技术总结
晶圆传送探测传感装置，包括固定圆盘、透光圆盘、传感器支架和传感器。所述的传感器与传感器支架相连，传感器支架与固定圆盘配合，所述的透光圆盘与固定圆盘相连。所述的传感器支架，一端有折弯，折弯面上有槽口，用于固定传感器信号连接接头；传感器另一端有两个折面，折面上有孔洞，用于与固定圆盘固定。所述的固定圆盘，采用特氟龙材料，呈圆环状。本实用新型的优点是：结构简单，易于组装，晶圆位置探测准确。
技术研发人员：张德培
受保护的技术使用者：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
技术研发日：2017.12.26
技术公布日：2018.07.17