软X射线滤光膜的制作方法

文档序号:11588171阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
提供一种软X射线滤光膜,包括:聚酰亚胺薄膜,具有相对的第一表面和第二表面;镍框,设置于所述聚酰亚胺薄膜的第一表面周边;以及铝膜,设置于所述聚酰亚胺薄膜的所述第一和第二表面。更进一步滤光膜还可以包括与镍框一体形成的镍网。本发明的滤光膜,聚酰亚胺(PI)薄膜增强滤光膜的力学强度及韧性,镍框提供封装接口,便于封装。并且,制备本发明的抗压力软X射线滤光膜生产过程无毒,容易加工,解决低能段X射线高透过率的力学强度的要求。更进一步镍网可以加强滤光膜的力学强度及抗压能力。

技术研发人员:陈田祥;陈勇;卢方军
受保护的技术使用者:中国科学院高能物理研究所
技术研发日:2017.04.20
技术公布日:2017.08.08
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