一种EBSD样品台的制作方法

文档序号:13416339阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种EBSD样品台,包括一支撑台和一载物台,其特征在于,所述支撑台的上部一侧设置有第一斜面,支撑台的上部另一侧设置有第二斜面,所述第一斜面与第二斜面之间经位于支撑台上端的一等宽平台面相连接,所述第一斜面上沿纵向间隔设置有若干个与第一斜面相垂直的第一圆孔,所述平台面上沿纵向间隔垂设有与第一圆孔相对应并连通的螺纹孔,所述螺纹孔内螺接有锁定螺钉,所述第二斜面上沿纵向间隔设置有与螺纹孔相对应并连通的第二圆孔,所述第二圆孔与第二斜面相垂直,所述支撑台的下端面上竖直连接有支撑连接柱,所述载物台包括一圆台,所述圆台的下端面上连接有一可插入第一圆孔和第二圆孔的连接柱。

2.根据权利要求1所述的一种EBSD样品台,其特征在于,所述第一斜面与水平面的夹角为20°,所述第二斜面与水平面的夹角为70°。

3.根据权利要求1或2所述的一种EBSD样品台,其特征在于,所述第一斜面上间隔设置有4个第一圆孔,第二斜面上间隔设置有4个第二圆孔,平台面上间隔设置有4个螺纹孔。

4.根据权利要求1或2所述的一种EBSD样品台,其特征在于,所述支撑连接柱包括连接在支撑台下端的第一柱体,所述第一柱体的下端连接有直径小于第一柱体的第二柱体。

5.根据权利要求4所述的一种EBSD样品台,其特征在于,所述第一柱体的直径为15mm,高度为20mm,所述第二柱体的直径为7mm,高度为3mm。

6.根据权利要求1所述的一种EBSD样品台,其特征在于,所述第一斜面和第二斜面的长度均为54mm,宽度均为15mm;所述平台面的长度为54mm,宽度为3mm。

7.根据权利要求1或6所述的一种EBSD样品台,其特征在于,所述第一圆孔和第二圆孔的直径分别为3.2mm,深度分别为7mm,所述锁定螺钉的长度为9.1mm。

8.根据权利要求7所述的一种EBSD样品台,其特征在于,所述圆台直径为12mm,厚度为3mm,所述连接柱的直径为3.2mm,高度为7mm。

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