电子部件输送装置以及电子部件检查装置的制作方法

本发明涉及一种电子部件输送装置以及电子部件检查装置。

背景技术：

以往，已知有进行例如ic设备等这样的电子部件的电性检查的检查装置(例如，参照专利文献1)。在该专利文献1中记载的检查装置中，被构成为在对ic设备进行检查时，将ic设备输送到检查用插座，并载置于检查用插座而进行该检查。另外，在专利文献1中记载的检查装置中，在进行对ic设备的检查之前，判断ic设备是否残留于检查用插座，即判断ic设备的有无。作为该判断的必要性，例如假设在检查插座残留有ic设备的情况下，存在之后被检查的ic设备会重叠于该残留装置而不能得到准确的检查结果的可能性。并且，在专利文献1中记载的检查装置中，ic设备有无的判断，是在朝向检查用插座照射狭缝光的状态下得到拍摄时刻不同的(ic设备输送前后)两张图像，检测这两张图像的差异(图像差)，并基于其检测结果来进行。

专利文献1：日本特开2014-196908号公报

但是，在专利文献1中记载的检查装置中，需要根据检查用插座的种类来调整照射狭缝光的激光光源(光照射部)的位置和朝向。例如，在以手动即直接接触激光光源以手工操作来进行该调整的情况下，由于检查用插座的种类不同(例如，检查用插座所具有的ic设备收纳用的凹部的大小非常小等)，使来自激光光源的狭缝光准确地照射于准确进行ic设备的有无的判断的位置是困难的。

技术实现要素：

本发明是为了解决上述技术问题中的至少一部分而完成的，能够通过以下方式来实现。

本发明的电子部件输送装置的特征在于，包括：输送部，输送电子部件；区域，能够配置载置有所述电子部件的电子部件载置部；光照射部，能够照射光，并相对于所述电子部件载置部能够调整所述光的照射方向；处理部，基于投影于所述电子部件载置部的所述光的投影形状以及照射位置中的至少一个，进行所述电子部件载置部中的所述电子部件的有无的判断处理；以及显示部，显示所述投影形状的图像。

由此，当调整光的照射方向时，能够一边确认包含有光在电子部件载置部上的投影形状的图像的画面，一边调整光照射部的位置和姿势。由此，无论电子部件载置部的大小和种类，都能够掌握照射位置来进行调整，使得该照射位置位于电子部件载置部的目标位置。结果，能够相对于电子部件载置部将从光照射部照射的光的照射方向进行准确地调整。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述显示部能够显示拍摄所述光的投影位置以及所述电子部件载置部而得的图像。

由此，当调整光的照射方向时，能够一边确认包含有照射位置位于预定的位置的状态的图像的画面，一边调整光照射部的位置和姿势。由此，无论电子部件载置部的大小和种类，都能够掌握照射位置来进行调整，使得该照射位置位于电子部件载置部的目标位置。结果，能够相对于电子部件载置部将从光照射部照射的光的照射方向进行准确地调整。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，具备通知所述照射位置位于预定的位置的通知部。

由此，当调整光的照射方向时，能够一边确认从通知部通知的照射位置位于预定的位置的信息，一边调整光照射部的位置和姿势。由此，无论电子部件载置部的大小和种类，都能够掌握照射位置来进行调整，使得该照射位置位于电子部件载置部的目标位置。结果，能够相对于电子部件载置部将从光照射部照射的光的照射方向进行准确地调整。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述电子部件载置部具有收纳、载置所述电子部件的凹部，所述通知部在所述照射位置位于包含所述凹部的第一区域时进行第一通知，在所述照射位置位于所述第一区域的外侧且所述电子部件载置部上的第二区域时进行第二通知。

由此，通过区别分辨出第一通知和第二通知，能够准确地掌握光的照射位置位于何处。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述通知部发出声音，所述第一通知部和所述第二通知部的所述声音不同。

由此，能够准确地分辨出第一通知和第二通知。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述通知部在所述照射位置位于相比所述电子部件载置部靠外侧的第三区域时进行第三通知。

由此，通过区别分辨出第一通知和第二通知和第三通知，能够更加准确地掌握光的照射位置位于何处。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述照射方向的调整能够通过调整所述光照射部在垂直方向的高度、所述光照射部相对于垂直方向的角度中的至少一个来进行。

由此，能够迅速并且简单地进行光的照射方向的调整。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述投影形状呈线状，使所述线状在宽度方向的中心线作为所述照射位置。

由此，无论所述线状的宽度的大小，都能够决定照射位置。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述照射方向的调整在所述判断处理之前进行。

由此，即使在根据电子部件的种类更换电子部件载置部的情况下，也能够准确地检测电子部件载置部中的电子部件的有无。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，所述电子部件载置部是载置所述电子部件并能够进行检查的检查部。

在检查部中，存在在电子部件的检查之前检测电子部件的有无即电子部件的残留的情况。因此，一边确认由显示部显示的图像，一边相对于电子部件载置部将来自残留检测用的光照射部的光的照射方向进行调整，在准确地进行残留检测的基础上进行使特别优选的。

本发明的电子部件输送装置的特征在于，包括：输送部，输送电子部件；区域，能够配置载置有所述电子部件的电子部件载置部；光照射部，能够照射光，并相对于所述电子部件载置部能够调整所述光的照射方向；处理部，基于投影于所述电子部件载置部的所述光在所述电子部件载置部上的投影形状以及照射位置中的至少一个，进行所述电子部件载置部中的所述电子部件的有无的判断处理；以及通知部，通知所述照射位置位于预定的位置。

由此，当调整光的照射方向时，能够一边确认从通知部通知的、照射位置位于预定的位置的信息，一边调整光照射部的位置和姿势。由此，无论电子部件载置部的大小和种类，都能够掌握照射位置来进行调整，使得该照射位置位于电子部件载置部的目标位置。结果，能够相对于电子部件载置部将从光照射部照射的光的照射方向进行准确地调整。

在本发明的电子部件输送装置中，优选的是，具备检测部，所述检测部基于所述光照射部在垂直方向的高度、所述光照射部相对于垂直方向的角度来检测所述照射位置。

由此，能够迅速并且准确地检测照射位置。

本发明的电子部件检查装置的特征在于，包括：输送部，输送电子部件；电子部件载置部，载置有所述电子部件；区域，能够配置所述电子部件载置部；光照射部，能够照射光，并相对于所述电子部件载置部将所述光的照射方向进行调整；处理部，基于投影于所述电子部件载置部的所述光的投影形状以及照射位置中的至少一个，进行所述电子部件载置部中的所述电子部件的有无的判断处理；以及显示部，显示所述投影形状的图像，所述电子部件载置部是载置所述电子部件并能够进行检查的检查部。

