1.一种高速高精度非接触式三坐标测量机,其特征在于:包括:
机床;
工作台,装接在机床;
主轴,装接在机床且穿出工作台;
载物台,设在工作台上并装接在主轴,载物台可通过主轴带动旋转且二者回转轴线重合;该载物台包括圆盘形的载物台主体,该载物台主体上设有环形滑槽,该环形滑槽内滑动装接有两个可被固定的平衡块;
工件,装接在载物台且可通过载物台带动旋转;
框架,装接在工作台;
第一方向进给机构,装接在框架;
第二方向进给机构,装接在第一方向进给机构;
激光位移传感器,装接在第二方向进给机构,其测量方向与工件相对;该激光位移传感器的测量精度优于10nm,最大采样频率不低于492kHz;
在线动平衡仪,与框架和载物台相连;
用于控制第一方向进给机构和第二方向进给机构的控制器,与第一方向进给机构和第二方向进给机构相连接;
通过主轴带动工件旋转,激光位移传感器通过第一方向进给机构对工件表面进行扫描并采集工件表面的点的位置数据,处理得到工件的三维形貌。
2.根据权利要求1所述的高速高精度非接触式三坐标测量机,其特征在于:所述在线动平衡仪包括相互连接的振动传感器、转速传感器和动平衡仪主机,该振动传感器与框架相连,该转速传感器装接在工作台且与载物台相连。
3.根据权利要求1所述的高速高精度非接触式三坐标测量机,其特征在于:所述平衡块上设有紧定螺钉,通过该紧定螺钉将平衡块固定在环形滑槽内。
4.根据权利要求1所述的高速高精度非接触式三坐标测量机,其特征在于:所述第一方向进给机构的定位精度优于10nm。
5.根据权利要求1所述的高速高精度非接触式三坐标测量机,其特征在于:所述第一方向进给机构为直线电机;所述第二方向进给机构为直线电机。
6.根据权利要求1所述的高速高精度非接触式三坐标测量机,其特征在于:所述第一方向进给机构的进给轴线对主轴回转轴线的垂直度误差不大于1μm/200mm。
7.根据权利要求1所述的高速高精度非接触式三坐标测量机,其特征在于:所述第一方向与第二方向相互垂直。
8.根据权利要求1所述的高速高精度非接触式三坐标测量机,其特征在于:所述机床由天然大理石制成。