技术特征:
技术总结
观察装置(1)是观察观察对象(S)的观察装置,具备:照射用光源(2),其产生照射光(L1);投影用光源(3),其产生投影光(L2);扫描镜(10),其朝向观察对象(S)以同一光路扫描照射光(L1)与投影光(L2);导光光学系统(G),其不经由扫描镜(10)而将对应于照射光(L1)的照射而在观察对象(S)产生的被检测光(L3)进行导光;光检测器(5),其检测由导光光学系统(G)导光的被检测光(L3);及控制部(6),其基于被检测光(L3)的检测结果而控制投影光(L2)的强度。
技术研发人员:高桥聪;松田俊辅;宫下贵行;三轮光春
受保护的技术使用者:浜松光子学株式会社
技术研发日:2017.10.12
技术公布日:2019.08.30