由此，当调整光的照射方向时，能够一边确认包含有光在检查部上的投影形状的图像的画面，一边调整光照射部的位置和姿势。由此，无论检查部的大小和种类，都能够掌握照射位置来进行调整，使得该照射位置位于检查部的目标位置。结果，能够相对于检查部将从光照射部照射的光的照射方向进行准确地调整。

并且，能够将电子部件输送到作为检查部的电子部件载置部，从而能够利用检查部进行对于该电子部件的检查。并且，能够将检查后的电子部件从检查部进行输送。

附图说明

图1是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置的第一实施方式的概略立体图。

图2是示出图1中示出的电子部件检查装置的动作状态的概略俯视图。

图3是图2中的检查区域内的放大详细俯视图。

图4是从图3中的箭头a方向观察的部分截面图。

图5是示出在配置于图3中示出的检查区域内的检查部未载置有ic设备的状态的俯视图。

图6是从图5中的箭头b方向观察的部分的截面图。

图7是示出在配置于图3中示出的检查区域内的检查部载置有ic设备的状态的俯视图。

图8是从图7中的箭头c方向观察的部分的截面图。

图9是示出对照射于配置于图3中示出的检查区域内的检查部的光的位置进行调整的状态的一例的部分截面图。

图10是示出对照射于配置于图3中示出的检查区域内的检查部的光的位置进行调整的状态的一例的部分截面图。

图11是示出对照射于配置于图3中示出的检查区域内的检查部的光的位置进行调整的状态的一例的部分截面图。

图12是在对照射于配置于图3中示出的检查区域内的检查部的光的位置进行调整时使用的图像的一例。

图13是在对照射于配置于图3中示出的检查区域内的检查部的光的位置进行调整时使用的图像的一例。

图14是在对照射于配置于图3中示出的检查区域内的检查部的光的位置进行调整时使用的图像的一例。

图15是在对照射于配置于本发明的电子部件检查装置(第二实施方式)的检查区域内的检查部的光的位置进行调整时使用的图像的一例。

图16是在对照射于配置于本发明的电子部件检查装置(第三实施方式)的检查区域内的检查部的光的位置进行调整时使用的图像的一例。

图17是在对照射于配置于本发明的电子部件检查装置(第四实施方式)的检查区域内的检查部的光的位置进行调整时使用的图像的一例。

图18是在对照射于配置于本发明的电子部件检查装置(第五实施方式)的检查区域内的检查部的光的位置进行调整时使用的图像的一例。

图19是示出对照射于配置于本发明的电子部件检查装置(第六实施方式)的检查区域内的检查部的光的位置进行调整的状态的一例的部分截面图。

图20是示出对照射于配置于本发明的电子部件检查装置(第六实施方式)的检查区域内的检查部的光的位置进行调整的状态的一例的部分截面图。

图21是示出对照射于配置于本发明的电子部件检查装置(第六实施方式)的检查区域内的检查部的光的位置进行调整的状态的一例的部分截面图。

图22是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置(第七实施方式)的检查区域内的部分截面图。

图23是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置(第八实施方式)的检查区域内的部分截面图。

图24是本发明的电子部件检查装置(第九实施方式)的检查区域内的放大详细俯视图。

附图标记说明

1…电子部件检查装置、10…电子部件输送装置、11a…托盘输送机构、11b…托盘输送机构、12…温度调整部、13…装置输送头、14…装置供给部、14a…装置供给部、14b…装置供给部、15…托盘输送机构、16…检查部、161…凹部(凹槽)、161a…凹部、161b…凹部、161c…凹部、162…底面、17…装置输送头、17a…装置输送头、17b…装置输送头、171…把持部、172…间隙、18…装置回收部、18a…装置回收部、18b…装置回收部、19…回收用托盘、20…装置输送头、21…托盘输送机构、22a…托盘输送机构、22b…托盘输送机构、231…第一隔壁、232…第二隔壁、233…第三隔壁、234…第四隔壁、235…第五隔壁、241…前盖、242…侧盖、243…侧盖、244…后盖、245…顶盖、25…输送部、3…残留检测单元、4…光照射部、41…激光光源、41a…激光光源、41b…激光光源、41c…激光光源、5…拍摄部、51…照相机、6…画面、61…拍摄图像显示部、62…开始按钮(操作部)、631…点划线、632…第一虚线、633…第二虚线、64…箭头、65…操作按钮、651…左侧移动按钮、652…右侧移动按钮、66…箭头、67…箭头、7…检测部、90…ic设备、901…上面、200…托盘、300…监视器、301…显示画面、400…信号灯、500…扬声器、600…鼠标台、700…操作面板、800…控制部、a1…托盘供给区域、a2…装置供给区域、a3…检查区域、a4…装置回收区域、a5…托盘去除区域、b1…第一区域、b2…第二区域、b3…第三区域、g41…距离、h41…高度、if1…第一通知、if2…第二通知、if3…第三通知、l41…激光、m41…中心线、o41…转动轴、o162…中央部、α11a…箭头、α11b…箭头、α13x…箭头、α13y…箭头、α14…箭头、α15…箭头、α17y…箭头、α18…箭头、α20x…箭头、α20y…箭头、α21…箭头、α22a…箭头、α22b…箭头、α90…箭头、θ41…转动角度。

具体实施方式

以下，基于附图中示出的优选实施方式对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置进行详细说明。

第一实施方式

以下，参照图1～图14对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第一实施方式进行说明。并且，以下，为了便于说明，如图1所示，将相互正交的三轴设为x轴、y轴以及z轴。此外，包含x轴和y轴的xy平面形成为水平，z轴形成为垂直。此外，将与x轴平行的方向称为“x方向(第一方向)”，并将与y轴平行的方向称为“y方向(第二方向)”，并且将与z轴平行的方向称为“z方向(第三方向)”。另外，将各方向的箭头指向的方向称为“正”，将其相反方向称为“负”。另外，本申请说明书中所说的“水平”不限定于完全水平，在不阻碍电子部件的输送的范围内，也包含相对于水平略微倾斜(例如不到5°左右)的状态。并且，将图1、图4、图6、图8～图11中(图19～图23也同样)的上侧即z轴方向正侧称为“上”或“上方”，将下侧即z轴方向负侧称为“下”或“下方”。

