形状测定装置、形状测定方法及玻璃板的制造方法
【专利摘要】测定装置具备：拍摄透明的被测定物的表面及背面处的预定图案的反射像的摄像部；使用摄像部拍摄到的反射像，算出表面或背面的厚度方向的位置的运算部。预定图案包括多个要素，该多个要素的各要素的沿着与该图案的延伸方向垂直的方向形成的一端和另一端沿该延伸方向相互偏离。
【专利说明】
形状测定装置、形状测定方法及玻璃板的制造方法
技术领域
[0001 ]本发明涉及形状测定装置、形状测定方法及玻璃板的制造方法。
【背景技术】
[0002]以往，存在对玻璃板等透明的被测定物的表面或背面的形状进行测定的测定装置。该测定装置将直线性的图案配置在被测定物的上方，根据从与该图案的延伸方向垂直的方向观察到的反射像的位置，求出表面或背面的局部的法线矢量，而算出被测定物的表面或背面的形状(例如，参照专利文献I)。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:国际公开第2011/158869号
【发明内容】
[0006]发明要解决的课题
[0007]然而，在专利文献I记载的测定装置中，若被测定物的板厚变薄，则由表面产生的反射像与由背面产生的反射像重叠，存在板厚方向的位置的算出精度下降的问题。
[0008]本发明鉴于这样的情况而作出，提供一种即便是更薄的被测定物，也能够高精度地算出表面或背面的板厚方向的位置的形状测定装置、形状测定方法及玻璃板的制造方法。
[0009]用于解决课题的方案
[0010](I)本发明为了解决上述的课题而作出，本发明的一形态涉及形状测定装置，其特征在于，具备:预定图案，配置在与作为透明的平板的被测定物相对的一方或另一方;摄像部，构成为所述被测定物的表面及背面的所述预定图案的各自的反射像在与所述预定图案的延伸方向垂直的分离方向上分离，通过拍摄所述被测定物的表面及背面的所述预定图案的反射像而生成包括所述表面及背面各自的反射像的图像;运算部，基于所述被测定物、所述预定图案、所述摄像部的位置关系，从所述摄像部拍摄到的反射像算出所述表面和所述背面中的至少一方的倾斜角度;及决定部，基于所算出的所述倾斜角度来决定所述表面和所述背面中的至少一方的形状，所述预定图案包括多个要素，所述多个要素的各要素的在与所述延伸方向垂直的方向上形成的一端和另一端在所述延伸方向上相互偏离。
[0011](2)而且，本发明的另一形态以(I)记载的形状测定装置为基础，其中，所述多个要素中的所述各要素在所述延伸方向上反复配置。
[0012](3)而且，本发明的另一形态以(I)或(2)记载的形状测定装置为基础，其中，所述多个要素中的所述各要素形成为长条形状。
[0013](4)而且，本发明的另一形态以(I)?(3)中任一项记载的测定装置为基础，其中，所述多个要素中的相邻的第一要素和第二要素中，所述第一要素从一端朝向另一端而向作为所述延伸方向的一方的方向的第一方向偏离而形成，所述第二要素从所述第一要素侧的一端朝向另一端而向作为所述延伸方向的另一方的方向的第二方向偏离而形成。
[0014](5)而且，本发明的另一形态以(I)?(4)中任一项记载的测定装置为基础，其中，所述多个要素中的所述各要素彼此分离而形成。
[0015](6)而且，本发明的另一形态以(I)?(4)中任一项记载的测定装置为基础，其中，所述预定图案利用所述多个要素而形成为正弦波的形状。
[0016](7)而且，本发明的另一形态以(I)?(6)中任一项记载的测定装置为基础，其中，所述预定图案具有:第一图案列，利用所述多个要素形成;及第二图案列，与所述第一图案列平行地配置，且与所述第一图案列呈线对称。
[0017](8)而且，本发明的另一形态涉及形状测定方法，其特征在于，具有:第一工序，拍摄预定图案的在所述被测定物的表面及背面的各自的反射像作为在与所述预定图案的延伸方向垂直的分离方向上分离的图像，其中，所述预定图案配置在与作为透明的平板的被测定物相对的一方或另一方;第二工序，基于所述被测定物、所述预定图案、拍摄所述图像的位置的位置关系，从在所述第一工序中拍摄到的反射像算出所述表面和所述背面中的至少一方的倾斜角度;及第三工序，基于所算出的所述倾斜角度来决定所述表面和所述背面中的至少一方的形状，所述预定图案包括多个要素，所述多个要素的各要素的在与所述延伸方向垂直的方向上形成的一端和另一端在所述延伸方向上相互偏离。
