技术特征:
技术总结
本发明提供一种能够及早探测到激光装置内的微量漏水且使激光装置及早恢复原状的激光装置的漏水探测系统。漏水探测系统探测激光装置的漏水,激光装置具备用于输出激光的部件组、将部件组中的至少一部分冷却的水冷板、用于收纳部件组和水冷板的壳体及用于使壳体内的空气循环的空气循环部。空气循环部设置于发热性高的部件的附近,漏水探测系统具备:湿度检测部,其检测壳体内的湿度;多个温度检测部,其配置于水冷板的多个部位,用于检测各部位的温度;以及探测控制部,在从湿度检测部获取到的湿度超过基准湿度的情况下、或者从多个温度检测部获取到的多个温度中的至少一个温度超过相应部位的基准温度的情况下,所述探测控制部输出探测信息。
技术研发人员:中岛纯
受保护的技术使用者:发那科株式会社
技术研发日:2018.09.03
技术公布日:2019.03.05