本发明的电子部件输送装置10具有图1所示的外观。本发明的电子部件输送装置10是处理器，具备：输送部25，其输送电子部件；检查区域a3(区域)，其能够配置载置有电子部件的电子部件载置部即检查部16；光照射部4，其能够照射激光l41(光)，并相对于检查部16(电子部件载置部)能够调整激光l41(光)的照射方向；控制部800，其作为处理部，基于投影(照射)于检查部16(电子部件载置部)的激光l41(光)在检查部16(电子部件载置部)上的投影形状(照射形状)以及照射位置中的至少一个，进行检查部16(电子部件载置部)中的电子部件的有无的判断处理；监视器300，其作为显示投影形状的图像的显示部。

由此，如后所述，当调整激光l41的照射方向时，能够一边确认包含有激光l41(光)在检查部16上的投影形状的图像(放大图像)的画面6，一边调整光照射部4的位置和姿势。由此，无论检查部16的大小和种类，都能够掌握照射位置来进行调整，使得该照射位置位于检查部16的目标位置。结果，能够相对于检查部16将从光照射部4照射的激光l41的照射方向进行准确地调整。

并且，如图2所示，本发明的电子部件检查装置1具备：输送部25，其输送电子部件；检查部16，其是载置有电子部件的电子部件载置部；检查区域a3(区域)，其能够配置检查部16(电子部件载置部)；光照射部4，其能够照射激光l41(光)，并能够相对于检查部16(电子部件载置部)将激光l41(光)的照射方向进行调整；控制部800，其作为处理部，基于投影于检查部16(电子部件载置部)的激光l41(光)在检查部16(电子部件载置部)上的投影形状(照射形状)以及照射位置中的至少一个，进行检查部16(电子部件载置部)中的电子部件的有无的判断处理；监视器300，其作为显示投影形状的图像的显示部。如前所述，电子部件载置部是载置电子部件并能够检查的检查部16。

由此，能够获得具有上述电子部件输送装置10的优点的电子部件检查装置1。另外，能够将电子部件输送到检查部16，因此，能够通过检查部16对该电子部件进行检查。另外，能够将检查后的电子部件从检查部16输送。

以下，对各部分的构成进行详细说明。

如图1、图2所示，具有电子部件输送装置10的电子部件检查装置1是输送例如bga(ballgridarray，球栅阵列)封装即ic设备等电子部件，并在其输送过程中对电子部件的电性特性进行检查/试验(以下简称为“检查”)的装置。并且，以下，为了便于说明，以使用ic设备作为所述电子部件的情况为代表进行说明，将其称为“ic设备90”。ic设备90在本实施方式中呈平板状。

并且，作为ic设备，除了上述情况以外，可列举出例如“lsi(largescaleintegration)，大规模集成电路”、“cmos(complementarymos)，互补金属氧化物半导体”、“ccd(chargecoupleddevice)，电荷耦合装置”、将多个ic设备模块化的“模块ic”、“水晶装置”、“压力传感器”、“惯性传感器(加速度传感器)”、“陀螺传感器”、“指纹传感器”等。

电子部件检查装置1(电子部件输送装置10)具备托盘供给区域a1、装置供给区域a2、检查区域a3、装置回收区域a4、装置去除区域a5，这些区域如后述被各壁部分开。并且，ic设备90从托盘供给区域a1到托盘去除区域a5为止在箭头α90方向上依次经由所述各区域，在途中的检查区域a3进行检查。这样，电子部件检查装置1具备：电子部件输送装置10，其具有以经由各区域的方式输送ic设备90的输送部25；检查部16，其在检查区域a3内进行检查；控制部800。并且，除此之外，电子部件检查装置1具备监视器300、信号灯400、操作面板700。

并且，电子部件检查装置1将配置托盘供给区域a1、托盘去除区域a5的一侧即图2中的下侧作为正面侧，将配置检查区域a3的一侧即图2中的上侧作为背面侧使用。

并且，电子部件检查装置1预先搭载被称为按照ic设备90的种类更换的“更换套件”的部件而使用。在该更换套件中具有载置ic设备90(电子部件)的载置部(电子部件载置部)。在本实施方式的电子部件检查装置1中，该载置部设置于多个部位，例如有后述的温度调整部12、装置供给部14、装置回收部18。并且，在载置ic设备(电子部件)的载置部(电子部件载置部)上，除了如上所述的更换套件之外，还有使用者准备的托盘200、回收用托盘19、以及检查部16。

托盘供给区域a1是供给配列有未检查状态的多个ic设备90的托盘200的给料部。托盘供给区域a1也可以被称为能够将多个托盘200层叠搭载的搭载区域。并且，在本实施方式中，在各托盘200上，矩阵状地配置有多个凹部(凹槽)。在各凹部中，能够将ic设备90一个个地收纳、载置。

装置供给区域a2是将从托盘供给区域a1输送的托盘200上的多个ic设备90分别输送、供给到检查区域a3的区域。并且，以横跨托盘供给区域a1和装置供给区域a2的方式，设置将托盘200一个个地在水平方向上进行输送的托盘输送机构11a、11b。托盘输送机构11a是输送部25的一部分，能够使托盘200向载置于该托盘200的每个ic设备90的y方向的正侧即图2中的箭头α11a方向移动。由此，能够将ic设备90稳定地送入装置供给区域a2。并且，托盘输送机构11b是能够使空的托盘200向y方向的负侧即图2中的箭头α11b方向移动的移动部。由此，能够使空的托盘200从装置供给区域a2移动到托盘供给区域a1。

在装置供给区域a2中，设置有温度调整部(均热板(英文注释：soakplate，中文注释(一例)：均温板))12、装置输送头13、托盘输送机构15。并且，还设置有以横跨装置供给区域a2和检查区域a3的方式进行移动的装置供给部14。

温度调整部12是载置多个ic设备90的载置部，被称为能够将该被载置的ic设备90一并加热或者冷却的“均热板”。通过该均热板对被检查部16进行检查之前的ic设备90预先进行加热或者冷却，能够调整为适于该检查(高温检查或低温检查)的温度。

作为这样的载置部的温度调整部12被固定。由此，能够对该温度调整部12上的ic设备90稳定地进行温度调整。

并且，温度调整部12被接地(接地)。

在图2中示出的构成中，温度调整部12在y方向上配置、固定有两个。并且，通过托盘输送机构11a从托盘供给区域a1搬入的托盘200上的ic设备90被输送到任意的温度调整部12。

