一种防水MEMS压力传感器的制作方法

文档序号:14814446发布日期:2018-06-30 05:33阅读:来源:国知局
一种防水MEMS压力传感器的制作方法

技术特征:

1.一种防水MEMS压力传感器,包括基板,与所述基板形成收容空间的外壳,位于所述收容空间内的芯片及应用电路,其特征在于,所述外壳上设置有贯穿的通孔,所述通孔处设有防水膜,所述外壳与防水膜通过注塑一体成型。

2.根据权利要求1所述的一种防水MEMS压力传感器,其特征在于,所述防水膜为防水透气的EPTFE膜。

3.根据权利要求1所述的一种防水MEMS压力传感器,其特征在于,所述应用电路通过粘片胶固定在所述基板上,所述芯片固定于所述应用电路上。

4.根据权利要求1所述的一种防水MEMS压力传感器,其特征在于,所述外壳通过胶体固定在所述基板上。

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