压力传感器组件的制作方法

技术特征：

1.一种用于感测高温环境中的过程流体的压力的压力传感器组件，包括：

细长的传感器壳体，所述细长的传感器壳体被构造成暴露于所述过程流体并具有形成于其中的腔；

位于细长的传感器壳体的腔中的压力传感器，所述压力传感器具有至少一个膜片并且还包括电气部件，所述至少一个膜片响应于施加的压力而偏转，并且电气部件具有根据所述至少一个膜片的偏转而改变并指示施加的压力的电特性；和

与所述至少一个膜片接触的挠性隔膜，其中所述挠性隔膜将所述传感器壳体的所述腔的至少一部分与所述过程流体密封隔开，并且响应于由所述过程流体施加的压力而挠曲，从而导致所述至少一个膜片的偏转。

2.根据权利要求1所述的压力传感器组件，其中，

所述压力传感器壳体包括构造成向所述压力传感器壳体提供额外支撑的桥接部。

3.根据权利要求2所述的压力传感器组件，其中，

由所述桥接部提供到所述传感器壳体的所述支撑提供增加的测量增益。

4.根据权利要求1所述的压力传感器组件，包括容纳所述细长的传感器壳体的壳体主体。

5.根据权利要求4所述的压力传感器组件，其中，

所述细长的传感器壳体包括过程连接端。

6.根据权利要求1所述的压力传感器组件，其中，

压力传感器包括响应于施加的压力而改变的电容。

7.根据权利要求1所述的压力传感器组件，其中，

所述细长的传感器壳体包括在远端处的插塞。

8.根据权利要求1所述的压力传感器组件，其中，

所述挠性隔膜结合到所述压力传感器。

9.根据权利要求8所述的压力传感器组件，其中，

所述结合是扩散结合。

10.根据权利要求8所述的压力传感器组件，其中，

所述结合包括铬层。

11.根据权利要求8所述的压力传感器组件，其中，

所述结合包括铝层。

12.根据权利要求8所述的压力传感器组件，其中，

所述结合包括镍层。

13.根据权利要求8所述的压力传感器组件，其中，

所述结合包括溅射铝层。

14.根据权利要求1所述的压力传感器组件，其中，

所述挠性隔膜包括箔。

15.根据权利要求1所述的压力传感器组件，包括在所述挠性隔膜与所述压力传感器之间的填充材料。

16.根据权利要求15所述的压力传感器组件，其中，

填充材料包括陶瓷粉末。

17.根据权利要求15所述的压力传感器组件，其中，

所述填充材料包括纳米银粒子。

18.根据权利要求17所述的压力传感器组件，其中，

所述纳米银粒子被烧结。

19.根据权利要求1所述的压力传感器组件，其中，

所述挠性隔膜与所述细长的传感器壳体形成为一体的部件。

20.根据权利要求1所述的压力传感器组件，其中，

所述挠性隔膜包括连接到所述细长的传感器壳体的分离部件。

21.根据权利要求1所述的压力传感器组件，包括构造成向所述压力传感器的第二侧施加压力的第二挠性隔膜。

22.根据权利要求1所述的压力传感器组件，其中，

所述挠性隔膜通过焊接、金属对金属密封件和粘合剂中的至少一种方式密封到所述细长的传感器壳体。