本实用新型属于设备检测领域，具体涉及一种气体流量传感器密封性测量装置。
背景技术：
气体流量传感器是安装于煤矿井下瓦斯抽放管道内,专门用于瓦斯抽放过程中的气体流量、气体流速、气体压力和气体温度等信息测量的一种高精密仪器，能够及时的将测量信息传递给关联设备，从而实现对瓦斯抽放过程的实时监测。能否精准的测量传递瓦斯管道内的瓦斯流量、压力等信息，严格的密封性能是传感器能否实现该功能的关键因素，为保证出厂的气体流量传感器全部达到密封性能要求，必须对气体流量传感器进行密封性检测。
目前的气体流量传感器是采用大体积储气罐进行安装固定，并通过空气压缩机产生的压力管道进行密封性能测量。但是储气罐体过于笨重，搬运不便；采用空气压缩机产生的压力管道进行测量，无法满足部分实验室的测量需求。
技术实现要素：
本实用新型提供了一种气体流量传感器密封性测量装置，以解决现有气流流量传感器密封性检测装置体积笨重，且适用范围小的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型的气体流量传感器密封性测量装置包括以下二十八个单元方案：
单元方案一，该装置包括缓冲腔、抽气管路及用于检测缓冲腔内压力的压力表，所述缓冲腔上设置有用于连接待测气体流量传感器的测量口、进气口与连接口，所述进气口连接抽气管路，连接口连接压力表，缓冲腔通过抽气管路连通空气源，从空气源到缓冲腔的抽气管路上依次设置有抽气泵和换向阀。
单元方案二，在单元方案一的基础上，该装置还设置有用于释放缓冲腔压力的泄压阀。
单元方案三，在单元方案二的基础上，所述泄压阀设置在一条外接管路上，所述外接管路通过第一三通接头设置在缓冲腔与换向阀之间的管路上。
单元方案四，在单元方案一的基础上，该装置还包括一个外接测量管路，所述外接测量管路通过第二三通接头连接在缓冲腔与换向阀之间的管路上。
单元方案五，在单元方案四的基础上，所述外接测量管路上设置有截止阀。
单元方案六，在单元方案一的基础上，所述换向阀为二位五通阀，二位五通阀一端有两个气口，两个气口连接真空泵的进气口及出气口，另一端有三个气口，中间位置的气口连接抽气管路。
单元方案七，在单元方案一的基础上，所述缓冲腔与换向阀之间还设置有保压阀。
单元方案八、九、十，十一、十二、十三、十四，分别在单元方案一、二、三、四、五、六、七的基础上，所述抽气泵的进气口处还设置有压力调节阀。
单元方案十五、十六、十七、十八、十九、二十、二十一，分别在单元方案八、九、十，十一、十二、十三、十四的基础上，所述抽气泵为真空泵。
单元方案二十二、二十三、二十四、二十五、二十六、二十七、二十八，分别在单元方案八、九、十，十一、十二、十三、十四的基础上，所述压力表采用测量精度为±1Pa的高精密压力表。
本实用新型的有益效果：本实用新型的气体流量传感器密封性测量装置采用抽气泵在缓冲腔内产生相应的压力，通过观察压力表的压力，判断气体流量传感器的气密性，该装置体积小，便于移动，而且不依赖于空气压缩机产生的压力管道，适用范围广。并且设置换向阀可实现正压和负压的随时切换，可以多方位测量传感器的密封性能，测量结果更加精确、可靠。
附图说明
图1为本实用新型的一种气体流量传感器密封性测量装置框图；
图2为本实用新型的一种气体流量传感器密封性测量装置结构图；
图1中，1-1为真空泵，1-2为缓冲腔，1-3为精密压力表，1-4为压力调节阀，1-5为换向阀，1-6为保压阀，1-7为泄压阀，1-8为截止阀，1-9为外部测量口，1-10为排气口，1-11为进气口，1-12为出气口；
