技术特征：
技术总结
本发明公开一种刻蚀液浓度的监测系统及其滴定装置、监测方法。本发明通过称重器检测滴定容器中滴定液的重量，转换接头断开滴定液重量小于或等于预设阈值的滴定容器与滴定腔室之间的导通，并将滴定液重量大于预设阈值的一个滴定容器与滴定腔室导通。基于此，本发明不仅能够避免滴定液不足导致的宕机现象，确保设备使用率和产品良率，还能够减少提前更换滴定容器所造成的滴定液浪费。
技术研发人员：范成俊
受保护的技术使用者：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日：2017.08.25
技术公布日：2018.01.16