玻璃基板应变测定方法以及玻璃基板应变测定装置与流程

本发明涉及玻璃基板应变测定方法以及玻璃基板应变测定装置的技术。

背景技术：

一般，在液晶显示装置、有机el显示装置等平板显示器所使用的玻璃基板中，形成有细微的元件等，因此即使是微小的缺陷也需要防止。

因此，对于上述玻璃基板，一直以来，利用缺陷反射光的情况，通过从端面导入光来进行有无缺陷的检查。

另一方面，若平板显示器本身的外形尺寸变大，则图像的颜色不均成为问题。

该图像的颜色不均是由于玻璃基板的应变而引起的，因此需要测定玻璃基板的应变。

作为定量地测定玻璃基板的应变的方法，例如已知如下的方法：测定玻璃基板的多个位置的延迟(retardation：由双折射产生的相位差)，根据该延迟的测定结果的倾向来进行判断(例如，参照“专利文献1”)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2010-510519号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

在由所述“专利文献1”示出的测定方法中，若片状的玻璃基板的外形尺寸变大则玻璃基板容易挠曲，因此容易破损，因而难以将作为测定对象的玻璃基板载置于应变测定装置。

另外，在由所述“专利文献1”示出的应变测定装置中，随着玻璃基板的外形尺寸变大，该玻璃基板所需的每张基板的测定时间变长，从而不适合作为用于向玻璃基板的生产工序反馈测定结果的检查装置而使用。即，在玻璃基板的应变超过允许范围的情况下，若花费的测定时间较长，则在该期间在玻璃基板的生产工序中持续制造不合格品，从而损失变大。

因此，希望有能够容易地载置玻璃基板，并且能够简单且迅速地测定玻璃基板的应变的程度的装置。

本发明是鉴于以上所示的现状的问题点而完成的，其目的在于提供能够容易地载置玻璃基板，并且能够简单且迅速地测定玻璃基板的应变的程度的玻璃基板应变测定方法以及玻璃基板应变测定装置。

用于解决课题的方案

本发明所要解决的课题如上所述，接下来，对用于解决该课题的方案进行说明。

即，本发明所涉及的玻璃基板应变测定方法其为在台架上测定玻璃基板的任意位置的应变的应变测定方法，其特征在于，在所述台架上的载置区域将玻璃基板载置于倾斜状态的载置台，使所述倾斜状态的载置台转动而成为水平状态，使所述水平状态的所述载置台滑动移动至所述台架上的测定区域，在所述测定区域中经由所述载置台所具有的开口部而向所述玻璃基板照射激光从而测定应变。

这样，在本发明的玻璃基板应变测定方法中，在将玻璃基板载置于倾斜状态的载置台后，使载置台转动而成为水平状态，对水平状态的玻璃基板照射激光从而测定应变。这样一来，能够将玻璃基板容易地载置于载置台，从而能够简单并且迅速地测定玻璃基板的应变的程度。进而，由于能够简单且迅速地测定玻璃基板的应变的程度，因此例如在制造玻璃基板时，能够较早地向制造工序进行测定结果的反馈，能够实现玻璃基板的品质以及成品率的提高。

另外，在本发明所涉及的玻璃基板应变测定方法中，优选为，所述激光一边移动一边向所述玻璃基板照射。

根据这种玻璃基板应变测定方法，能够一边使所述激光移动，一边测定玻璃基板的任意位置的应变。

另外，在本发明所涉及的玻璃基板应变测定方法中，优选为，在将所述玻璃基板载置于所述载置台时，通过承接部来支承所述玻璃基板的一端，所述承接部在应变测定时向远离所述玻璃基板的方向移动。

根据这种玻璃基板应变测定方法，所述承接部在应变测定时从所述玻璃基板分离，因此不会对所述玻璃基板的端面施加多余的力，能够准确地进行应变测定。

另外，在本发明所涉及的玻璃基板应变测定方法中，优选为，所述承接部在与所述载置台对置的面具有凹凸部，所述载置台在与所述承接部对置的面具有供所述凹凸部卡合的槽部，所述承接部能够在将所述凹凸部的凸部卡合于所述槽部的状态下根据所述玻璃基板的外形尺寸而移动。