图2中，2-1为精密压力表，2-2为泄压阀，2-3为待测气体流量传感器，2-4为缓冲腔，2-5为装置箱体，2-6为螺钉，2-7为弹簧垫圈，2-8为平垫圈，2-9为提手，2-10为压力调节阀，2-11为转接头，2-12为固定板，2-13为支脚，2-14为保压阀，2-15为真空泵，2-16为开关电源，2-17为三芯电源线，2-18为不锈钢防水接头，2-19为电源开关，2-20为真空泵开关，2-21为三通接头，2-22为换向阀。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步详细的介绍。
如图1所示，本实用新型的气体流量传感器密封性测量装置包括缓冲腔、抽气管路及用于检测缓冲腔内压力的压力表，所述缓冲腔上设置有用于连接待测气体流量传感器的测量口、进气口与连接口，所述进气口连接抽气管路，连接口连接压力表，缓冲腔通过抽气管路连通空气源，从空气源到缓冲腔的抽气管路上依次设置有抽气泵和换向阀。
密封性测量完成后，为了将缓冲腔的压力进行释放，因此，该测量装置还设置有一个专用于释放缓冲腔压力的泄压阀。
测量口直接设置在缓冲腔上，为了防止缓冲腔开口过多导致其密封的可靠性降低，在缓冲腔上仅设置有一个测量口、一个进气口和一个用于测量缓冲腔压力的压力表连接口。该进气口用于向缓冲腔进气或从缓冲腔向外排气，为了实现一个进气口既能向缓冲腔进气，也能将缓冲腔内气体向外排出的目的，可在缓冲腔与换向阀之间的管路上设置一个三通接头，该三通接头包括三个开口，其中两个开口用于连接进气管路和泄压阀，另外一个开口连接缓冲腔的进气口。
为实现其他仪器密封性测量的目的，可在与缓冲腔连接的进气管路上设置一条外接测量管路，该外接测量管路一端用于连接其他待测仪器，另一端通过一个三通接头连接缓冲腔进气口，实现与缓冲腔的导通，以便通过压力表读取管路内的压力值。为保证气体流量传感器测量与其他仪器测量的互不干扰，可在该管路上设置一个截止阀，气体流量传感器正常测量时该截止阀关闭，其他仪器测量时该截止阀打开。
所述换向阀可以采用二位五通阀。二位五通阀一端有2个螺纹孔，用螺纹接头及PU管分别将两个螺纹孔连接真空泵的进气口及出气口，另一端有3个螺纹孔，中间位置用螺纹接头连接至缓冲腔的进气管路，两端安装消音器；通过扳动侧面的切换杆，可实现真空泵出气口与缓冲腔接通，即正压环境，也可实现真空泵进气口与缓冲腔接通，即负压环境。
在缓冲腔内压力达到设定要求关闭真空泵开关时，为保证缓冲腔气体不会通过抽气管路与大气连通，在缓冲腔与换向阀之间的管路上设置有一个保压阀，在缓冲腔内压力达到设定要求关闭真空泵开关时，将该保压阀关闭。
为了调节阀控制抽气泵工作时缓冲腔内压力变化的速度，可在抽气泵的进气口处设置有压力调节阀。
如图2所示，可将缓冲腔、抽气管路、开关电源、真空泵、三通接头封装在一个箱体内，将压力表设置在箱体外以便于观察压力值，泄压阀、换向阀、压力调节阀、保压阀及其他一些阀门、电源开关等分别安装固定在箱体上指定位置，其开关调节部分朝向箱体外以便于调节。本实用新型将装置的组件封装在一起，减少装置占用空间，便于移动。
上述装置中的缓冲腔用来存储压力，真空泵用来提供压力，压力调节阀控制真空泵工作时缓冲腔内压力变化的速度，换向阀用来切换正压、负压的输入，保压阀用来控制真空泵停止工作后缓冲腔内压力，泄压阀用于测量完毕后的泄压。
该装置的具体工作原理为：
a将待测流量传感器安装在缓冲腔顶部测量口位置，并将其探头锁帽拧紧。
b.关闭截止阀、泄压阀，打开保压阀，将换向阀调至“正压”状态。
c.接通装置电源(220V AC)，打开真空泵开关，真空泵开始工作。
d.待缓冲腔内压力达到设定要求时关闭真空泵开关，然后关闭保压阀，此时装置进入保压状态。
e.待精密压力表显示值稳定后观察一段时间，确认传感器密封性能是否符合要求。
f.测量完毕后打开泄压阀泄压。
g.将换向阀调至“负压”状态，按照步骤b～f进行传感器密封性能测量。