一种防水MEMS压力传感器的制作方法

技术总结
本实用新型公开了一种防水MEMS压力传感器，包括基板，与所述基板形成收容空间的外壳，位于所述收容空间内的芯片及应用电路，所述外壳上设置有贯穿的通孔，所述通孔处设有防水膜，所述防水膜与所述外壳通过注塑一体成型。所述防水膜可以阻止外界水分进入传感器内部，同时允许外界气体透过。本实用新型的防水MEMS压力传感器，可有效提升MEMS压力传感器的防水性能。

技术研发人员：鱼婧;王德信
受保护的技术使用者：歌尔科技有限公司
技术研发日：2017.11.23
技术公布日：2018.06.29