[0018](9)而且，本发明的另一形态以(8)记载的形状测定方法为基础，其中，所述多个要素中的所述各要素在所述延伸方向上反复配置。
[0019](10)而且，本发明的另一形态以(8)或(9)记载的形状测定方法为基础，其中，所述多个要素中的所述各要素形成为长条形状。
[0020](11)而且，本发明的另一形态以(8)?(10)中任一项记载的形状测定方法为基础，其中，所述多个要素中的相邻的第一要素和第二要素中，所述第一要素从一端朝向另一端而向作为所述延伸方向的一方的方向的第一方向偏离而形成，所述第二要素从所述第一要素侧的一端朝向另一端而向作为所述延伸方向的另一方的方向的第二方向偏离而形成。
[0021](12)而且，本发明的另一形态以(8)?(11)中任一项记载的形状测定方法为基础，其中，所述多个要素中的所述各要素彼此分离而形成。
[0022](13)而且，本发明的另一形态以(8)?(11)中任一项记载的形状测定方法为基础，其中，所述预定图案利用所述多个要素而形成为正弦波。
[0023](14)而且，本发明的另一形态涉及玻璃板的制造方法，具有如下工序:将玻璃的原材料熔融而得到熔融玻璃的熔融工序;将所述熔融玻璃成形为连续的板状的玻璃带的成形工序;一边使所述玻璃带移动一边逐渐进行冷却的缓冷工序;测定所述玻璃带的表面形状的测定工序;将玻璃带切断的切断工序;及基于所述测定工序的测定结果来控制在所述缓冷工序中的缓冷条件的控制工序，其中，所述测定工序是使用以所述玻璃带为测定对象的
(8)?(13)中任一项记载的形状测定方法来进行测定的工序。
[0024]发明效果
[0025]根据本发明，即便是更薄的被测定物，也能够高精度地算出表面或背面的板厚方向的位置。
【附图说明】
[0026]图1是表示本发明的第一实施方式的形状测定装置10的结构的示意图。
[0027]图2是表示该实施方式的图案显示物11与相机12之间的位置关系的图。
[0028]图3是表示该实施方式的在图案显示物11上印刷的图案的图。
[0029]图4是表示该实施方式的运算装置13的结构的概略框图。
[0030]图5是表示该实施方式的相机12拍摄的反射像的例子的图。
[0031]图6是说明该实施方式的表面位置算出部33的动作的流程图。
[0032]图7是该实施方式的在图案显示物11上印刷的图案的另一例(其I)。
[0033]图8是该实施方式的在图案显示物11上印刷的图案的另一例(其2)。
[0034]图9是该实施方式的在图案显示物11上印刷的图案的另一例(其3)。
[0035]图10是该实施方式的在图案显示物11上印刷的图案的另一例(其4)。
[0036]图11是本发明的第二实施方式的玻璃板的制造线的概略说明图。
[0037]图12是表示该实施方式的玻璃板的制造方法的工序的流程图。
【具体实施方式】
[0038][第一实施方式]
[0039]以下，参照附图，说明本发明的第一实施方式。图1是表示本发明的一实施方式的形状测定装置10的结构的示意图。形状测定装置10使用在旋转的多个辊的上方流动的玻璃板G等透明的被测定物的表面及背面处的图案显示物11上所印刷的图案的反射像，算出被测定物的表面及背面的形状。在图1中，将玻璃板G的流动方向设为y轴，将沿着玻璃板G的表面的轴即与y轴垂直的轴设为X轴，将与玻璃板G的表面垂直的方向(以下，称为板厚方向或厚度方向)设为z轴。
[0040]形状测定装置10包括相机12和运算装置13而构成。相机12拍摄被测定物的表面及背面的图案的反射像。运算装置13使用相机12拍摄到的反射像，算出被测定物的表面及背面的形状。
