技术特征：
技术总结
本发明为一种基于侧向场激励剪切波模式的FBAR微压力传感器，涉及一种微压力传感器。包括硅衬底(1)、支撑层(2)、空气隙(3)、AlN压电薄膜(4)、双电极层(5)、接地层(6)、微压力敏感层(7)及微压力施加层(8)；所述硅衬底(1)上表面采用硅表面刻蚀工艺与所述AlN压电薄膜(4)间形成空气隙(3)，在所述硅衬底(1)上表面淀积一层支撑层(2)连接所述AlN压电薄膜(4)，所述AlN压电薄膜(4)上表面为双电极层(5)和所述接地层(6)，所述接地层(6)上表面淀积4个所述微压力敏感层(7)，所述微压力敏感层(7)上键合所述微压力施加层(8)。本发明具有机械强度高、体积小、谐振频率高、检测精度高等优点。
技术研发人员：苏淑靖;马晓鑫;熊继军;谭秋林;耿子惠;吴永盛;韩文革;吕楠楠
受保护的技术使用者：中北大学
技术研发日：2017.05.12
技术公布日：2017.09.22