形状测定装置的控制方法与流程

文档序号:17125732发布日期:2019-03-16 00:24阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种形状测定装置的控制方法,使速度图案的加减速变更的定时与控制采样周期同步,从而避免产生控制偏差。基于根据预先获得的测定对象物的形状数据设定的移动路径的形状,生成用于沿移动路径移动的速度图案。判定速度图案的速度变更的定时是否与形状测定装置的控制采样周期同步。在速度图案的速度变更的定时与控制采样周期不同步的情况下,对速度图案进行修正使得速度图案的速度变更的定时与形状测定装置的控制采样周期同步。

技术研发人员:野田孝
受保护的技术使用者:株式会社三丰
技术研发日:2018.09.07
技术公布日:2019.03.15
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