连接验证工具的制作方法

本实用新型大体来说涉及用于流体处理系统的配件，且更特定来说涉及用于验证此类配件的连接的工具。

背景技术：

用于半导体应用的流体处理系统必须满足数个规范。其必须可与高度腐蚀性化学物质兼容，且其还必须能够维持在所述流体系统内流动的化学品的高纯度。流体处理系统中的各种流体处理组件之间的牢固连接对于避免流体处理系统中的泄漏是重要的。示范性流体处理组件可包含配件主体、螺母、盖、插入件及验证环。已认识到对于验证流体处理组件之间的牢固连接的需要。

技术实现要素：

本实用新型针对于用于流体处理系统的配件，且更特定来说针对于用于验证此类配件的连接的工具。根据一些实施例，一种工具可包含测量仪部分，其包含第一臂、第二臂及横梁部件，所述横梁部件在所述第一臂与所述第二臂之间延伸且具有经定尺寸以对应于耦合到配件主体的配件部件的尺寸的宽度，使得当所述配件部件恰当地耦合到所述配件主体时，所述测量仪部分会配合于连接到第二配件部件的所述配件部件上方。

根据另一实施例，一种验证连接的方法包含：至少部分地基于包含连接到配件主体的配件部件的配件的大小而选择连接验证工具，所述连接验证工具包含测量仪部分，所述测量仪部分具有第一臂、第二臂及在所述第一臂与所述第二臂之间延伸的横梁部件，其中在所述第一臂与所述第二臂之间界定间隙，所述间隙经定尺寸以对应于耦合到所述配件主体的所述配件部件的尺寸，使得当所述配件部件恰当地耦合到所述配件主体时，所述测量仪部分会配合于连接到第二配件部件的所述配件部件上方；将所述测量仪部分放置于连接到所述配件主体的所述配件部件上方；及当所述验证工具的所述测量仪部分配合于连接到所述配件主体的所述配件部件上方时，验证出所述配件部件是恰当地连接到所述配件主体。

提供前述实用新型内容以促进对本实用新型所特有的创新性特征中的一些的理解且其不打算为全面描述。对本实用新型的全面了解可通过将整个说明书、权利要求书、图式及摘要视为整体而获得。

附图说明

在结合附图考虑对各种说明性实施例的以下描述时可更完整地理解本实用新型。

图1是根据本实用新型的一实施例的连接验证工具及配件的透视图。

图2及3展示图1的连接验证工具与配件啮合的不同视图。

图4是根据本实用新型的另一实施例的连接验证工具的透视图。

图5是图4的连接验证工具及根据本实用新型的一实施例的配件的透视图。

图6是图4及5的连接验证工具与图5的配件啮合的透视图。

图7是根据本实用新型的另一实施例的连接验证工具与配件啮合的透视图。

尽管本实用新型适合于各种修改及替代形式，但已在图式中通过实例展示且将详细地描述本实用新型的特定细节。然而，应理解，本实用新型并不将本实用新型的各方面限制于所描述的特定说明性实施例。相反，本实用新型将覆盖归属于本实用新型的精神及范围内的所有修改、等效形式及替代形式。

具体实施方式

除非内容另外清楚地指明，否则如本说明书及所附权利要求书中所使用，单数形式“一(a、an)”及“所述(the)”包含复数个指示物。除非内容另外清楚地指明，否则如本说明书及所附权利要求书中所使用，术语“或”通常是在其包含“及/或”的意义上采用。

术语“约”通常是指被视为等效于所叙述值(例如，具有相同功能或结果)的数值范围。在许多例子中，术语“约”可包含四舍五入到最接近的有效数字的数值。

使用端点表达的数值范围包含归入在所述范围内的所有数值(例如，1到5包含1、1.5、2、2.75、3、3.80、4及5)。

以下具体实施方式应参考图式来阅读，在图式中将不同图式中的类似元件编号为相同编号。具体实施方式及未必按比例的图式描绘说明性实施例且并不打算限制本实用新型的范围。所描绘的说明性实施例仅打算为示范性的。除非清楚地陈述为相反，否则任何说明性实施例的选定特征可并入到额外实施例中。

