技术特征：
技术总结
本发明公开了一种校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置及方法，沿光路依次设置标准平晶、功率衰减平行平板、第一楔板反射镜、第二楔板反射镜、分光镜、波前探测器和动态干涉仪；第二楔板反射镜设置于第一楔板反射镜的反射光路上；分光镜设置于第二楔板反射镜的反射光路上；波前探测器设置于分光镜的透射光路上，动态干涉仪设置于分光镜的反射光路上。装置中标准平晶、功率衰减平行平板、第一楔板反射镜、第二楔板反射镜、分光镜上均镀有特定反射率的膜。本发明可以对高功率激光器M2测量系统中光学元件热形变带来的M2误差进行测量和去除，同时保证测量过程的高速，在高精度的测量中实现光束质量M2的动态测量。
技术研发人员：韩志刚;季琨皓;沈华;朱日宏;孟令强;孔庆庆;经逸秋;李思宇;杨哲
受保护的技术使用者：南京理工大学
技术研发日：2018.01.16
技术公布日：2018.07.17