[0041]图2是表示图案显示物11与相机12之间的位置关系的图。在图2中，标注了标号Rl的单点划线表示将图案显示物11的图案的由玻璃板G的表面产生的反射像连结的光线。而且，标注了标号R2的虚线表示将图案显示物11的图案的由玻璃板G的背面产生的反射像连结的光线。如图2所示，设置相机12，以拍摄图案显示物11的图案的由玻璃板G的表面产生的反射像和由玻璃板G的背面产生的反射像。由于这样设置，因此由背面产生的反射像与由表面产生的反射像相比，作为在与图案显示物11的图案的延伸方向垂直的方向上偏离的图像而由相机12拍摄。需要说明的是，在图2中，图案显示物11与相机12设置在作为与玻璃板G相对的一方的上方，但也可以设置在作为与玻璃板G相对的另一方的下方。
[0042I图3是表示在图案显示物11上印刷的图案的图。如图3所示，在图案显示物11上印刷的图案是向右侧倾斜的长方形(第一要素)与向左侧倾斜的长方形(第二要素)交替反复排列的图案。需要说明的是，没有限定为长方形，也可以是平行四边形、或者角部成为圆弧的长方形或平行四边形等长条形状。图案的排列方向是图案显示物11的延伸方向即X轴方向。在拍摄了图案显示物11的图案的玻璃板G的表背面处的反射像的情况下，背面处的反射像相对于表面处的反射像偏离的方向(分离方向)是图2的y轴方向。即，是与图案显示物11的图案的延伸方向即X轴方向垂直的方向。在图案显示物11中，各长方形倾斜，因此与X轴方向垂直的方向的一端和另一端沿X轴方向(图案显示物11的延伸方向)偏离。由此，即便是更薄的板厚时，表面处的反射像和背面处的反射像能够不重叠。
[0043]图4是表示运算装置13的结构的概略框图。运算装置13包括反射像取得部31、分离部32、表面位置算出部33、背面位置算出部34而构成。反射像取得部31取得相机12拍摄到的包含反射像的图像。分离部32从相机12拍摄到的图像将由表面产生的反射像与由背面产生的反射像分离。需要说明的是，本实施方式的分离部32以由表面产生的反射像与由背面产生的反射像不重叠的情况为前提，对这些反射像之间进行检测而进行分离。
[0044]表面位置算出部33算出分离部32分离的由表面产生的反射像中的与图案的各长方形对应的图像的、表示与图案的排列方向垂直的方向的位置的值。表面位置算出部33将该表示位置的值转换成表面的局部的斜度(倾斜角度)。转换方法可以使用预先存储的LUT(Look Up Table:查找表)，也可以使用表不与图案的排列方向垂直的方向的位置的值和表示表面的局部的斜度的值的关系式而算出。
[0045]需要说明的是，上述的LUT及关系式对应于玻璃板G的表面、图案显示物11、相机12的位置关系。具体而言，光线从图案显示物11的长方形以规定的入射角向玻璃板G的表面入射，利用在玻璃板G的表面反射的反射光线以与入射角相等的反射角射出时到达相机12的情况，算出玻璃板G的表面的斜度。而且，作为表示表面的局部的斜度的值，使用图1的表面的z坐标值的基于y坐标值的偏微分值，但也可以使用表面的局部法线矢量的yz分量。表面位置算出部33通过将算出的表示表面的局部的斜度的值沿y轴方向进行积分，来算出表面位置(z坐标值)的y轴方向的分布(形状)。由此，能够检测玻璃板G的y轴方向的起伏等。
[0046]背面位置算出部34算出分离部32分离的由背面产生的反射像中的与图案的各长方形对应的图像的、表示与图案的排列方向垂直的方向的位置的值。背面位置算出部34将该表示位置的值转换成背面的局部的斜度(倾斜角度)。转换方法与表面位置算出部33同样，可以使用预先存储的LUT(Look Up Table)，也可以使用表示与图案的排列方向垂直的方向的位置的值和表示背面的局部的斜度的值的关系式来算出。
[0047]需要说明的是，上述的LUT及关系式与表面的情况同样，对应于玻璃板G的背面、图案显示物11、相机12的位置关系。而且，作为表示背面的局部的斜度的值，使用图1中的背面的z坐标值的基于y坐标值的偏微分值，但也可以使用背面的局部法线矢量的yz分量。背面位置算出部34通过将算出的表示背面的局部的斜度的值沿y轴方向进行积分，来算出背面位置(z坐标值)的y轴方向的分布(形状)。由此，能够检测玻璃板G的y轴方向的起伏等。
[0048]图5是表示相机12拍摄的反射像的例子的图。图5是相机12拍摄到的图像中的将反射像的一部分放大后的图像G1。如图5所示，由表面产生的反射像Iml与由背面产生的反射像Im2相互分离。