如本文中根据各种实施例所描述的连接验证工具提供用于验证流体处理系统内的各种流体处理组件之间的牢固连接的迅速且容易使用的机构。特定来说，如本文中所描述的连接验证工具提供用于在两个流体处理组件彼此的初始连接期间及/或之后验证两个流体处理组件之间的第二连接的迅速且容易使用的机构。在一些情形中，如本文中所描述的连接验证工具可经定大小使得其可适合装在用户的口袋中，从而使其现成可用。

图1到3展示根据一实施例的示范性连接验证工具10及配件16的各种视图。配件16包含连接到配件主体22的配件部件20。示范性配件包含由马塞诸塞州比勒瑞卡的英特格公司(Entegris,Inc.of Billerica,MA)制造及销售的配件。配件在各种连接大小中是可用的。在一些情形中，配件部件20可包含螺母、盖、插入件或连接验证环。通过说明，如图中所展示，配件部件20可为螺母。配件主体22可包含用于啮合配件部件20的螺纹部分(未展示)及凸缘23，且可为直配件主体、弯配件主体或T形配件主体中的任一者。当配件部件20耦合到配件主体22时，配件16可为直接头配件、弯适配器或T形接头配件中的任一者。

当配件部件20在流体处理系统的初始组装期间第一次耦合到配件主体20时，配件部件20及配件主体界定在配件部件20的第一端21与配件主体22的凸缘23之间界定的预定宽度W₁。预定宽度W₁指示配件部件20与配件主体22之间的牢固连接。如果在配件部件20连接到配件主体22时所测量宽度W₂大于预定宽度W₁，那么尚未实现所述组件之间的牢固连接，这指示需要额外力矩来实现牢固连接。随时间流逝且随着重复使用，所属领域的技术人员通常将认识到，在配件部件20的第一端21与配件主体22的凸缘23之间界定的宽度W₁可减小。

连接验证工具10可用于验证配件部件20与配件主体22之间的牢固连接。举例来说，连接验证工具10可用于通过将连接验证工具10放置于耦合到配件主体22的配件部件20上方而验证在螺母与直配件之间进行了牢固连接，如图2及3中所展示。牢固连接是其中将足够力矩施加到配件部件20使得配件部件20与配件主体22之间的连接是不漏流体的且不泄漏的一种连接。

现在参考图1，连接验证工具10是包含连接到测量仪部分28的操作手柄24的手持式工具。连接验证工具10可由热塑性材料注射模制而成或者由金属或金属合金机械加工而成。测量仪部分28经定大小以放置于连接到第二主体22的配件部件20上方以验证两个组件之间的牢固连接。如果配件部件20未牢固地连接到配件主体22使得可需要额外力矩来完成两个组件之间的连接，那么连接验证工具10的测量仪部分28将不配合于耦合到配件主体22的配件部件20上方。测量仪部分28可经定大小以验证具有标准大小的配件之间的连接。举例来说，用于半导体应用的配件在介于从0.25英寸(0.635cm)到2英寸(5.08cm)的范围内的大小中是可用的。然而，测量仪部分可经定大小以在必要或期望时与小于0.25英寸(0.635cm)或大于2英寸(5.08cm)的配件一起工作。

如图1到3中所展示，测量仪部分28包含耦合到手柄24的远端26的横梁部件32。横梁部件32具有上部表面33及经配置以接触配件部件20的下部表面35。在一个实施例中，横梁部件32的下部表面35是基本上平坦的。在另一实施例中，如图1中可见，下部表面35可经仿形成对应于配件部件20的曲率。

