传感器的制作方法

文档序号:14920003发布日期:2018-07-11 03:16阅读:203来源:国知局

本实用新型涉及一种传感设备,特别涉及一种传感器。



背景技术:

在工农业生产、气象、环保、国防、科研等部门,经常需要对环境温度与湿度同时进行检测及控制,缺一不可,如房间内的温度和湿度测控,汽车内的温度和湿度的测控,工厂工作环境的温度和湿度的测控等等。实际应用中通常分别采用温度传感器与湿度传感器分别对环境温度与湿度进行测控,其安装所需的面积大,成本高,尤其是应用在环境检测这种尺寸要求小的场合,安装分体式结构的传感器极其不方便,有待于改进。



技术实现要素:

本实用新型提出一种传感器,解决了现有技术中占地面积大等问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的:

一种传感器,包括绝缘基板、设于该绝缘基板上并位于其一侧的温度传感器及设于该绝缘基板上并位于其另一侧的湿度传感器,该温度传感器包括设于绝缘基板上的金属薄膜电阻体,该湿度传感器包括设于绝缘基板上的下部电极、设于该下部电极上的感湿树脂膜、设于该感湿树脂膜上的上部电极,该感湿树脂膜向外延伸并覆设至温度传感器的金属薄膜电阻体上,该感湿树脂膜对应温度传感器的金属薄膜电阻体的两角部分别设有孔部,该金属薄膜电阻体对应孔部位置设有电极帽,该感湿树脂膜对应湿度传感器的下部电极的角部与上部电极的角度分别设有穿孔,该下部电极与上部电极分别于穿孔处设有电极帽。

优选方案为,所述感湿树脂膜为聚酰亚胺膜。

优选方案为,所述下部电极为金属薄膜。

优选方案为,所述绝缘基板为玻璃绝缘板或硅绝缘板。

优选方案为,所述绝缘基板为其表面形成二氧化硅膜的硅基板。

本实用新型的有益效果为:

本实用新型的传感器通过温度传感器感应外界的温度,通过湿度传感器感应外界的湿度,使温湿传感器一体化,便于特殊环境的安装,由于温度传感器上设有保护膜,从而防止其金属薄膜电阻体的表面直接附着水分而影响其准确度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型传感器的俯视结构示意图;

图2为图1沿A-A线的剖面图。

图中:

10、绝缘基板;20、温度传感器;30、湿度传感器;21、金属薄膜电阻体;31、下部电极;32、感湿树脂膜;33、上部电极;36、孔部;23、35、电极帽;38、穿孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

如图1及图2所示,该传感器包括绝缘基板10、设于该绝缘基板10上并位于其一侧的温度传感器20及设于该绝缘基板10上并位于其另一侧的湿度传感器30。

该绝缘基板10可为玻璃绝缘板或硅绝缘板。具体实施时,该绝缘基板10也可为其表面形成二氧化硅膜的硅基板。

该温度传感器20包括设于绝缘基板10上的金属薄膜电阻体21。

该湿度传感器30包括设于绝缘基板10上的下部电极31、设于该下部电极31上的感湿树脂膜32、设于该感湿树脂膜32上的上部电极33。该下部电极31为金属薄膜,具体生产时可与温度传感器20的金属薄膜电阻体21一起形成。该感湿树脂膜32向外延伸并覆设至温度传感器20的金属薄膜电阻体21上。

本实施例中,该感湿树脂膜32为聚酰亚胺膜。具体实施时,该感湿树脂膜32也可为其他材质可透水性的膜体。该感湿树脂膜32对应温度传感器20的金属薄膜电阻体21的两角部分别设有孔部36,该金属薄膜电阻体21对应孔部36位置设有电极帽23。该感湿树脂膜32对应湿度传感器30的下部电极31的角部与上部电极33的角度分别设有穿孔42,该下部电极31与上部电极33分别于穿孔38处设有电极帽35。

制造时,该温度传感器的金属薄膜电阻体及湿度传感器的上部电极可通过溅射形成,湿度传感器的感湿树脂膜通过涂设形成。

使用时,通过温度传感器20感应外界的温度,通过湿度传感器30感应外界的湿度,使温湿传感器一体化,便于特殊环境的安装,由于感湿树脂膜32覆设于温度传感器20上,从而防止其金属薄膜电阻体21的表面直接附着水分而影响其准确度。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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