根据这种玻璃基板应变测定方法，即使在所述承接部与所述载置台之间产生间隙的情况下，由于所述凹凸部的凸部与所述槽部卡合，因此也能够防止玻璃基板进入该间隙。

另外，即使在玻璃基板的外形尺寸变更的情况下，也能够使承接部移动来进行应对。进而，能够使承接部适当移动从而调整玻璃基板中的应变测定的测定位置。

另外，在本发明所涉及的玻璃基板应变测定方法中，优选为，在所述开口部连接设置有所述槽部，所述槽部的宽度尺寸小于所述开口部的最大尺寸。

根据这种玻璃基板应变测定方法，所述凹凸部的凸部还能够在开口部中移动，从而在所述玻璃基板的外形尺寸变更时能够在更大范围内应对该变更。

另外，本发明所涉及的玻璃基板应变测定装置其为测定玻璃基板的任意位置的应变的应变测定装置，其特征在于，所述玻璃基板应变测定装置具备：台架，其具有载置所述玻璃基板的载置区域和进行所述玻璃基板的应变测定的测定区域；载置台，其保持于所述台架并且供所述玻璃基板载置；以及应变测定部，其设置于所述测定区域，并向水平状态的所述玻璃基板照射激光从而测定应变，所述台架具有滑动机构，该滑动机构能够使所述载置台在所述载置区域与所述测定区域之间沿着水平方向滑动移动，所述滑动机构在一端具有将所述载置台支承为转动自如的转动轴，所述载置台构成为能够在所述载置区域中通过所述转动轴而转动为倾斜状态或者水平状态，所述载置台具有使所述激光通过的开口部。

在由这种结构构成的玻璃基板应变测定装置中，在将玻璃基板载置于倾斜状态的载置台后，使载置台转动而成为水平状态，对水平状态的玻璃基板照射激光从而测定应变。这样一来，能够将玻璃基板容易地载置于载置台，能够简单并且迅速地测定玻璃基板的应变的程度。进而，由于能够简单且迅速地测定玻璃基板的应变的程度，因此例如在制造玻璃基板时，能够较早地向制造工序进行测定结果的反馈，能够实现玻璃基板的品质以及成品率的提高。

另外，在本发明所涉及的玻璃基板应变测定装置中，优选为，所述载置台具有在将所述玻璃基板载置于倾斜状态的载置台时支承所述玻璃基板的一端的承接部，所述承接部能够沿着相对于所述载置台的载置面平行的方向移动。

根据这种玻璃基板应变测定装置，通过使所述承接部在应变测定时向远离所述玻璃基板的方向移动，不会对所述玻璃基板的端面施加多余的力，能够准确地进行应变测定。

另外，在本发明所涉及的玻璃基板应变测定装置中，优选为，所述承接部在与所述载置台对置的面具有凹凸部，所述载置台在与所述承接部对置的面具有供所述凹凸部卡合的槽部，所述承接部能够在将所述凹凸部的凸部卡合于所述槽部的状态下沿着相对于所述载置台的载置面平行的方向移动。

根据这种玻璃基板应变测定装置，即使在所述承接部与所述载置台之间产生间隙的情况下，由于所述凹凸部的凸部与所述槽部卡合，因此也能够防止所述玻璃基板进入该间隙。

另外，即使在玻璃基板的外形尺寸变更的情况下，也能够使承接部移动来进行应对。进而，能够使承接部适当移动从而调整玻璃基板中的应变测定的测定位置。

另外，在本发明所涉及的玻璃基板应变测定装置中，优选为，在所述开口部连接设置有所述槽部，所述槽部的宽度尺寸小于所述开口部的最大尺寸。

根据这种玻璃基板应变测定装置，所述凹凸部的凸部能够在所述槽部中移动，从而在所述玻璃基板的外形尺寸变更时能够在更大范围内应对该变更。

发明效果

本发明起到以下所示的效果。

即，根据本发明所涉及的玻璃基板应变测定方法以及玻璃基板应变测定装置，能够容易地载置玻璃基板，并且能够简单且迅速地测定玻璃基板的应变的程度。进而，由于能够简单且迅速地测定玻璃基板的应变的程度，因此例如在制造玻璃基板时，能够较早地向制造工序进行测定结果的反馈，从而能够实现玻璃基板的品质以及成品率的提高。