装置输送头13把持ic设备90，在装置供给区域a2内在x方向以及y方向上能够移动地被支撑，此外，也在z方向上能够移动地被支撑。该装置输送头13是输送部25的一部分，能够负责从托盘供给区域a1搬入的托盘200和温度调整部12之间的ic设备90的输送、温度调整部12和后述的装置供给部14之间的ic设备90的输送。并且，在图2中，装置输送头13的x方向的移动以箭头α13x表示，装置输送头13的y方向的移动以箭头α13y表示。

装置供给部14是载置有被温度调整部12进行了温度调整的ic设备90的载置部，被称为能够将该ic设备90输送到检查部16附近的“供给用穿梭板”或者被简称为“供给穿梭部”。该装置供给部14也成为输送部25的一部分。该装置供给部14具有收纳、载置ic设备90的凹部(凹槽)。

并且，作为载置部的装置供给部14在装置供给区域a2和检查区域a3之间沿着x方向即箭头α14方向能够往复移动(能够移动)地被支撑。由此，装置供给部14能够将ic设备90稳定地从装置供给区域a2输送到检查区域a3的检查部16附近，并且，在检查区域a3，ic设备90在被装置输送头17去除之后能够再次返回装置供给区域a2。

在图2中示出的构成中，装置供给部14在y方向上配置有两个，将y方向负侧的装置供给部14称为“装置供给部14a”，将y方向正侧的装置供给部14称为“装置供给部14b”。并且，温度调整部12上的ic设备90在装置供给区域a2内被输送到装置供给部14a或者装置供给部14b。并且，装置供给部14与温度调整部12同样，被构成为能够对载置于该装置供给部14的ic设备90进行加热或者冷却。由此，能够将被温度调整部12进行了温度调整的ic设备90维持在该温度调整状态，并输送到检查区域a3的检查部16附近。并且，装置供给部14与温度调整部12同样也被接地。

托盘输送机构15是将去除了全部ic设备90的状态的空的托盘200在装置供给区域a2内在x方向的正侧即箭头α15方向上进行输送的机构。并且，在该输送后，空的托盘200被托盘输送机构11b从装置供给区域a2返回到托盘供给区域a1。

检查区域a3是检查ic设备90的区域。在该检查区域a3中设置有对ic设备90进行检查的检查部16、装置输送头17。

装置输送头17是输送部25的一部分，与温度调整部12同样，被构成为能够对所把持的ic设备90进行加热或者冷却。如图4所示，装置输送头17在其下部具有通过吸附来把持ic设备90(电子部件)的把持部171。由此，能够把持被维持在上述温度调整状态的ic设备90，并在维持上述温度调整状态的状态下将ic设备90在检查区域a3内进行输送。并且，把持部171的设置数量不限定于图4中示出的情况。

这样的装置输送头17在检查区域a3内在y方向以及z方向上能够往复移动地被支撑，是被称为“分度臂”的机构的一部分。由此，装置输送头17能够从由装置供给区域a2搬入的装置供给部14将ic设备90抬起输送到检查部16上并进行载置。

并且，在图2、图3中，装置输送头17的y方向的往复移动以箭头α17y表示。并且，如图3所示，装置输送头17在检查区域a3内能够负责ic设备90从装置供给部14a向检查部16的输送(参照图3中的上侧以实线示出的装置输送头17、中央以双点划线示出的装置输送头17)、ic设备90从装置供给部14b向检查部16的输送(参照图3中的下侧以双点划线示出的装置输送头17、中央以双点划线示出的装置输送头17)。并且，装置输送头17在y方向上能够往复移动地被支撑，但并不限定于此，也可以在x方向上能够往复移动地被支撑。

检查部16(凹槽)载置有作为电子部件的ic设备90，是检查该ic设备90的电性特性的载置部(电子部件载置部)。如图3、图4所示，检查部16具有收纳、载置ic设备90的凹部(凹槽)161，在该凹部161的底面162设置有多个探针(未图示)。并且，通过ic设备90的端子和探针能够导电地连接即接触，能够进行ic设备90的检查。ic设备90的检查基于在与检查部16连接的测试器所具备的检查控制部中储存的程序来进行。

并且，在本实施方式中，作为一例，如图3所示，凹部161在x方向上隔开间隔配置有三个，从x方向负侧依次为“凹部161a”、“凹部161b”、“凹部161c”。并且，凹部161的配置方式(x方向的配置数和y方向的配置数)和总配置数不限定于图3中示出的情况。

这样的检查部16与温度调整部12同样，对ic设备90进行加热或者冷却，能够将该ic设备调整为适于检查的温度。

装置回收区域a4是将在检查区域a3被检查并且该检查结束的多个ic设备90回收的区域。在该装置回收区域a4，设置有回收用托盘19、装置输送头20、托盘输送机构21。并且，还设置有以横跨检查区域a3和装置回收区域a4的方式进行移动的装置回收部18。并且，在装置回收区域a4也准备空的托盘200。

装置回收部18是载置有检查部16的检查结束的ic设备90并且能够将该ic设备90输送到装置回收区域a4的载置部，被称为“回收用穿梭板”或者被简称为“回收穿梭部”。该装置回收部18也成为输送部25的一部分。

并且，装置回收部18在检查区域a3和装置回收区域a4之间沿着x方向即箭头α18方向能够往复移动地被支撑。并且，在图2中示出的构成中，装置回收部18与装置供给部14同样在y方向上配置有两个，将y方向负侧的装置回收部18称为“装置回收部18a”，将y方向正侧的装置回收部18称为“装置回收部18b”。并且，检查部16上的ic设备90被输送至装置回收部18a或者装置回收部18b并被载置。并且，如图3所示，装置输送头17在检查区域a3内能够负责ic设备90从检查部16向装置回收部18a的输送(参照图3中的中央以双点划线示出的装置输送头17、上侧以实线示出的装置输送头17)、ic设备90从检查部16向装置回收部18b的输送(参照图3中的中央以双点划线示出的装置输送头17、下侧以双点划线示出的装置输送头17)。并且，装置回收部18与温度调整部12和装置供给部14同样也被接地。

回收用托盘19是载置有被检查部16检查后的ic设备90的载置部，以在装置回收区域a4被不移动的方式被固定。由此，即使是比较多地配置有装置输送头20等各种可动部的装置回收区域a4，也能够在回收用托盘19上稳定地载置检查完毕的ic设备90。并且，在图2中示出的构成中，回收用托盘19沿着x方向配置有三个。

并且，空的托盘200沿着x方向也配置有三个。该空的托盘200也成为载置有被检查部16检查后的ic设备90的载置部。并且，在装置回收区域a4移动时的装置回收部18上的ic设备90被输送至回收用托盘19以及空的托盘200中的任一个并被载置。由此，ic设备90根据检查结果被分类并被回收。

