一种基于场效应管栅极敏感效应的压电振动传感装置的制作方法

文档序号:14909114发布日期:2018-07-10 22:54阅读:275来源:国知局

本发明专利是一种振动信号检测装置,特别是一种用于振动信号提取装置,属于振动信号检测领域。



背景技术:

振动信号的提取广泛应用于机械振动研究、汽车系统、传感器等领域中。在振动信号的提取中,如何消除外部因素对信号的影响是决定信号精度的主要因素。对于一些振动信号的提取方法,在提取信号时受到一些外部因素如噪声或其他振动的影响等,使得振动信号的提取和检测有较大的误差。为了实现更高的信号提取灵敏度,需要采用影响更小的测量方式,然而如何降低外部因素的影响,成为制约振动信号提取精度提高的难题之一。压电片具有变形后能产生电压的特性,且产生的电压信号较强,非常适合用于测量振动信号。场效应管具有输入电阻高、噪声小、功耗低、动态范围大、易于集成、没有二次击穿现象安全工作区域宽等优点。在振动信号提取方面,通常采用检测位移信号的方法,即将位移信号转化为光、电、磁等信号,通过测量这些信号,实现高灵敏度的位移测量。本发明可以广泛应用于机械振动、力学分析等领域的振动信号检测和提取工作。



技术实现要素:

本发明针对振动信号难以提取的现状,提供一种基于场效应管栅极敏感效应的压电振动传感装置。

本发明专利解决其技术问题所采用的方案是:所述基于场效应管栅极敏感效应的压电振动传感装置,包括悬臂梁的静电激励振动装置、振动信号提取装置两部分。所述悬臂梁的静电激励振动装置,其特征在于:所述悬臂梁的静电激励振动装置由悬臂梁、接地端、静电驱动极板、交流信号源、底板、金金属层、侧板、压电片、驱动开关和导线组成。所述悬臂梁左端固定在侧板上,右端自由,在悬臂梁下表面镀上一层金金属层;所述静电驱动极板位于悬臂梁的正下方,固结于底板上,长度比悬臂梁稍微短一些,悬臂梁下表面的金金属层的左端通过导线连接交流信号源的左端,交流信号源的右端通过导线连接驱动开关的左端,驱动开关的右端通过导线连接静电驱动极板的右端;所述压电片固结在悬臂梁上表面的左端,压电片的右端通过导线与接地端连接,压电片的左端伸出导线(即a端),与振动信号提取回路上电容的右端(即a端)连接。

所述振动信号提取装置由场效应管、栅极电源、电容、源漏极电源、信号采集器、开关和导线组成。所述场效应管的c端通过导线连接源漏极电源负极,源漏极电源正极通过导线连接信号采集器的左端,信号采集器的右端通过导线连接开关左端,开关右端通过导线连接场效应管的d端,场效应管的b端通过导线连接栅极电源,栅极电源通过导线连接电容的左端,电容的右端通过导线连接悬臂梁上压电片的左端(即a端)。

所述场效应管由金属电极、漏极、源极和栅极组成。所述栅极接出的导线为b端,源极接出的导线为c端,漏极接出的导线为d端。

悬臂梁在交流信号激励作用下产生受迫振动;当悬臂梁振动时,压电片随着悬臂梁的振动发生变形,不断被压缩和拉伸,产生随着梁振动的周期性电压,该电压与场效应管的栅极所连接的栅极电源叠加,使场效应管源漏极之间产生变化规律相同的周期性变化电流。悬臂梁振动时,其频率和振动信号提取回路上电流的变化频率是一样的,这样就完成了振动信号的提取。

本发明与现有技术相比具有如下优点:

1.场效应管应用于机械敏感时,可以使得机械敏感信号能够同电子信号处理与逻辑电路直接耦合,从而使引入的寄生效应最小化。

附图说明

图1悬臂梁的静电激励振动装置图;

图2振动信号提取电路图;

图3场效应管结构图;

图中,1、悬臂梁 2、接地端 3、静电驱动极板 4、驱动开关 5、交流信号源 6、底板 7、金金属层 8、侧板 9、压电片 10、电容 11、开关 12、信号采集器 13、源漏极电源 14、场效应管 15、栅极电源 16、金属电极 17、漏极 18、源极 19、栅极

具体实施方式

以下结合附图做作进一步详述:

本实施例的主体结构包括悬臂梁的静电激励振动装置、振动信号提取装置两部分。所述悬臂梁1的静电激励振动装置由悬臂梁1、接地端2、静电驱动极板3、交流信号源5、底板6、金金属层7、侧板8、压电片9、驱动开关4和导线组成。所述悬臂梁1左端固定在侧板8上,右端自由,在悬臂梁1下表面镀上一层金金属层7;所述静电驱动极板3位于悬臂梁1的正下方,固结于底板6上,长度比悬臂梁1稍微短一些,悬臂梁1下表面的金金属层7的左端通过导线连接交流信号源5的左端,交流信号源5的右端通过导线连接驱动开关4的左端,驱动开关4的右端通过导线连接静电驱动极板3的右端;所述压电片9固结在悬臂梁1上表面的左端,压电片9的右端通过导线与接地端2连接,压电片9的左端伸出导线(即a端),与振动信号提取回路上电容10的右端(即a端)连接。

所述振动信号提取装置由场效应管14、栅极电源15、电容10、源漏极电源13、信号采集器12、开关11和导线组成。所述场效应管14的c端通过导线连接源漏极电源13负极,源漏极电源13正极通过导线连接信号采集器12的左端,信号采集器12的右端通过导线连接开关11左端,开关11右端通过导线连接场效应管14的d端,场效应管14的b端通过导线连接栅极电源15,栅极电源15通过导线连接电容10的左端,电容10的右端通过导线连接悬臂梁1上压电片9的左端(即a端)。

所述场效应管14由金属电极16、漏极17、源极18和栅极19组成。所述栅极19接出的导线为b端,源极18接出的导线为c端,漏极17接出的导线为d端。

悬臂梁1在交流信号激励作用下产生受迫振动;当悬臂梁1振动时,压电片9随着悬臂梁1的振动发生变形,不断被压缩和拉伸,产生随着悬臂梁1振动的周期性电压,该电压与场效应管14的栅极19所连接的栅极电源15叠加,使场效应管14源漏极之间产生变化规律相同的周期性变化电流。悬臂梁1振动时,其频率和振动信号提取回路上电流的变化频率是一样的,这样就完成了振动信号的提取。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换以及改进,均应包含在本发明所述的保护范围之内。

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