附图说明

图1是示出本发明的一实施方式所涉及的玻璃基板应变测定装置(载置台倾斜时)的整体结构的侧视图。

图2是同样地示出玻璃基板应变测定装置(载置台水平时)的整体结构的侧视图。

图3是同样地示出玻璃基板应变测定装置(载置玻璃基板后的载置台水平时)的整体结构的俯视图。

图4是同样地示出玻璃基板应变测定装置(载置台水平时)的整体结构的主视图。

图5是示出第一减振器的图，图5中(a)是示出不与载置台接触的状态下的第一减振器的立体图，图5中(b)是示出与倾斜的载置台接触的状态下的第一减振器的立体图。

图6是示出载置部所具有的承接部的立体图。

图7是示出载置部的承接部附近的放大立体图。

图8是将载置台以及承接部的一部分放大示出的放大俯视图。

具体实施方式

接下来，使用图1至图8对发明的实施方式进行说明。

需要说明的是，关于以下的说明，为了方便而将图1、图2以及图4中所示的上下方向规定为玻璃基板应变测定装置1的上下方向来进行记述。

另外，关于以下的说明，为了方便而将图1、图2以及图3中所示的前后方向规定为玻璃基板应变测定装置1的前后方向来进行记述。

另外，关于以下的说明，为了方便而将与图3中所示的前后方向正交的方向规定为玻璃基板应变测定装置1的宽度方向来进行记述。

[玻璃基板应变测定装置1]

首先，对将本发明具体化的玻璃基板应变测定装置1(以下，简称为“应变测定装置1”)的整体结构进行说明。

应变测定装置1是在玻璃基板g的制造工序中检查玻璃基板g的应变的程度的装置，并且是用于测定玻璃基板g的任意位置、或者任意的区域的应变的装置。

在此，被应变测定装置1测定的玻璃基板g是例如作为显示器等电子设备用途而制造的具有规定的厚度的片状的玻璃构件。

另外，玻璃基板g例如形成为正方形、长方形，其一边的尺寸为2000mm～3400mm。

需要说明的是，玻璃基板g的形状、尺寸、厚度等并不特别限定，能够根据玻璃基板g的用途而适当变更。

如图1所示，应变测定装置1主要包括台架20、载置台30、应变测定部40、以及控制装置整体的运转的控制机构50(参照图3)等。

台架20是用于将载置台30保持为倾斜状态或水平状态的台，且设置在地面上。

需要说明的是，本实施方式中的“水平状态”不限于完全的水平状态(倾斜角度＝0°)，也包括大致水平的状态，例如也包括看起来呈水平的状态。具体而言，“水平状态”也包括在载置台30稍微倾斜的情况下，相对于水平方向的倾斜角度处于-10°以上且小于0°或者超过0°且10°以下的范围的状态。

例如如图3所示，在台架20的前侧部设置有载置区域p，在台架20的后侧部设置有测定区域m，在台架20配备有能够使载置台30在上述载置区域p与测定区域m之间沿水平方向(应变测定装置1的前后方向)滑动移动的滑动机构21(参照图1)，上述载置区域p成为用于将玻璃基板g向载置台30载置的区域，上述测定区域m成为用于进行玻璃基板g的应变测定的区域。

滑动机构21、21分别配置于载置台30的宽度方向的两端部。

在此，如图1所示，在各滑动机构21的一端部(前端部)设置有以能够转动的方式对载置台30的中途部进行轴支承的转动轴22。

在滑动机构21配备有使水平状态(水平姿态)的载置台30在前后方向移动的水平驱动机构(未图示)、以及使载置台30以转动轴22为中心而转动的转动驱动机构(未图示)等。

转动驱动机构由致动器构成，且配置于台架20的一端，该致动器由气缸等构成。

而且，通过驱动转动驱动机构，从而载置台30能够以转动轴22为中心而转动，成为倾斜状态(倒立状态)或者水平状态(水平姿态)。

在台架20的前端部配设有第一减振器23。

对于第一减振器23，如图5中(a)、图5中(b)所示，在载置台30从水平状态转动而倾斜时，第一减振器23的前端部23a与载置台30的背面接触从而吸收转动时的冲击。

