具透视功能的影像量测装置的制作方法

本实用新型与影像量测装置有关，尤指一种搭配X光镜头的具透视功能的影像量测装置。

背景技术：

目前，积体电路晶片的印刷成品由于体积微小，需要使用影像量测装置进行品管作业。已知用以检视积体电路晶片的影像量测装置包括有两大类，其一为用以检视晶片表层电路印刷情况的光学影像量测装置，其二为用以检视晶片内层结构情况的透视影像量测装置。上述光学影像量测装置由各式透镜的配置，令可见光透过该透镜形成放大且清楚的影像以供检视，而透视影像量测装置则利用X射线可穿透物体的特性，令其穿透晶片表层而进入内层，以此形成晶片内层的透视影像以供检视。

然而目前积体电路晶片的品管作业是以上述两种装置分别进行检查，因而较为耗费时间。另一方面，由于X射线镜头的定位精度较差，在进行晶片内层的检查时，较难以获得指定位置上的X光透视影像，而产生影响工作效率的缺点。

技术实现要素：

本实用新型目的在于提供一种具透视功能的影像量测装置，其具有一可变倍的光学镜头及一可发出X射线的镜头，以此可兼具对工件进行变倍观察及透视工件内层的影像量测作业，增加影像量测装置的用途。

本实用新型另一目的在于利用光学镜头于影像量测上的高精度弥补X射线镜头精度较低的缺点，以提高X射线镜头取像的品质。

为达成上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种具透视功能的影像量测装置，包括有：

一机台，其设有一用以承载工件的平台；

一影像量测集成机构，其设于所述机台上，且可相对该平台产生位移；该影像量测集成机构具有一光学成像组及一X射线成像组，其中该光学成像组包括有设于该平台上方的一可变倍的光学镜头及一可撷取该光学镜头的影像的第一影像撷取单元，该X射线成像组包括有一设于该平台上方且可发出X射线的X射线产生器及一设于该平台下方且可撷取该X射线产生器的影像的第二影像撷取单元。

所述机台上定义有一X-Y-Z三轴向系统，其中该平台平行于X轴向及Y轴向，Z轴向垂直于该平台；该机台设有一沿X轴向延伸且可沿Y轴向移动的支撑架；该影像量测集成机构设于该支撑架，且可沿该支撑架移动。

所述支撑架包括有一对沿Z轴向延伸的立柱，且该立柱的顶、底两端分别连接有沿X轴向延伸的一上横梁及一下横梁；该上横梁设有一可沿X轴向移动的位移件，且该位移件上设有一沿Z轴向延伸的轨道，该光学镜头及该X射线产生器分别设于该位移件的轨道上而可沿该轨道移动。

所述光学成像组更设有一同轴光源。

所述光学成像组更设有一表面光源。

所述X射线产生器设有一导光管。

本实用新型的有益效果：其具有一可变倍的光学镜头及一可发出X射线的镜头，以此可兼具对工件进行变倍观察及透视工件内层的影像量测作业，增加影像量测装置的用途；利用光学镜头于影像量测上的高精度弥补X射线镜头精度较低的缺点，以提高X射线镜头取像的品质。

附图说明

图1为本实用新型的正面平面示意图；

图2为本实用新型的俯视平面示意图；

图3为本实用新型关于影像量测集成机构的局部立体示意图。

具体实施方式

请参阅图1至图3所示，为本实用新型提供的具透视功能的影像量测装置，其包括有一机台1，机台1上设有一用以承载工件的平台11，其中平台11是以数个支撑柱111架高于机台1上。机台1上定义有一X-Y-Z三轴向系统，平台11平行于X轴向及Y轴向，而Z轴向则垂直于平台11。

机台1上设有一沿Y轴向延伸的第一轨道12，且第一轨道12上设有一支撑架2，支撑架2可沿第一轨道12移动而相对平台11产生位移。在本实施例中，支撑架2包括有一对沿Z轴向延伸的立柱21，分别设于平台11于X轴向上的两侧，而两立柱21的顶、底两端分别连接有沿X轴向延伸的一上横梁22及一下横梁23，其中上横梁22位于平台11的上方，且下横梁23位于平台11的下方。据此，当支撑架2沿第一轨道12移动时，上横梁22与下横梁23分别于平台11的上方与下方产生相对平台11的Y轴向的位移。

支撑架2上设有一影像量测集成机构3，其具有一光学成像组31及一X射线成像组32，其中光学成像组31包括有一可变倍的光学镜头311及一可撷取光学镜头311的影像的第一影像撷取单元312，以及一同轴光源和一表面光源；X射线成像组32包括有一可发出X射线的X射线产生器321及一可撷取X射线产生器321的影像的第二影像撷取单元322，且X射线产生器321设有一导光管323。

影像量测集成机构3可随着支撑架2同步移动而产生相对平台11的位移，更进一步地，影像量测集成机构3更可于支撑架2上移动，而产生相对支撑架2的位移。细言之，支撑架2的上横梁22设有一沿X轴向延伸的第二轨道24，第二轨道24上设有一位移件4，供位移件4可于第二轨道24上沿X轴向移动。位移件4上设有一沿Z轴向延伸的第三轨道41。于本实施例中，光学镜头311及X射线产生器321分别设于位移件4的第三轨道41上，且第二影像撷取单元322可滑动地设于下横梁23，并与X射线产生器321的位置相互同步对应。

由上述结构，透过控制支撑架2沿第一轨道12移动，可令影像量测集成机构3沿Y轴向移动；透过控制位移件4沿第二轨道24移动，可令光学成像组31及X射线成像组32沿X轴向移动；透过控制光学镜头311或X射线产生器321沿第三轨道41移动，可令二者沿Z轴向移动。因此，可控制整个影像量测集成机构3于三个轴向上产生相对平台11的位移，同时达到利用光学成像组31观测工件表层，以及利用X射线成像组32透视观测工件内层的目的。

此外，本实用新型更可利用光学成像组31与X射线成像组32同步移动的特征，由光学成像组31的高精度以弥补X射线成像组32精度较低的缺点，令X射线成像组32所得到的影像品质得以提升，改善工作效率及成果。