一种EBSD样品台的制作方法

本实用新型涉及一种EBSD样品台，属于扫描电镜耗材领域。

背景技术：

随着科学技术的进步，新材料产业发展突飞猛进，带动了材料研究领域的技术革新，显微结构下的材料研究愈加频繁，而材料的研究成果也推动了其发展。在EBSD条件下，材料的微观组织结构及微织构表征的研究是研究工作者的一项极其重要的工作。但是，目前的EBSD样品台一般为圆柱状，每次只能装载一个样品。在有多个样品测试时，要频繁地放真空—装样—抽真空等操作，耗费了大量的时间和精力，给电镜扫描带来极大的不便，同时也减缓了科学研究的进程。研究人员迫切需要一种能一次性承载多个样品，并通过简单的方法使样品台角度可调节的EBSD样品台，实现样品台的最高空间利用率和实用性。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种EBSD样品台，不仅结构简单，而且通用性强。

本实用新型的技术方案在于：一种EBSD样品台，包括一支撑台和一载物台，所述支撑台的上部一侧设置有第一斜面，支撑台的上部另一侧设置有第二斜面，所述第一斜面与第二斜面之间经位于支撑台上端的一等宽平台面相连接，所述第一斜面上沿纵向间隔设置有若干个与第一斜面相垂直的第一圆孔，所述平台面上沿纵向间隔垂设有与第一圆孔相对应并连通的螺纹孔，所述螺纹孔内螺接有锁定螺钉，所述第二斜面上沿纵向间隔设置有与螺纹孔相对应并连通的第二圆孔，所述第二圆孔与第二斜面相垂直，所述支撑台的下端面上竖直连接有支撑连接柱，所述载物台包括一圆台，所述圆台的下端面上连接有一可插入第一圆孔和第二圆孔的连接柱。

进一步地，所述第一斜面与水平面的夹角为20°，所述第二斜面与水平面的夹角为70°。

进一步地，所述第一斜面上间隔设置有4个第一圆孔，第二斜面上间隔设置有4个第二圆孔，平台面上间隔设置有4个螺纹孔。

进一步地，所述支撑连接柱包括连接在支撑台下端的第一柱体，所述第一柱体的下端连接有直径小于第一柱体的第二柱体。

进一步地，所述第一柱体的直径为15mm，高度为20mm，所述第二柱体的直径为7mm，高度为3mm。

进一步地，所述第一斜面和第二斜面的长度均为54mm，宽度均为15mm；所述平台面的长度为54mm，宽度为3mm。

进一步地，所述第一圆孔和第二圆孔的直径分别为3.2mm，深度分别为7mm，所述锁定螺钉的长度为9.1mm。

进一步地，所述圆台直径为12mm，厚度为3mm，所述连接柱的直径为3.2mm，高度为7mm。

与现有技术相比较，本实用新型具有以下优点：此样品台通用性高，能适用于多种形状的样品，可放置规则长方体、不规则块状体和薄片状样品，通过导电胶直接将样品固定在载物台上，提高了扫描电镜样品台的实用性；此样品台一次性可放置多个样品，避免了频繁地放真空—装样—抽真空等操作，实现了多个样品批量扫描，提高了扫描测试的速率；实现了样品角度的可控性，此样品台在安置样品、调整角度的过程中，操作简单；此样品台为铝合金材质，极大地减轻了样品台本身的质量，且在扫描电镜下导电性良好。

附图说明

图1为本实用新型的支撑台的结构示意图；

图2为本实用新型的载物台的结构示意图；

图中：10-支撑台 11-第一斜面12-第二斜面 13-平台面 14-第一圆孔15-锁定螺钉16-第二圆孔 17-第一柱体 18-第二柱体 20-载物台 21-圆台 22-连接柱。

具体实施方式

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图，作详细说明如下，但本实用新型并不限于此。

参考图1和图2

一种EBSD样品台，包括一支撑台10和一载物台20，所述支撑台的上部一侧设置有与水平面的夹角为20°的第一斜面11，支撑台的上部另一侧设置有与水平面的夹角为70°的第二斜面12，所述第一斜面与第二斜面之间经位于支撑台上端的一等宽平台面13相连接，所述第一斜面上沿纵向间隔设置有若干个与第一斜面相垂直的第一圆孔14，所述平台面上沿纵向间隔垂设有与第一圆孔相对应并连通的螺纹孔，所述螺纹孔内螺接有锁定螺钉15，所述第二斜面上沿纵向间隔设置有与螺纹孔相对应并连通的第二圆孔16，所述第二圆孔与第二斜面相垂直，所述支撑台的下端面上竖直连接有支撑连接柱，所述载物台包括一用于放置样品的圆台21，所述圆台的下端面上连接有一可插入第一圆孔和第二圆孔的连接柱22，以便实现载物台与支撑台相连接，并通过平台面上的锁定螺钉拧紧固定，从而可实现一次可测定多个样品。再改变载物台的位置，使其在不同的斜面上，则可实现20°、70°方向的扫描。

本实施例中，所述第一斜面和第二斜面的长度均为54mm，宽度均为15mm；所述平台面的长度为54mm，宽度为3mm。所述第一斜面上间隔设置有4个第一圆孔，第二斜面上间隔设置有4个第二圆孔，平台面上间隔设置有4个螺纹孔；位于前后侧的两个第一圆孔与支撑台前后侧边的距离为6mm，相邻两第一圆孔之间的距离为14mm；第一圆孔和第二圆孔到各自斜面的底边的距离为9mm。

本实施例中，所述支撑连接柱包括连接在支撑台下端的第一柱体17，所述第一柱体的下端连接有直径小于第一柱体的第二柱体18，避免第二柱体因承受样品台过大的重力而变形。所述第一柱体的直径为15mm，高度为20mm，所述第二柱体的直径为7mm，高度为3mm。

本实施例中，所述第一圆孔和第二圆孔的直径分别为3.2mm，深度分别为7mm，所述锁定螺钉的长度为9.1mm。所述圆台直径为12mm，厚度为3mm，所述连接柱的直径为3.2mm，高度为7mm。

该EBSD样品台可适用于规则长方体、不规则块状体和薄片状样品进行20°、70°方向的扫描，以常见的AZ31镁合金为例：

不规则块状体的样品在进行20°的电镜扫描时，通过导电胶将样品直接粘在载物台的圆台上，将载物台下的连接柱插入到支撑台的20°第一斜面上的第一圆孔中，并通过平台上的锁定螺钉向下旋紧固定载物台；

不规则块状体的样品在进行70°的电镜扫描时，通过导电胶将样品直接粘在载物台的圆台上，将载物台下的连接柱插入到支撑台的70°第二斜面上的第二圆孔中，并通过平台上的锁定螺钉E向下旋紧固定载物台。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，凡依本实用新型申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属本实用新型的涵盖范围。