自驱动传感器的制作方法

文档序号:11755003阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种自驱动传感器,其特征在于,所述自驱动传感器包括:载体、驻极体、下电极以及上电极;所述载体设有空腔,所述下电极设有与所述空腔的腔壁连接的结合部,所述结合部容置于所述空腔内,所述下电极中除所述结合部之外的部分位于所述载体上方;

所述驻极体设置于所述下电极的上方,且与所述下电极之间设有第一绝缘部;所述上电极设置于所述驻极体的上方,且与所述驻极体之间设有第二绝缘部;

所述下电极及上电极的一端分别通过传输导线与输出模块连接。

2.如权利要求1所述的自驱动传感器,其特征在于,所述驻极体以及所述第二绝缘部之间设有辅助电极。

3.如权利要求2所述的自驱动传感器,其特征在于,所述第一绝缘部以及所述第二绝缘部均为绝缘支撑架。

4.如权利要求1所述的自驱动传感器,其特征在于,所述驻极体包括经过高压电晕极化的驻极体薄膜,所述驻极体薄膜中电极的厚度范围为2nm-3μm。

5.如权利要求1所述的自驱动传感器,其特征在于,所述载体的材料为弹性材料。

6.如权利要求5所述的自驱动传感器,其特征在于,所述载体的厚度范围为0.1mm-8mm、宽度范围为0.5cm-6cm、长度范围为0.5cm-6cm。

7.如权利要求1所述的自驱动传感器,其特征在于,所述上电极的上方设置有硬质载体。

8.如权利要求7所述的自驱动传感器,其特征在于,所述硬质载体的宽度范围为0.5cm-6cm、长度范围为0.5cm-6cm。

9.如权利要求1至8任一项所述的自驱动传感器,其特征在于,所述输出模块包括显示单元和/或信号发送单元。

10.如权利要求9所述的自驱动传感器,其特征在于,所述自驱动传感器还包括与所述信号发送单元连接的计数模块,所述计数模块根据所述信号发送单元输出的电信号进行计数操作。

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