装置输送头20在装置回收区域a4内在x方向以及y方向上能够移动地被支撑此外，具有在z方向上也能够移动的部分。该装置输送头20是输送部25的一部分，能够将ic设备90从装置回收部18输送至回收用托盘19或空的托盘200。并且，在图2中，装置输送头20的x方向的移动以箭头α20x表示，装置输送头20的y方向的移动以箭头α20y表示。

托盘输送机构21是将从托盘去除区域a5搬入的空的托盘200在装置回收区域a4内在x方向即箭头α21方向上进行输送的机构。并且，该输送后，空的托盘200能够配置在回收ic设备90的位置，即成为上述三个空的托盘200中的任一个。

托盘去除区域a5是将配列有检查完毕状态的多个ic设备90的托盘200回收、去除的除料部。在托盘去除区域a5能够层叠多个托盘200。

并且，以横跨装置回收区域a4和托盘去除区域a5的方式，设置将托盘200一个个地在y方向上进行输送的托盘输送机构22a、托盘输送机构22b。托盘输送机构22a是输送部25的一部分，是能够使托盘200在y方向即箭头α22a方向上往复移动的移动部。由此，能够将检查完毕的ic设备90从装置回收区域a4输送到托盘去除区域a5。并且，托盘输送机构22b能够使用于回收ic设备90的空的托盘200在y方向的正侧即箭头α22b方向上移动。由此，能够使空的托盘200从托盘去除区域a5移动到装置回收区域a4。

控制部800能够控制例如托盘输送机构11a、托盘输送机构11b、温度调整部12、装置输送头13、装置供给部14、托盘输送机构15、检查部16、装置输送头17、装置回收部18、装置输送头20、托盘输送机构21、托盘输送机构22a、托盘输送机构22b、后述的残留检测单元3各部分的动作。

操作员能够经由监视器300设置电子部件检查装置1的动作条件等并进行确认。该监视器300具有由例如液晶画面构成的显示画面301，配置于电子部件检查装置1的正面侧上部。如图1所示，在托盘去除区域a5的图中的右侧设置有载置鼠标的鼠标台600。该鼠标在对显示于监视器300的画面进行操作时使用。

另外，对于监视器300，在图1的右下方配置有操作面板700。操作面板700与监视器300分开，并且向电子元件检查装置1指示期望的动作。

另外，信号灯400能够通过发光的颜色的组合来通知电子部件检查装置1的动作状态等。信号灯400配置于电子部件检查装置1的上部。另外，在电子配件检查装置1中内置有扬声器500，也能够通过该扬声器500来报知电子部件检查装置1的动作状态等。

在电子部件检测装置1中，托盘供给领域a1和装置供给领域a2之间被第一隔壁231分隔，装置供给区域a2和检查区域a3之间被第二隔壁232分隔，检查区域a3和装置回收区域a4之间被第三隔壁233分隔，装置回收区域a4和托盘去除区域a5之间被第四隔壁234分隔。并且，装置供给区域a2和装置回收区域a4之间也被第五隔壁分隔。

电子部件检查装置1的外包装被盖部覆盖，该盖部具有例如前盖241、侧盖242、侧盖243、后盖244、顶盖245。

如前所述，在检查区域a3的电子部件载置部是载置ic设备90(电子部件)并能够进行检查的检查部16。在电子部件检查装置1中，当由检查部16进行ic设备90的检查时，在该检查之前，检测在检查部16的凹部161中ic设备90的有无，即ic设备90的残留。进行残留检测的理由例如列举出如下理由。

在检查部16的凹部161残留有ic设备90的情况下(以下将该ic设备90称为“残留装置”)，在该凹部161进行检查的下一个ic设备90(以下将该ic设备称为“未检查装置”)重叠载置于残留装置。在这样的状态下，存在难以准确地进行对于未检查装置的检查的可能性。因此，优选的是在检查部16进行ic设备90的残留检测。

因此，电子部件检查装置1具备对检查部16处的ic设备90的残留进行检测的残留检测单元3。如图3、图4所示，残留检测单元3具有光照射部4、拍摄部5。

如图4所示，光照射部4相对于检查部16配置于左斜上方，即相对于检查部16配置于x方向负侧且z方向正侧。在本实施方式中，该光照射部4由三个激光光源41构成。这些激光光源41沿着z方向隔开间隔配置，从z方向负侧依次称为“激光光源41a”、“激光光源41b”、“激光光源41c”。

激光光源41a能够将激光l41(光)作为沿着y方向的狭缝光朝向检查部16(电子部件载置部)的凹部161a进行照射。

激光光源41b能够将激光l41(光)作为沿着y方向的狭缝光朝向检查部16(电子部件载置部)的凹部161b进行照射。

激光光源41c能够将激光l41(光)作为沿着y方向的狭缝光朝向检查部16(电子部件载置部)的凹部161c进行照射。

并且，也可以是激光光源41a朝向凹部161c，激光光源41c朝向凹部161a照射激光l41(光)。

并且，作为各激光光源41，例如能够使用具有柱透镜的激光光源等。由此，激光l41在检查部16上的投影形状形成线状。并且，作为各激光光源41，除了上述情况以外，例如也可以使用将聚光沿着y方向进行扫描的激光光源。

并且，激光光源41的配置数量优选与凹部161沿着x方向的配置数量相同或者在其以上。并且，在本实施方式中，该配置数量为三个，但并不限定于此，例如也可以是一个、两个或者四个以上。

在图4中示出的构成中，激光光源41(光照射部4)的配置部位相对于检查部16位于图中的左斜上方，但并不限定于此，例如可以位于右斜上方，也可以位于左斜上方和右斜上方的双方。

如图4所示，拍摄部5配置、固定于检查部16的上侧，即相对于检查部16配置、固定于z方向正侧。如图3所示，在本实施方式中，该拍摄部5由四个照相机51构成。这些照相机51在x方向上配置有两个，在y方向上配置有两个，拍摄范围不同。并且，通过将由各照相机51拍摄到的图像彼此合成，能够获得检查部16整体的图像。

并且，作为各照相机51没有特别限定，能够使用例如ccd(chargecoupleddevice，电荷耦合装置)照相机或三维照相机等。

并且，在本实施方式中，照相机51的配置数量为四个，但并不限定于此，例如也可以是一个、两个、三个或者五个以上。并且，照相机51的配置方式(x方向的配置数量和y方向的配置数量)也不限定于图3中示出的情况。

