一种高压直流继电器检漏装置的制作方法

文档序号:14711682发布日期:2018-06-16 00:31阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种高压直流继电器检漏装置,包括真空室、工装夹具和检漏仪,装置内部设置有隔板并通过隔板分为几个独立的空间,装置外表面设置有触摸屏,隔板上表面设置有真空室和工装夹具,真空室和工装夹具之间通过气动挡板阀相连接,真空室一侧连通有抽气阀,抽气阀底部通过主管道与检漏仪相连接,检漏仪一侧安装有预抽泵,检漏仪另一侧安装有检漏仪前级泵,预抽泵和检漏仪分别通过气动挡板阀两两连接到真空室和工装夹具上;本实用新型通过设置的氦质谱检漏仪,具有高精度和可靠性,反应时间快等技术优势;通过设置的触摸屏,能够实现除放置与拿取产品外的其他一切操作,同时触摸屏还具备数据记录功能。 1

技术研发人员:刘二强
受保护的技术使用者:上海三井真空设备有限公司
技术研发日:2017.12.04
技术公布日:2018.06.15

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