另外，横梁部件32包含从横梁部件的第一端延伸的第一臂36及从横梁部件32的第二端延伸的第二臂38。臂36、38分别沿远离横梁部件的第一端及第二端的向下方向延伸。沿远离横梁部件32的方向延伸的臂36、38中的每一者的长度可彼此相等或不同。如图1的说明性实施例中所展示，臂36、38中的每一者的长度彼此相等。在其它情形中，如本文中将更详细地描述，第一臂36的长度可大于第二臂38的长度。

在许多实施例中，臂36、38中的一者或两者可具有在测量仪部分28与配件16啮合时准许连接验证工具10啮合配件主体22的一部分的轮廓。此外，臂36、38中的一者或两者可经配置以限制或消除连接验证工具10和可与配件16以流体方式耦合的任何管子之间的干扰。举例来说，如图1到3中所展示，臂36、38中的一者或两者可包含凹入部分42。凹入部分42促进将工具10放置于可存在的任何管子上方及/或配件主体22的一部分上方。在一些情形中，凹部42可为大体U形的。在其它情形中，凹部42可为大体V形的。

在臂36、38之间界定宽度W₃。在各种实施例中，横梁部件32的在臂36、38之间界定的宽度经定大小使得其基本上等于在配件部件20牢固地连接到配件主体时在配件部件20的第一端21与配件主体22的凸缘23之间界定的宽度W₁。在使用时，当连接验证工具10的测量仪部分28与配件16啮合时，第一臂36沿着配件部件20的外表面延伸且第二臂38沿着凸缘23的外表面延伸以指示配件部件与配件主体之间的牢固连接。

图4到6展示根据一实施例的示范性连接验证工具100及配件116的各种视图。连接验证工具100也可由热塑性材料注射模制而成或者由金属或金属合金机械加工而成。配件116包含连接到配件主体122的配件部件120。本文中先前已描述示范性配件。

当配件部件120在流体处理系统的初始组装期间第一次耦合到配件主体122时，配件部件120及配件主体122界定在配件部件120的第一端121与配件主体122的凸缘123之间界定的预定宽度W₁。预定宽度W₁指示配件部件120与配件主体122之间的牢固连接。牢固连接是其中将足够力矩施加到配件部件120使得配件部件120与配件主体122之间的连接是不漏流体的且不泄漏的一种连接。如果在配件部件120连接到配件主体122时所测量宽度W₂大于预定宽度W₁，那么尚未实现所述组件之间的牢固连接，这指示需要额外力矩来实现牢固连接。随时间流逝且随着重复使用，所属领域的技术人员将通常认识到，在配件部件120的第一端121与配件主体122的凸缘123之间界定的宽度W₁可减小。

如同本文中所论述的连接验证工具10，连接验证工具100可用于验证配件部件120与配件主体122之间的牢固连接。举例来说，连接验证工具100可用于通过将连接验证工具100放置于耦合到配件主体122的配件部件120上方而验证在螺母与直配件之间进行了牢固连接，如图5及6中所展示。现在参考图4，连接验证工具100是具有测量仪部分128的手持式工具。测量仪部分128经定大小以放置于连接到配件主体122的配件部件120上方以验证两个配件组件之间的牢固连接。如果配件部件120未牢固地连接到配件主体122使得可需要额外力矩来完成两个组件之间的连接，那么连接验证工具100的测量仪部分128将不配合于耦合到配件主体122的配件部件120上方。测量仪部分128可经定大小以验证具有标准大小的配件之间的连接。举例来说，用于半导体应用的配件在介于从0.25英寸(0.635cm)到2英寸(5.08cm)的范围内的大小中是可用的。然而，测量仪部分可经定大小以在必要或期望时与小于0.25英寸(0.635cm)或大于2英寸(5.08cm)的配件一起工作。

如图4到6中所展示，测量仪部分28包含横梁部件132。横梁部件132具有上部表面133及经配置以接触配件部件120的下部表面135。在一些实施例中，如所展示，横梁部件132的下部表面135可为基本上平坦的。另外，横梁部件132包含从横梁部件132的第一端延伸的第一臂136及从第二端延伸的第二臂138。第一臂136及第二臂138中的每一者分别沿远离横梁部件132的第一端及第二端的向下方向延伸。如图4到6中所描绘的实施例中所展示，第一臂136的长度可大于第二臂138的长度。