并且，在本实施方式中，各照相机51被固定，但并不限定于此，例如也可以能够转动地被支撑。由此，例如，能够变更各照相机51的拍摄范围，并且能够尽可能地抑制照相机51的总配置数量。

并且，检查部16(电子部件载置部)的各凹部161中的ic设备90的残留检测处理，即ic设备90(电子部件)的有无的判断处理由控制部800进行。作为该处理部的控制部800具有至少一个处理器，该处理器读取储存于控制部800内的各种指示、判断和命令等，处理器进行各种指示、各种判断和各种命令等。控制部800(处理器)能够基于投影于检查部16(电子部件载置部)的激光l41(光)在检查部16(电子部件载置部)上的投影形状以及照射位置中的至少一个，进行残留检测处理。以下，参照图5～图8对该处理进行说明。图5～图8代表性地描绘了一个凹部161和照射于该凹部161的激光l41。

如图5、图6所示，在凹部161未载置有ic设备90的状态下，激光l41到达凹部161的底面162。并且，此时激光l41在检查部16上的投影形状呈如图5所示的弯曲的线状(线状)(参照图5中由双点划线包围的部分)。并且，图5中示出的激光l41的投影形状被拍摄部5拍摄成图像，被预先储存于控制部800的储存部。

另一方面，如图8所示，在凹部161载置有ic设备90的状态下，激光l41未到达凹部161的底面162，到达凹部161内的ic设备90的上面901。并且，此时激光l41在检查部16上的投影形状与图5中示出的激光l41的投影形状不同，相差了在凹部161载置有ic设备90的程度，呈如图7所示的弯曲的线状(参照图7中由双点划线包围的部分)。并且，图7中示出的激光l41的投影形状被拍摄部5拍摄成图像，被预先储存于控制部800的储存部。

在实际进行残留检测的情况下，对应当进行残留检测的凹部161照射激光l41，由拍摄部5拍摄该激光l41的投影形状。并且，比较投影于应当进行残留检测的凹部161的激光l41的投影形状与图5中示出的激光l41的投影形状、图7中示出的激光l41的投影形状中的哪一个近似，判断ic设备90是否残留。并且，在本实施方式中，作为ic设备90是否残留的判断方法，如上所述采用对激光l41的投影形状进行比较的方法，但并不限定于此。

但是，对于检查部16，例如根据ic设备90的种类，凹部161的配置数量和配置方式(配置于x方向的凹部161彼此的间距等)不同。在该情况下，需要对激光l41朝向凹部161的照射方向进行调整。以下，主要参照图9～图14对该调整进行说明。在图9～图11中，代表性地描绘了一个凹部161和照射于该凹部161的激光l41。

在电子部件检查装置1中，激光l41的照射方向的调整在检查部16中ic设备90的残留检测处理(ic设备90的有无的判断处理)之前进行。由此，即使在根据ic设备90的种类更换检查部16的情况下，也能够准确地检测在检查部16的凹部161是否残留有ic设备90。

在本实施方式中，以手动即直接接触各激光光源41以手工操作来进行激光l41的照射方向的调整。各激光光源41围绕与y轴平行的转动轴o41能够转动地被支撑。并且，各激光光源41被构成为在被转动之后能够维持其状态。

并且，激光l41的照射方向的调整能够通过调整激光光源41(光照射部)距离凹部161的底面162的z方向(垂直方向)的高度h41、激光光源41(光照射部)相对于z轴(垂直方向)的转动角度(角度)θ41中的至少一个来进行。由此，能够迅速并且简单地进行激光l41的照射方向的调整。

并且，在本实施方式中，激光l41的照射方向的调整通过激光光源41的转动角度(角度)θ41的调整来进行，但并不限定于此，例如，可以通过激光光源41的高度h41的调整来进行，也可以通过转动角度θ41和高度h41双方的调整来进行。

如图9所示，激光l41的照射方向优选被调整为激光l41在检查部16上的照射位置成为包含凹部161的第一区域b1，更优选被调整为第一区域b1中特别是凹部161的底面162的x方向的中央部o162。并且，第一区域b1的x方向的长度没有特别限定，例如优选的是收纳于凹部161的ic设备90的x方向的长度的1％以上且10％以下，更有选的是5％以上且10％以下。

在调整激光l41的照射方向的过程中，也存在成为图10中示出的状态或图11中示出的状态的情况。

在图10中示出的状态下，激光l41的照射位置位于第一区域b1的外侧且检查部16(电子部件载置部)上的第二区域b2。并且，第二区域b2经由第一区域b1设定于两个部位。各第二区域b2的x方向的长度没有特别限定，例如优选的是第一区域b1的x方向的长度的100％以上且200％以下，更有选的是100％以上且150％以下。

在图11中示出的状态下，激光l41的照射位置位于检查部16(电子部件载置部)的外侧的第三区域b3。并且，第三区域b3经由检查部16设定于两个部位。

如上所述，激光l41是狭缝光，其投影形状呈弯曲的线状(参照图5、图7)。在该情况下，线状在宽度方向的中心线m41成为激光l41的照射位置。由此，无论狭缝光在检查部16上的宽度的大小，都能够决定照射位置。

并且，狭缝光在检查部16上的宽度优选在0.3mm以上1mm以下，更优选在0.3mm以上0.5mm以下。

并且，作为中心线m41的检测方法没有特别限定，例如，可列举出检测(测定)狭缝光在检查部16上的亮度分布，将其亮度最高的部分设定为心线m41的方法等。

并且，作为激光l41的照射位置，设定线状在宽度方向的中心线m41，但并不限定于此。例如，在凹部161的俯视下的大小相对于线状的宽度足够大的情况下，也可以将线状的宽度方向整体设定为激光l41的照射位置。

但是，当调整激光l41的照射位置时，存在凹部161的俯视下的大小变得越小，使激光l41的照射位置位于第一区域b1变得越难的倾向。因此，在本实施方式中，使用监视器300即一边观察监视器300一边进行其调整。

当调整激光l41的照射方向时，在监视器300上显示图12中示出的画面6。画面6中包含有：拍摄图像显示部61，其显示通过拍摄部5放大拍摄的拍摄图像；开始按钮(操作部)62，其开始激光l41的照射位置的调整。并且，如果操作开始按钮62，则画面6成为图13中示出的状态。

如图13所示，在拍摄图像显示部61上显示凹部161的图像和激光l41的投影形状的图像。

并且，如果操作开始按钮62，则伴随在拍摄图像显示部61上显示凹部161的图像，装置输送头17在检查区域a3内向图3中的上侧或者下侧退避。由此，能够取得检查部16整体的图像。

