一种四极质谱计的制作方法

本实用新型涉及气体成分分析技术领域，特别是四极质谱计的真空系统气体成分分析技术领域。

背景技术：

目前，公知的四极质谱计采样管，一般是采用圆筒型结构，采样管基本与四极质谱计的四极杆等长，顶端用CF法兰连接四极质谱计，四极质谱计的四极杆内置在采样管中，采样管底端用CF法兰连接到三通，真空系统中待分析的气体流过三通，并通过分流进入四极质谱计的采样管，内置于采样管中的四极质谱计四极杆进行采样分析。现有的四极质谱计采样管如图1所示：

四极质谱计是根据不同质荷比的离子在直流高频四极分析场中运动轨迹的稳定与否来实现质量分离的。四极质谱计灵敏度通常由三个因素组成：离子收集效率、离子源的灵敏度、四极场的传输率。由于真空系统中的气体通过三通分流后进入四极质谱计的采样管，气体电离后的离子量较小，四极质谱计离子收集效率低，致使现有方法下四极质谱计采样的灵敏度低。

技术实现要素：

要解决的技术问题：为了克服现有的四极质谱计采样灵敏度低的缺点，本实用新型提供一种四极质谱计采样管，采用圆筒管道侧端开口结构，能提高四极质谱计采样的灵敏度。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种四极质谱计，包括四极质谱计本体、四极杆和采样管，四极质谱计本体（1）用CF法兰与采样管（2）连接，四极杆（3）内置在采样管（2）中，采样管（2）顶端开有进气口，进气口与待分析真空系统（6）连接，采样管（2）底端与真空泵（7）连接。

所述采样管（2）的进气口通过全金属截止阀（5）与待分析真空系统（6）连接。

所述全金属截止阀（5）与采样管（2）、待分析真空系统（6）均通过CF法兰连接。

所述采样管（2）底端通过全金属角阀（4）与真空泵（7）连接。

所述全金属角阀（4）与采样管（2）、真空泵（7）均通过CF法兰连接。

本实用新型的有益效果：在四极质谱计采样管顶端位置设计气体入口，真空系统中的气体能全部通过该气体入口经过四极质谱计的采样部件，较现有的采样管底端分流方法，气体电离后的离子量大，四极质谱计离子收集效率高，四极质谱计采样的灵敏度得到提高，实现真空系统中气体的成分分析；该采样管设计先进，结构合理，能提高四极质谱计的气体分析能力，有利于气体成分的定量分析。

附图说明

图1 现有四极质谱计采样结构示意图；

图2是本发明的结构示意图。

图中： 1、四极质谱计本体，2、采样管，3、四极杆 ， 4、全金属角阀 ，5、全金属截止阀， 6、待分析真空系统， 7、真空泵。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

四极质谱计的采样管2串接到真空系统中，真空泵7疏空时待分析真空系统6中的气体由采样管2顶端流入，经过四极质谱计的四极杆3，四极杆3对经过的气体进行电离，四极质谱计本体1对不同质量数气体的离子流进行定量分析，分析气体的成分。

见图2，四极质谱计本体1用CF法兰连接到采样管2，四极质谱计的四极杆3内置在采样管2中，在采样管2顶端较高位置开一个进气口，并用CF法兰连接到全金属截止阀5，全金属截止阀5用CF法兰与待分析真空系统6连接；采样管2底端用CF法兰连接到全金属角阀4，全金属角阀4用CF法兰连接到真空泵7。

打开全金属角阀4和全金属截止阀5，使用真空泵7对待分析真空系统6疏空，当待分析真空系统6中的真空度到达四极质谱计工作真空度后，四极质谱计通电工作，进行气体分成分析。

在四极质谱计不使用时关闭全金属角阀4和全金属截止阀5，保持四极质谱计的采样部件处于真空环境。