臂136、138中的一者或两者可具有在测量仪部分128与配件116啮合时准许连接验证工具100啮合配件主体122的一部分的轮廓。此外，臂136、138中的一者或两者可经配置以限制或消除连接验证工具100和可与配件116以流体方式耦合的任何管子之间的干扰。举例来说，如图4到6中所展示，臂136、138中的一者或两者可包含凹入部分142。凹入部分142促进将工具100放置于可存在的任何管子上方及/或配件主体122的一部分上方。在所描绘的实施例中，凹部142可为大体V形的。

在臂136、138之间界定宽度W₃。在各种实施例中，横梁部件132的在臂136、138之间界定的宽度经定大小使得其基本上等于在配件部件120牢固地连接到配件主体时在配件部件120的第一端121与配件主体122的凸缘123之间界定的宽度W₁。在使用时，当连接验证工具100的测量仪部分128与配件116啮合时，第一臂136沿着配件部件120的外表面延伸且第二臂138沿着凸缘123的外表面延伸以指示配件部件与配件主体之间的牢固连接。

图7展示根据另一实施例的工具200。工具200经配置使得其可与三通配件或T形配件啮合。类似于图1到3中所展示的工具10，工具200包含连接到测量仪部分228的手柄224。测量仪部分包含耦合到手柄224的远端的横梁部件232。替代臂，横梁部件232经配置使得其具有第一凸肩236及第二凸肩238。第一凸肩236及第二凸肩238经配置以接触并啮合配件的顶表面。在凸肩236、238之间界定宽度。在各种实施例中，横梁部件232的在凸肩236、238之间界定的宽度经定大小使得其基本上等于在配件部件220牢固地连接到配件主体时在配件部件220的第一端221与配件主体222的凸缘223之间界定的宽度。在使用时，当连接验证工具200的测量仪部分228与配件216啮合时，第一凸肩236的内表面接触配件部件220的外表面且第二凸肩238的内表面接触凸缘223的外表面以指示配件部件220与配件主体222之间的牢固。如果第一配件220与第二配件222未恰当地彼此连接使得可需要额外力矩来完成连接，那么测量仪部分228将不配合于第一配件部件220上方，这指示两个配件220与222之间的连接不完全且需要额外力矩来完成连接。连接验证工具200可在必要或期望时用于验证配件主体222与三通配件或T形配件的其它配件部件之间的连接。

在流体处理系统的至少一部分的初始设置及组装期间，操作者可至少部分地基于待彼此连接的流体处理组件的大小而选择连接验证工具。如本文中根据各种实施例所描述，连接验证工具可包含测量仪部分，其具有第一臂、第二臂及在所述第一臂与所述第二臂之间延伸的横梁部件，所述横梁部件具有在所述第一臂与所述第二臂之间界定的宽度，所述宽度经定尺寸以对应于耦合到配件主体的配件部件的尺寸，使得当所述配件部件恰当地耦合到所述配件主体时，所述测量仪部分会配合于连接到第二配件部件的所述配件部件上方。然后，操作者可将所述测量仪部分放置于连接到所述配件主体的所述配件部件上方，且当所述验证工具的所述测量仪部分配合于连接到所述配件主体的所述配件部件上方时，验证出所述配件部件是恰当地连接到所述配件主体。

因此，已描述了本实用新型的数个说明性实施例，所属领域的技术人员将容易地了解可在本实用新型所附的权利要求书的范围内做出并使用其它实施例。前述描述中已陈述本文件所覆盖的本实用新型的众多优点。然而，将理解，本实用新型在许多方面仅为说明性的。可在不超出本实用新型的范围的情况下做出细节(特别是零件的形状、大小及布置等事物)的改变。本实用新型的范围当然是以表达所附权利要求书的语言界定。