一种测量薄膜导热系数的方法与流程

文档序号:11232906阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及材料领域,一种测量薄膜导热系数的方法,确定待测薄膜厚度;测量薄膜对光的吸收率;将薄膜转移到衬底上;可见光源从衬底下方发射;可见光直接进入光电二极管,位移台在薄膜上方平面内匀速运动,光电二极管采集光信号,得二维照明光功率密度分布图;由步骤二、五得到的薄膜光吸收率及照明光功率密度,计算薄膜的区域吸收功率密度pabs;安装样品架、衬底和薄膜,水平方向移动位移台使其远离衬底,红外摄像机采集薄膜发出的红外光,并进行成像,进而得到薄膜温度分布,选取不同透孔重复测量,通过平均数据及分析得到近邻透孔中心的温度分布曲率;根据温度分布曲率、吸收功率密度pabs和薄膜厚度d,计算确定薄膜的面内导热系数k||。

技术研发人员:赵永建;张向平;方晓华
受保护的技术使用者:金华职业技术学院
技术研发日:2017.05.18
技术公布日:2017.09.12
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