一种大量程气体折射率实时测量系统的制作方法

文档序号:14896372发布日期:2018-07-08 07:10阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明属于气体折射率测量技术领域,具体涉及一种大量程气体折射率实时测量系统。可变腔长的真空腔由三个反射镜W1~W3构成,反射镜W1与W2形成一个真空腔,改变反射镜W1的位置改变真空腔的腔长;反射镜W2和W3固定不变,二者之间为空气;激光干涉系统包含四束激光干涉光路,从不同的位置分别射入可变腔长的真空腔,光束1由反射镜W1反射,光束2经过反射镜W1和真空腔由反射镜W2反射,光束3经过反射镜W1、W2和真空腔由反射镜W3反射,光束4经过反射镜W1、W2和空气由反射镜W3反射。本发明通过比较真空腔腔长改变前后干涉信号的相位差,实现气体折射率的绝对测量,然后通过实时测量真空腔内外光路光程差的相位变化,实现气体折射率的实时测量。

技术研发人员:张铁犁;靳硕;刘晓旭;张修建;王兵
受保护的技术使用者:北京航天计量测试技术研究所;中国运载火箭技术研究院
技术研发日:2017.12.22
技术公布日:2018.07.06
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