另一方面，在台架20的上部配设有第二减振器(未图示)。

对于第二减振器，在载置台30从倾斜状态转动而成为水平状态时，第二减振器的前端部与载置台30的背面接触从而吸收转动时的冲击。

需要说明的是，也可以使用由橡胶等弹性构件构成的冲击吸收构件来代替上述第一减振器23以及上述第二减振器。

如图1所示，载置台30保持于台架20的载置区域p的一端并且供玻璃基板g载置。

载置台30是将玻璃基板g载置于一端面侧(在水平状态下为上表面侧)，并能够通过滑动机构21的水平驱动机构而向水平方向的任意位置移动的台。

另外，载置台30的前后方向中途部以能够转动的方式支承于台架20的滑动机构21所具有的转动轴22。载置台30构成为能够在载置区域p通过转动轴22而转动为倾斜状态或者水平状态。

载置台30是在台架20的一端部(前端部)通过滑动机构21的转动驱动机构而能够以任意的倾斜角度(例如如图6所示，在本实施方式中为70～80度)倾斜的台。

在此，如图3所示，载置台30包括台部31、承接部32、以及宽度方向定位部33等。

台部31由金属制(在本实施方式中为铝制)的平板的板状构件构成，作为在应变测定时用于将玻璃基板g的平坦度维持为所希望的精度的平台而发挥功能。

台部31具有成为平板状的载置面的平板部31a，在该平板部31a开设有多个圆形状的开口部31b、31b…。

所述多个开口部31b、31b…是用于在通过应变测定部40进行应变测定时供从下方照射的激光通过的开口部分，形成纵横等间隔地排列的方形阵列。

在所述多个开口部31b、31b…中的、位于最前列(水平状态的载置台30中的最前列)的开口部31b、31b…的前侧以及后侧，沿着前后方向开设有与最前列的各开口部31b的前端部以及后端部连通的规定长度的槽部34(参照图7)。

如图7所示，槽部34形成为与后述的凹凸部32c的凸部32d对置的面，剖面形状为矩形状，并且是供凹凸部32c的凸部32d卡合的部分。

槽部34与开口部31b连接设置。

具体而言，槽部34包括：从最前列的开口部31b的前端部向前方延伸出规定长度的前槽部34a、从最前列的开口部31b的后端部向后方延伸并与该开口部31b的后方的列的开口部31b的前端部连通的后槽部34b。

在此，槽部34的宽度尺寸设定为小于开口部31b的直径尺寸。

另外，槽部34的深度尺寸设定为与凹凸部32c的凸部32d的突出尺寸相等或者比凹凸部32c的凸部32d的突出尺寸稍大。

而且，槽部34构成为能够与凹凸部32c的凸部32d卡合。

如图3所示，承接部32在台部31的一端部(前端部)附近沿着宽度方向配置，用于在使载置台30倾斜并载置玻璃基板g时对玻璃基板g的一端进行定位并进行支承。

承接部32包括沿着台部31的宽度方向配置的平板状的基部32a、以及安装于该基部32a的一端侧(后端侧)的板状构件32b等。

另外，承接部32具备在台部31的前端部的宽度方向两侧配置的驱动机构35、35，且被该驱动机构35、35支承为能够沿着相对于载置台30的载置面即平板部31a平行的方向移动。

板状构件32b是在载置玻璃基板g时供玻璃基板g的前端部抵接的构件，由合成树脂(例如，mc尼龙(注册商标))形成。

由此，在将玻璃基板g载置于载置台30时，即使玻璃基板g与板状构件32b接触，也能够防止玻璃基板g的缺损、破损。

在此，如图7所示，在板状构件32b形成有凹凸部32c，该凹凸部32c与台部31对置，并且在长度方向以矩形状且凹凸状连续地形成。

另外，板状构件32b在凹凸部32c的多个凸部32d、32d…与形成于台部31的多个槽部34、34…卡合的状态下借助螺栓等可装卸地固定设置于基部32a。

而且，当承接部32(更具体而言，基部32a)被驱动机构35驱动时，板状构件32b的凹凸部32c的多个凸部32d、32d…能够在维持与多个槽部34、34…的卡合状态的同时滑动，在台部31的上表面的前部，能够使承接部32的板状构件32b移动并配置在前后方向(图7所示的两箭头方向)的任意位置。

