传感器元件的制作方法

文档序号:15734042发布日期:2018-10-23 21:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种传感器元件,其是平板状的传感器元件,该传感器元件配备于对被测定气体中的规定气体成分进行检测的气体传感器,

所述传感器元件的特征在于,

具备:

基体部,该基体部包含作为氧离子传导性的固体电解质的氧化锆;以及

加热器部,该加热器部对所述传感器元件进行加热,

所述加热器部具有:

加热器部件,其包含有Pt,且该加热器部件通过从外部被供电而发热;

绝缘层,该绝缘层覆盖所述加热器部件;以及

加热器电极,该加热器电极配备成暴露在所述传感器元件的主面,并与所述加热器部件电连接,

所述加热器部除了所述加热器电极以外的部分埋设于所述基体部,

所述绝缘层以合计97wt%~100wt%的重量比至少包含MgO、MgAl2O4以及Mg4Nb2O9,

MgO的重量比为30wt%~60wt%,

MgAl2O4的重量比为30wt%~60wt%,

Mg4Nb2O9的重量比为0.5wt%~15wt%,

所述绝缘层的气孔率为4%以下。

2.根据权利要求1所述的传感器元件,其特征在于,

所述绝缘层的至少900℃下的热膨胀系数为10.3~12.3(×10-6/℃)。

3.根据权利要求1或2所述的传感器元件,其特征在于,具备:

气体导入口,该气体导入口设置于所述基体部的一方端部;

至少1个内部空腔,该内部空腔设置于所述基体部的内部,并在规定的扩散阻力下与所述气体导入口连通;以及

至少1个电化学泵单元,该电化学泵单元包含设置于所述基体部的外表面的外侧泵电极、面向所述至少1个内部空腔而设置的内侧泵电极、以及存在于所述外侧泵电极与所述至少1个内侧泵电极之间的所述固体电解质,并在所述至少1个内部空腔与外部之间进行氧的汲入及汲出,

除了所述加热器电极以外的所述加热器部在从所述气体导入口至所述至少1个内部空腔为止的气体流通部的下方位置,通过所述固体电解质而与所述气体流通部隔离,并且,沿着所述气体流通部的延伸方向被配置。

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