传感器元件的制作方法

文档序号:15734042发布日期:2018-10-23 21:10阅读:来源:国知局
技术总结
本发明抑制Pt的扩散以及由固体电解质层与绝缘层之间的热膨胀系数差所引起的开裂,从而使传感器元件长寿命化。平板状传感器元件的加热器部具有:加热器部件,其包含有Pt;绝缘层,其覆盖加热器部件;以及加热器电极,其暴露在传感器元件主面,且加热器部除了加热器电极以外的部分埋设于包含固体电解质的基体部,绝缘层以合计97~100wt%的重量比至少包含MgO、MgAl2O4以及Mg4Nb2O9,MgO、MgAl2O4以及Mg4Nb2O9的重量比分别为30~60wt%、30~60wt%、0.5~15wt%,绝缘层的气孔率为4%以下。

技术研发人员:氏原浩佑;早濑徹;森本健司
受保护的技术使用者:日本碍子株式会社
技术研发日:2018.03.19
技术公布日:2018.10.23

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1