接着，如图14所示，在拍摄图像显示部61上追加显示有示出凹部161的底面162的中央部o162的点划线631、示出第一区域b1的x方向的界限的第一虚线632、示出第二区域b2的x方向的界限的第二虚线633。

这样，监视器300(显示部)能够显示示出激光光源41的照射位置位于何处的画面6，即拍摄激光l41(光)的投影位置以及检查部16(电子部件载置部)而得的图像。并且，能够一边确认图14中示出的状态的画面6，一边调整激光光源41的转动角度θ41。由此，能够掌握激光l41的照射位置，以该照射位置在第一区域b1内特别是尽可能地与第一点划线631(凹部161的底面162的中央部o162)重合的方式进行调整。

如上所述，通过使用监视器300，无论凹部161的俯视下的尺寸的大小，都能够将从各激光光源41照射的激光l41的照射方向准确地向检查部16的目标位置即第一区域b1内调整。

第二实施方式

以下，参照图15对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第二实施方式进行说明，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，并省略相同的事项的说明。

除了在监视器上显示的画面的构成主要不同以外，本实施方式与上述第一实施方式相同。

如图15所示，在本实施方式中，在画面6上包含有示出激光l41应移动的方向的箭头64、进行使激光l41移动的操作的操作按钮65。

在激光l41的照射位置不在第一区域b1内的情况下，如果箭头64指示的方向，则能够掌握应使照射位置向哪个方向移动。例如，可以被构成为从照相机51的拍摄图像识别凹部161(插座)的位置、现在的激光l41(线激光)照射位置，通过闪烁等来标示出显示画面301上的箭头，以指示出像素的差分变小的方向。

并且，在照射位置的移动中使用操作按钮65。操作按钮65由左侧移动按钮651和右侧移动按钮652构成。如果操作左侧移动按钮651，则照射位置向左侧移动，如果操作右侧移动按钮652，则照射位置向右侧移动。在图15中示出的构成中，为了使照射位置向右侧移动，操作右侧移动按钮652。并且，在该情况下，为了催促右侧移动按钮652的操作，也可以强调右侧移动按钮652，例如使右侧移动按钮652闪烁。

并且，在本实施方式中，内置有作为使各激光光源41围绕转动轴o41转动的驱动源的电机(未图示)。各电机与操作按钮65联动，如果操作左侧移动按钮651，则能够使各激光光源41围绕转动轴o41向转动角度θ41减少的方向转动。由此，照射位置向左侧移动。并且，如果操作右侧移动按钮652，则能够使各激光光源41围绕转动轴o41向转动角度θ41增加的方向转动。由此，照射位置向右侧移动。

第三实施方式

以下，参照图16对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第三实施方式进行说明，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，并省略相同的事项的说明。

除了在监视器上显示的画面的构成主要不同以外，本实施方式与上述第二实施方式相同。

如图16所示，在本实施方式中，在画面6的拍摄图像显示部61上包含有示出激光l41所位于的方向的箭头66。由此，在拍摄图像显示部61内，底面162被放大，结果，即使在拍摄图像显示部61中未显示激光l41，如果确认了箭头66，则能够掌握激光l41位于哪个方向。

并且，激光l41所位于的方向的检测例如能够通过在作为激光光源41的驱动源的电机中内置编码器并基于该编码器值来进行。

第四实施方式

以下，参照图17对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第四实施方式进行说明，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，并省略相同的事项的说明。

除了在监视器上显示的画面的构成主要不同以外，本实施方式与上述第三实施方式相同。

如图17所示，在本实施方式中，在画面6的拍摄图像显示部61上，除了箭头66以外，显示有凹部161整体、点划线631、第一虚线632、第二虚线633。在本实施方式中，能够切换图17中示出的构成的画面6、图16中示出的构成的画面6。并且，例如，与使用图16中示出的构成的画面6相比，优选使用图17中示出的构成的画面6。

第五实施方式

以下，参照图18对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第五实施方式进行说明，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，并省略相同的事项的说明。

除了在监视器上显示的画面的构成主要不同以外，本实施方式与上述第二实施方式相同。

如图18所示，在本实施方式中，在画面6的拍摄图像显示部61上，包含有凹部161、点划线631、第一虚线632、第二虚线633所位于的方向的箭头67。由此，在拍摄图像显示部61内，激光l41被放大，结果，即使在拍摄图像显示部61中未显示凹部161等，如果确认了箭头67，则能够掌握使该激光l41朝向哪个方向移动。

第六实施方式

以下，参照图19～图21对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第六实施方式进行说明，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，并省略相同的事项的说明。

除了被构成为能够通知激光的照射位置位于预定的位置以外，本实施方式与上述第一实施方式相同。

在本实施方式中，电子部件输送装置10具备：输送部25，其输送电子部件；检查区域a3(区域)，其能够配置载置有电子部件的电子部件载置部即检查部16；光照射部4，其能够照射激光l41(光)，并能够相对于检查部16(电子部件载置部)将激光l41(光)的照射方向进行调整；控制部800，其作为处理部，基于投影于检查部16(电子部件载置部)的激光l41(光)在检查部16(电子部件载置部)上的投影形状以及照射位置中的至少一个，进行检查部16(电子部件载置部)中的电子部件的有无的判断处理；扬声器500，其作为通知部来通知照射位置位于预定的位置。

由此，当调整激光l41的照射方向时，能够一边听到从扬声器500发出的、激光l41的照射位置位于预定的位置的声音，一边调整光照射部4的位置和姿势。由此，检查部16的大小和种类，都能够掌握照射位置来进行调整，使得该照射位置位于检查部16的目标位置。结果，能够相对于检查部16将从光照射部4照射的激光l41的照射方向进行准确地调整。

如上所述，检查部16(电子部件载置部)具有收纳、载置ic设备90(电子部件)的凹部161。

如图19所示，扬声器500(通知部)在激光l41的照射位置位于包含凹部161的第一区域b1时进行第一通知if1。

如图20所示，扬声器500(通知部)在激光l41的照射位置位于第一区域b1的外侧且检查部16(电子部件载置部)上的第二区域b2时进行第二通知if2。

如图21所示，扬声器500(通知部)在激光l41的照射位置位于检查部16(电子部件载置部)的外侧的第三区域b3时进行第三通知if3。

并且，通过分辨出第一通知if1、第二通知if2、第三通知if3，能够掌握激光l41的照射位置位于何处。

例如，在听到第一通知if1的情况下，能够判断出激光l41的照射位置位于第一区域b1，因此，能够停止在此以上的激光光源41的转动角度θ41的调整。

并且，例如，在听到第二通知if2的情况下，能够判断出激光l41的照射位置位于第二区域b2且靠近第一区域b1，因此，将激光光源41向转动角度θ41增加的方向调整。由此，使激光l41的照射位置位于第一区域b1。并且，在该情况下，可以利用声音等来通知激光l41的照射位置应该移动的方向。

