光检测装置的制作方法

技术特征：

1.一种光检测装置，其特征在于，具备：

遮光膜，至少在第1方向上交替地配置有多个透光区域及多个遮光区域；

光耦合层，与上述遮光膜对置，包括光栅，在规定的波长的入射光入射到了上述多个透光区域时，上述光栅使上述入射光的一部分向上述第1方向传输，使上述入射光的另一部分透射；

光检测器，具有摄像面，包括配置在上述摄像面上的多个第1光检测单元及多个第2光检测单元；以及

光学系统，配置在上述光耦合层及上述光检测器之间；

上述多个第1光检测单元配置在以下位置，该位置为，使得在上述光耦合层中透射了与上述多个透光区域分别对置的部分的光的像被上述光学系统放大或缩小、并形成在上述多个第1光检测单元中的对应的第1光检测单元上的位置；

上述多个第2光检测单元配置在以下位置，该位置为，使得在上述光耦合层中透射了与上述多个遮光区域分别对置的部分的光的像被上述光学系统放大或缩小、并形成在上述多个第2光检测单元中的对应的第2光检测单元上的位置。

2.如权利要求1所述的光检测装置，其特征在于，

上述光耦合层还包括：

第1低折射率层；

第1高折射率层，配置在上述第1低折射率层上，包括上述光栅；以及

第2低折射率层，配置在上述第1高折射率层上；

上述第1高折射率层具有比上述第1低折射率层及上述第2低折射率层高的折射率。

3.如权利要求1所述的光检测装置，其特征在于，

上述光检测器还包括：

多个第1微透镜，分别配置在上述多个第1光检测单元中的对应的第1光检测单元上；

多个第2微透镜，分别配置在上述多个第2光检测单元中的对应的第2光检测单元上。

4.如权利要求1所述的光检测装置，其特征在于，

还具备运算电路，该运算电路基于从上述多个第1光检测单元得到的多个第1信号和从上述多个第2光检测单元得到的多个第2信号，输出表示入射到上述多个第1光检测单元及上述多个第2光检测单元的各自的位置上的光的相干性的信号。

5.如权利要求4所述的光检测装置，其特征在于，

当设：

从上述多个第1光检测单元分别得到的信号为P0，

从上述多个第2光检测单元分别得到的信号为P1，

从上述多个第2光检测单元中的、与上述多个第1光检测单元分别在上述第1方向及上述第1方向的相反方向上相邻的2个第2光检测单元得到的2个信号的平均值为P1＇，

从上述多个第1光检测单元中的、与上述多个第2光检测单元分别在上述第1方向及上述第1方向的相反方向上相邻的2个第1光检测单元得到的2个信号的平均值为P0＇时，

上述运算电路生成通过P1＇/(P0+P1＇)或P1＇/P0的运算而得到的信号，作为表示入射到上述多个第1光检测单元的各自的位置上的光的相干性的信号，并且生成通过P1/(P0＇+P1)或P1/P0＇的运算而得到的信号，作为表示入射到上述多个第2光检测单元的各自的位置上的光的相干性的信号。