一种基于AFM的微/纳观力-电耦合特性测量装置及其方法与流程

文档序号:14949192发布日期:2018-07-17 22:09阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种基于AFM的微/纳观力‑电耦合特性测量装置,包括压电驱动器、AFM探头、导电第二探针、激光发射器、显微镜、检测器和数据处理中心;柔弹性导电试样的两端通过夹具安装在固定架上;所述固定架上安装可移动的压电驱动器;所述固定架上安装AFM探头和导电第二探针,所述AFM探头通过运动与柔弹性导电试样表面接触,所述导电第二探针可与柔弹性导电试样表面接触;所述AFM原子力显微镜内置所述激光发射器和检测器,所述激光发射器用于发射信号。发明可以现对纳观导电性能与机械荷载耦合关系测试,可实时动态反映力‑电耦合作用下试样的机械荷载、结构与材料性能之间的关系。

技术研发人员:王学森;王成原;张康;俞笑竹;赵越;孙虎
受保护的技术使用者:常州市利多合金材料有限公司;江苏大学
技术研发日:2018.01.25
技术公布日:2018.07.17
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