1.一种重张检测系统,其特征在于,所述重张检测系统包括:
活动部,所述活动部上设置有接触头,所述接触头位于所述活动部在第一预设方向上的前端;
用于驱动所述活动部在所述第一预设方向上做直线运动的驱动部;
光栅尺位移传感器,所述光栅尺位移传感器包括标尺光栅和读数头,所述标尺光栅与所述读数头间隔设置,所述读数头与所述标尺光栅中的一者固定设置于所述活动部,所述标尺光栅与所述读数头中的另一者相对于所述驱动部固定。
2.根据权利要求1所述的重张检测系统,其特征在于,所述重张检测系统还包括在所述第一预设方向上延伸的滑轨,所述活动部滑动连接于所述滑轨。
3.根据权利要求2所述的重张检测系统,其特征在于,所述滑轨上固定设置有连接部,所述读数头固定设置于所述连接部,所述标尺光栅固定设置于所述活动部,所述读数头与所述标尺光栅之间无阻碍间隔设置。
4.根据权利要求1所述的重张检测系统,其特征在于,所述标尺光栅的尺面与所述第一预设方向之间的平行度小于0.1mm/1m。
5.根据权利要求1所述的重张检测系统,其特征在于,所述读数头与所述标尺光栅之间的间距小于5mm。
6.根据权利要求1所述的重张检测系统,其特征在于,所述接触头朝向所述第一预设方向的一侧为球面。
7.根据权利要求1所述的重张检测系统,其特征在于,所述接触头通过螺纹与所述活动部连接,并可选地在所述第一预设方向上调整相对于所述活动部的位置。
8.根据权利要求1所述的重张检测系统,其特征在于,所述驱动部为气缸或直线电机。
9.根据权利要求1所述的重张检测系统,其特征在于,所述重张检测系统还包括报警装置和控制器,所述报警装置与所述控制器电连接,所述控制器与所述光栅尺位移传感器电连接;所述控制器可以根据所述光栅尺位移传感器的测量值,控制所述报警装置发出警报信号。
10.一种检测台,其特征在于,其包括载物台以及如权利要求1-9中任一项所述的重张检测系统,所述接触头能够在所述驱动部的驱动下接近或远离所述载物台。