技术总结
本发明公开了一种等离子体气体传感器及其制造方法，该气体传感器包括基底、绝缘层、形成在基底上的针状结构阵列以及对电极，其中对电极设置在针状结构上方，由绝缘层隔离并形成气体放电空间，针状结构阵列的若干针状结构的顶端与金属颗粒形成异质结结构。该结构充分利用了对电极、针状结构、绝缘层间隙构成的微观尺度体系，其中针状结构和和对电极体现出了电场集聚效应，纳米级的放电空间提高了气体放电产生的电荷传导效率，促进了气体传感信号的采集。该等离子体气体传感器巧妙地实现了等离子体发生所需的局部强电场，利用了传输过程中的小尺度优势，达到了器件微型化、工作电压低、功耗低等技术效果。该结构的制造方法耗材少、结构利用率高，达到了高效率、节省、精准的微加工效果。
技术研发人员：刘海;侯中宇
受保护的技术使用者：上海交通大学
技术研发日：2018.03.20
技术公布日：2018.09.18