由此，如图8所示，承接部32的板状构件32b能够根据玻璃基板g的外形尺寸而移动。

需要说明的是，在将载置台30设为倾斜状态并载置玻璃基板g的情况下，玻璃基板g被承接部32的板状构件32b支承。

另一方面，在载置台30成为水平状态并进行测定区域中的应变测定时，能够对驱动机构35进行驱动而使承接部32向远离玻璃基板g的方向(在本实施方式中为前方)移动规定距离，以便不对应变测定造成影响。

宽度方向定位部33是在将玻璃基板g载置于载置台30时对玻璃基板g的宽度方向一端侧进行定位的构件。

宽度方向定位部33在宽度方向上可动，能够按照玻璃基板g的外形尺寸而进行变更。

如图3所示，应变测定部40配置于台架20的测定区域m，从下方对水平状态的玻璃基板g照射激光从而测定玻璃基板g的应变。

如图4所示，应变测定部40包括激光照射部41、支承体42、被支承为能够在该支承体42的宽度方向移动的激光受光部43、以及驱动该激光照射部41和激光受光部43的驱动机构(未图示)等。

在图3中，应变测定部40能够通过未图示的驱动机构而使激光照射部41在与应变测定装置1的前后方向(y方向)正交的方向(x方向)移动。

由此，应变测定部40能够一边移动一边向玻璃基板g照射激光而进行测定。

具体而言，应变测定部40通过由控制机构50来控制应变测定部40的驱动机构，能够在每个开口部31b处依次移动、停止，并对各开口部31b各自进行应变测定。

需要说明的是，应变测定部40可以使用市售的应变测定机。

具体而言，为了评价玻璃基板g的应变的程度，应变测定部40能够测定延迟的大小以及延迟的方位角。

然而，在本实施方式的应变测定部40中，作为测定头而采用具有一个激光照射部41(参照图2)的结构，但也可以采用以规定间隔设置多个激光照射部41、41…的结构。

在采用设置有多个激光照射部41、41…的结构的情况下，与一个激光照射部41的情况相比能够缩短测定时间。

控制机构50控制台架20的滑动机构21所具有的驱动机构(水平驱动机构、转动驱动机构)、以及应变测定部40所具有的驱动机构、与应变测定相关的测定动作。

控制机构50例如是具备cpu等处理装置、存储器等存储装置、显示器等显示装置的个人计算机(pc)。

控制机构50构成为能够将玻璃基板g的应变测定结果向显示器等显示装置输出。

另外，控制机构50构成为能够将玻璃基板g的应变测定结果的数据保存于存储装置。

[应变测定方法]

接下来，对基于上述的应变测定装置1的玻璃基板g的应变测定方法进行说明。

基于本实施方式的应变测定装置1的玻璃基板g的应变测定方法是在台架20上对玻璃基板g的任意位置的应变进行测定的方法。

首先，如图1所示，在将玻璃基板g载置于载置台30时，载置台30配置于台架20上的载置区域p的一端侧(前端侧)，并且处于倾斜状态(在本实施方式中，载置台30相对于地面的倾斜角度为70～80度)。

在像这样使载置台30倾斜的状态下，将玻璃基板g载置于该载置台30。

具体而言，作业者使用吸引保持器具(例如，真空升降机)吸引保持成为被测定物的玻璃基板g，并将其载置于倒立状态的载置台30。

载置台30的倾斜角度可以适当设定，但优选为70～80°左右。

通过设为该角度范围，作业者能够将玻璃基板g容易地载置于载置台30。

接下来，如图2所示，控制机构50驱动滑动机构21的转动驱动机构，使载置台30以转动轴22为中心而转动，载置台30从倾斜状态(倾斜姿态)成为水平状态(水平姿态)。

此时，载置台30的背面通过上部减振器来吸收转动时的冲击。

接下来，控制机构50驱动滑动机构21的水平驱动机构，使水平状态(水平姿态)的载置台30从台架20的载置区域p滑动移动至测定区域m的规定位置。

然后，控制机构50对移动至测定区域m的载置台30上的玻璃基板g执行应变测定。

具体而言，应变测定装置1的控制机构50从被设定为最初的测定位置的开口部31b(例如，位于台部31的角部的开口部31b)起利用应变测定部40开始进行应变测定。

控制机构50通过应变测定部40所具有的驱动机构而使激光照射部41在x方向以预先设定的间隔移动，或者通过滑动机构21的水平驱动机构使载置台30在y方向以预先设定的间隔移动，从下方经由各开口部31b向玻璃基板g照射激光而进行应变测定。

