名为复用接触孔的非制冷红外焦平面阵列选通电路,涉及热成像的红外传感领域;该电路包括:接触孔阵列、复用接触孔的微测辐射热计阵列、将复用接触孔连接至读出电路ROIC的开关阵列和将复用接触孔连接至参考电平VCOM的开关阵列;对某微测辐射热计单元进行信息读出时,将该微测辐射热计单元两端连接至读出电路ROIC的开关和连接至参考电平VCOM的开关闭合,形成从ROIC到VCOM的信号通路;本发明复用微测辐射热计单元两端的接触孔,节约接触孔占用的面积,从而在相同的面积下得到更多的微测辐射热计单元,提高电路性能,减轻容性负载和寄生电容引起的微测辐射热计性能下降,更可实现微测辐射热计单元信号通路方向的自由选择。

技术研发人员:赵文虎;管志强;刘数廷
受保护的技术使用者:苏州芯通微电子有限公司
文档号码:201710205643
技术研发日:2017.03.31
技术公布日:2017.05.31

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