并且，例如，在听到第三通知if3的情况下，能够判断出激光l41的照射位置位于第三区域b3且离第一区域b1还很远，因此，将激光光源41向转动角度θ41增加的方向调整。由此，能够使激光l41的照射位置位于第一区域b1。并且，在该情况下，可以利用声音等来通知激光l41的照射位置应该移动的方向。

扬声器500(通知部)是发出声音的部件。并且，第一通知if1和第二通知if2的声音不同。并且，第三通知if3优选与第一通知if1和第二通知if2的声音都不同。由此，能够准确地分辨出第一通知if1、第二通知if2、第三通知if3。

并且，作为使声音不同的方法，例如可列举出使反复产生的声音(例如“ド”的声音)的间隔不同的方法、使音程不同的方法等。

并且，在本实施方式中，作为通知激光l41的照射位置位于预定的位置的通知部，使用扬声器500，但并不限定于此，例如，能够使用监视器300或者信号灯400。并且，也能够将扬声器500、监视器300、指示灯400适当组合使用。

并且，在本实施方式中，也能够省略在监视器300上显示的画面6。

第七实施方式

以下，参照图22对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第七实施方式进行说明，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，并省略相同的事项的说明。

除了具备检测激光的照射位置的检测部以外，本实施方式与上述第六实施方式相同。

如图22所示，在本实施方式中，电子部件输送装置10(电子部件检查装置1)具备检测部7，该检测部7基于激光光源41(光照射部)距离凹部161的底面162的z方向(垂直方向)的高度h41、激光光源41(光照射部)相对于z轴(垂直方向)的转动角度(角度)θ41来检测激光l41的照射位置。该检测部7具有内置于电机(未图示)的编码器，该电机作为使各激光光源41围绕转动轴o41转动的驱动源。并且，基于从编码器获得的编码器值来检测转动角度θ41。在高度h41已知的情况下，通过运算“(h41)×(tanθ41)”并参照示出高度h41和tanθ41的关系的标准曲线(表格)，获得沿着从转动轴o41到激光l41的照射位置的x方向的距离g41。基于该距离的大小，利用扬声器500通知激光l41的照射位置位于第一区域b1、第二区域b2、还是第三区域b3。

通过以上的构成，当调整各激光光源41的姿势时，能够省略拍摄部5的拍摄。

并且，在本实施方式中，已知高度h41，但并不限定于此，也可以被构成为检测高度h41。在该情况下，为了检测高度h41，例如能够使用激光测长器。

并且，能够使转动角度θ41为0°的位置为编码器的基准位置。

第八实施方式

以下，参照图23对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第八实施方式进行说明，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，并省略相同的事项的说明。

除了光照射部的配置部位不同以外，本实施方式与上述第一实施方式相同。

如图23所示，在本实施方式中，光照射部4相对于检查部16配置于上方，即相对于检查部16配置于z方向正侧。作为一例，该光照射部4由三个激光光源41构成。这些激光光源41沿着x方向隔开间隔配置，从x方向负侧依次称为“激光光源41a”、“激光光源41b”、“激光光源41c”。

激光光源41a能够将激光l41作为沿着y方向的狭缝光朝向检查部16的凹部161a进行照射。

激光光源41b能够将激光l41作为沿着y方向的狭缝光朝向检查部16的凹部161b进行照射。

激光光源41c能够将激光l41作为沿着y方向的狭缝光朝向检查部16的凹部161c进行照射。

以上的构成例如在将光照射部4相对于检查部16配置于图23中的斜左上方困难的情况下有效。

并且，激光光源41的配置数量优选与凹部161沿着x方向的配置数量相同或者在其以上。并且，在本实施方式中，该配置数量为三个，但并不限定于此，例如也可以是一个、两个或者四个以上。

第九实施方式

以下，参照图24对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第九实施方式进行说明，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，并省略相同的事项的说明。

除了检查区域内的装置输送头的配置数量不同以外，本实施方式与上述第一实施方式相同。

如图24所示，在本实施方式中，装置输送头17经由间隙172在y方向上配置两个。以下，将y方向负侧的装置输送头17称为“装置输送头17a”，将y方向正侧的装置输送头17称为“装置输送头17b”。装置输送头17a能够负责在检查区域a3内ic设备90从装置供给部14a向检查部16的输送，装置输送头17b能够负责在检查区域a3内ic设备90从装置供给部14b向检查部16的输送。并且，装置输送头17a能够负责在检查区域a3内ic设备90从检查部16向装置回收部18a的输送，装置输送头17b能够负责在检查区域a3内ic设备90从检查部16向装置回收部18b的输送。

并且，在本实施方式中，拍摄部5由配置在x方向上的两个照相机51构成。各照相机51的拍摄范围不同，能够在间隙172位于正下方时进行拍摄。并且，通过将由各照相机51拍摄到的图像彼此合成，能够获得检查部16整体的图像。

并且，从各激光光源41照射的激光l41通过间隙172到达检查部16。

在上述构成的电子部件检查装置1(电子部件输送装置10)中，装置输送头17a和装置输送头17b能够在y方向上接近、分离地被支撑。在该情况下，间隙172的大小发生变化。由此，能够尽可能地将间隙172扩大，因此，能够充分地确保各照相机51的拍摄范围，同时，能够使激光l41完全到达检查部16。结果，能够容易地进行利用检查部16进行的ic设备90的残留检测、在此之前进行的各激光光源41的姿势调整和位置调整。

并且，装置输送头17a和装置输送头17b分离而扩大间隙172的动作能够通过操作画面6的开始按钮62来进行。

以上，参照图示的实施方式对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置进行了说明，但并不限定于此，构成电子部件输送装置以及电子部件检查装置的各部分能够置换为可发挥同样功能的任意构成。并且，也可以附加任意构成物。

并且，本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置可以将上述各实施方式中的任意两个以上的构成(特征)组合。

并且，作为进行残留检测的电子部件载置部，在上述各实施方式中为检测部，但并不限定于此，例如也可以是温度调整部、装置供给部、装置回收部、回收用托盘等其他电子部件载置部。