这样，控制机构50控制应变测定部40以及滑动机构21，以使应变测定部40的激光照射部41以及激光受光部43与各开口部31b对应地移动、停止的方式进行位置控制，并且在各开口部31b各自处进行应变的测定。

接下来，当基于应变测定部40的应变测定结束时，控制机构50将与各开口部31b对应的各测定点处的延迟的大小以及延迟的方位角作为玻璃基板g的应变测定结果而向显示器等显示装置输出。

另外，控制机构50将玻璃基板g的应变测定结果的数据保存于存储装置。

控制机构50将预先设定的评价应变的指标即标准值(延迟的大小以及延迟的方位角)与测定结果进行比较，从而进行与玻璃基板g的应变相关的优劣判断。

这样，在使用本实施方式的应变测定装置1的玻璃基板g的应变测定方法中，在将玻璃基板g载置于倾斜状态的载置台30后，使载置台30转动而成为水平状态，对水平状态的玻璃基板g照射激光而测定应变。

这样一来，能够将玻璃基板g容易地载置于载置台30，能够简单并且迅速地测定玻璃基板g的应变的程度。

进而，由于能够简单且迅速地测定玻璃基板g的应变的程度，所以例如在制造玻璃基板g时，能够较早地向制造工序进行测定结果的反馈，能够实现玻璃基板g的品质以及成品率的提高。

另外，在使用本实施方式的应变测定装置1的玻璃基板g的应变测定方法中，所述激光一边移动一边向所述玻璃基板照射。

由此，能够测定玻璃基板g的任意位置的应变。

另外，在使用本实施方式的应变测定装置1的玻璃基板g的应变测定方法中，在将所述玻璃基板g载置于载置台30时，通过承接部32的板状构件32b来支承玻璃基板g的一端(前端)，板状构件32b能够根据玻璃基板g的外形尺寸而移动。

由此，即使在玻璃基板g的外形尺寸变更的情况下，也能够使承接部32的板状构件32b移动来进行应对。

进而，能够使承接部32的板状构件32b适当移动从而调整玻璃基板g中的应变测定的测定位置。

另外，在使用本实施方式的应变测定装置1的玻璃基板g的应变测定方法中，承接部32的板状构件32b在与载置台30对置的面具有凹凸部32c，载置台30的台部31在与承接部32对置的面具有供凹凸部32c的凸部32d卡合的槽部34。

另外，承接部32的板状构件32b能够在将凹凸部32c的凸部32d卡合于槽部34的状态下根据玻璃基板g的外形尺寸而移动。

由此，即使在承接部32的板状构件32b与载置台30之间产生间隙的情况下，由于凹凸部32c的凸部32d与槽部34卡合，因此也能够防止玻璃基板g进入该间隙。

另外，在使用本实施方式的应变测定装置1的玻璃基板g的应变测定方法中，在开口部31b连接设置有槽部34，槽部34的宽度尺寸形成为小于开口部31b的最大尺寸。

由此，凹凸部32c的凸部32d还能够在开口部31b中移动，从而在玻璃基板g的外形尺寸变更时能够在更大范围内应对该变更。

另外，在本发明所涉及的使用本实施方式的应变测定装置1的玻璃基板g的应变测定方法中，承接部32的板状构件32b在基于应变测定部40的应变测定时向远离玻璃基板g的端面的方向移动。

这样，承接部32的板状构件32b在基于应变测定部40的应变测定时与玻璃基板g分离，因此不会对玻璃基板g的端面施加多余的力，能够准确地进行应变测定。

产业上的可利用性

本发明的玻璃基板应变测定方法以及玻璃基板应变测定装置能够用于测定玻璃基板的任意位置的应变。

附图标记说明

1玻璃基板应变测定装置

20台架

21滑动机构

22转动轴

30载置台

31台部

31a平板部(载置面)

31b开口部

32承接部

32b板状构件

32c凹凸部

32d凸部

34槽部

40应变测定部

50控制机构

g玻璃基板

m测定区域

p载置区域。