技术特征：
技术总结
本发明公开了一种单片集成三轴加速度传感器及其制作工艺，其中，采用微电子机械加工技术方法，利用4个双L型梁、两个质量块、中间双梁作为弹性元件，所述两个质量块将感受的加速度信息(ax、ay、az)转换为弹性元件形变，引起所述由弹性元件根部12个压敏电阻构成的3个惠斯通电桥结构输出电信号发生变化，可分别实现三个方向加速度(ax、ay、az)检测；并且，通过优化4个双L型梁和两个质量块、中间双梁尺寸，优选后三个检测电路检测对应加速度具有较好一致性。
技术研发人员：赵晓锋;王颖;温殿忠
受保护的技术使用者：黑龙江大学
技术研发日：2018.04.20
技术公布日：2019.06.07