[0049]图6是说明表面位置算出部33的动作的流程图。表面位置算出部33将分离部32分离的由表面产生的反射像分离成构成图案的长方形各自的反射像(SI)。如图3所示，构成图案的长方形彼此分离，因此向长方形各自的图像的分离也通过对反射像彼此之间进行检测而能够容易地进行。
[0050]接下来，表面位置算出部33对于分离的各个反射像，算出通过该长方形的重心且与该长方形的长边平行的直线(S2)。例如，表面位置算出部33从构成该长方形的图像的全部像素，利用最小二乘法来算出。此时，也可以根据各像素的像素值进行加权。接下来，表面位置算出部33算出该直线中的取得预先决定的y坐标值的点的X坐标值的偏离。接下来，表面位置算出部33将该X坐标值的偏离转换成长方形的位置的y轴方向的偏离(S3)。在此，X坐标值的偏离是从该点的X坐标值减去例如预先存储的表面的斜度为“O”时的该点的X坐标值所得到的值。而且，从该点的X坐标值的偏离向长方形的位置的y轴方向的偏离的转换基于长方形的斜度进行。例如，若长方形相对于y轴倾斜30度，则长方形的位置的y轴方向的偏离成为该点的X坐标值的偏离的2倍。此时，也考虑长方形的斜度的朝向的正负。
[0051]接下来，表面位置算出部33取得与关于相邻的长方形算出的y坐标值的偏离的平均(S4) ο即，取得关于向右倾斜的长方形算出的y坐标值的偏离与关于其相邻的向左倾斜的长方形算出的y坐标值的偏离的平均。接下来，表面位置算出部33将取得了平均的y坐标值转换成表面的斜度(S5)。接下来，表面位置算出部33通过将表面的斜度沿y轴方向进行积分来得到表面的z坐标值的分布(形状)(S6)。
[0052]这样，通过取得关于向右倾斜的长方形算出的位置的y轴方向的偏离与关于其相邻的向左倾斜的长方形算出的位置的y轴方向的偏离的平均，由此能够抑制图案显示物11或相机12的安装位置偏离时等产生的误差。例如，图案显示物11的安装位置沿X轴方向偏离时，向右倾斜的由长方形产生的反射像与向左倾斜的由长方形产生的反射像偏离与安装位置的偏离对应的量。并且，上述的步骤S3的转换的结果是，向右倾斜的长方形的位置的y轴方向的偏离和向左倾斜的长方形的位置的y轴方向的偏离包括正负相反的误差。因此，通过取得它们的平均，能够抵消并抑制安装位置偏离时等产生的误差。
[0053]图7是在图案显示物11上印刷的图案的另一例(其I)。在图7所示的例子中，具有与图3的图案(第一图案列)平行配置的第二图案列即与图3的图案沿上下方向呈线对称的第二图案列。在使用这样的图案时，通过取得从由双点划线的矩形AG包围的四个长方形所对应的反射像得到的位置的y轴方向的偏离的平均，能够抑制在图案显示物11、相机12的安装位置偏离时等产生的误差。
[0054]图8、图9、图10是在图案显示物11上印刷的图案的另一例(其2至其4)。通过如图8那样设为锯齿形(zigzag)的线，而与图3同样，该图案的各要素的与X轴方向(图案显示物11的延伸方向)垂直的方向的一端和另一端沿X轴方向偏离，因此即便更薄的板厚时，也能够使表面处的反射像与背面处的反射像不重叠。
[0055]通过如图9那样利用分散(atintervals)的块构成锯齿形(zigzag)的线，由此即便是更薄的板厚时也能够使表面处的反射像与背面处的反射像不重叠，且要素间的分离也变得容易。
[0056]而且，也可以如图10那样形成为将锯齿形(zigzag)的线的角修圆的正弦曲线(正弦波)那样的线。通过这样构成，在不存在沿X轴方向信息缺失的点的方面优选。
[0057]在上述的实施方式中，算出玻璃板G的表面的厚度方向的位置和背面的厚度方向的位置，但也可以仅算出任一方。
[0058]而且，在上述的实施方式中，图案印刷于图案显示物11，但也可以取代图案显示物11而具备图案显示装置，该图案显示装置显示图案，并使拍摄装置I拍摄该图案的反射像。图案显示装置的显示方法中，可以配置设为图案的形状的LED(Light Electric D1de)，使该LED发光，也可以在LED等发光装置的前表面配置开设了设为图案的形状的孔的狭缝。
[0059]这样，形状测定装置10具备拍摄透明的被测定物的表面及背面的预定图案的反射像的相机12(摄像部)和使用相机12拍摄到的反射像来算出表面或背面的形状的运算装置13(运算部、决定部)，预定图案的背面处的反射像相对于表面处的反射像而偏离的分离方向(y轴方向)的一端和另一端由沿着与分离方向垂直的延伸方向(X轴方向)偏离的要素构成。
[0060]由此，即便是更薄的板厚时也能够使表面处的反射像与背面处的反射像不重叠。因此，使用测定位置的面处的反射像整体，能够高精度地算出该面的厚度方向的位置。
[0061 ]在本发明的另一形态中，要素反复配置，要素彼此分离。
[0062]由此，能够使要素各自的反射像容易分离。因此，不受要素的反射像彼此的干涉，能够高精度地算出表面或背面的厚度方向的位置。
[0063]而且，在本发明的另一形态中，向右侧倾斜的长方形(第一要素)的第二方向与向左侧倾斜的长方形(第二要素)的所述第二方向是相反的方向，向右侧倾斜的长方形与向左侧倾斜的长方形反复配置。
[0064]由此，能够抑制图案显示物11或相机12的安装不正确等引起的误差。
[0065]而且，在本发明的另一形态中，预定图案具有:第一要素与第二要素反复配置的第一图案列;及第二图案列，与第一图案列平行配置且与第一图案列呈线对称。
[0066]由此，能够抑制图案显示物11或相机12的安装不正确等引起的误差。
[0067][第二实施方式]
[0068]以下，说明玻璃板的制造线的形状测定装置10的适用例。图11是适用了形状测定装置10的玻璃板的制造线的概略说明图。图11所示的制造线的玻璃板的制造方法具有将玻璃原材料熔融而得到熔融玻璃的熔融工序、将所述熔融玻璃成形为连续的板状的玻璃带的成形工序、一边使所述玻璃带移动一边逐渐冷却的缓冷工序、及将玻璃带切断的切断工序，其特征在于，还具有:在所述缓冷工序与所述切断工序之间利用本发明的形状测定装置测定玻璃带的距基准面的高度方向坐标的测定工序;及基于在所述测定工序中得到的高度方向坐标来控制所述缓冷工序中的缓冷条件的控制工序。图12示出玻璃板的制造方法的工序。
[0069]具体而言，在玻璃板的制造工序之中，在根据利用本发明的测定方法得到的厚度方向的数据的结果而判断为玻璃带的翘曲大的情况下，考虑该翘曲的大小、部位，来变更缓冷工序的缓冷条件、例如冷却速度条件、冷却温度条件。由此，防止由翘曲引起的形状不良或由翅曲引起的破裂，进而能够尚成品率地制造玻璃板。
[0070]成形工序包括浮法、压延法、下拉法、熔化法等各种方法，本发明可以适当使用它们中的任一个或者其他的方法。在图11的例子中，以使用浮法的情况为例进行说明。
[0071]在熔融工序(图12的SI)中，将对应于玻璃产品的组成而调合并混合了硅砂、石灰石、苏打灰等原材料的分批配料向熔融窑投入，并根据玻璃的种类而加热熔融成约1400°C以上的温度来得到熔融玻璃。例如，从熔融窑的一端向熔融窑内投入分批配料，将燃烧重油而得到的火焰或者天然气与空气混合并燃烧而得到的火焰向该分批配料吹附，加热成约1550°C以上的温度而使分批配料熔化，由此得到熔融玻璃。而且，也可以使用电熔融炉来得到熔融玻璃。
[0072]在成形工序(图12的S2)中，将熔融工序中得到的熔融玻璃从熔融窑下游部201向熔融锡浴203导入，使熔融玻璃向熔融锡202上浮起而使其沿图中的搬运方向行进，由此形成连续的板状的玻璃带204(相当于玻璃板G)。此时，为了成形规定的板厚的玻璃带204，向玻璃带204的宽度方向的两侧部分按压旋转的辊(顶辊205)，将玻璃带204向宽度方向(与搬运方向垂直的方向)外侧拉伸。
[0073]在缓冷工序(图12的S3)中，利用提升辊208将上述成形后的玻璃带204从熔融锡浴203引出，使用金属辊209使该玻璃带204在缓冷炉210内沿图中的搬运方向移动，将玻璃带204的温度逐渐冷却，接下来在从缓冷炉210拉出而到达切断工序期间进一步冷却至常温附近。缓冷炉210在炉内的必要位置具备用于供给由燃烧气体或电加热器控制的热量而进行缓冷的机构。从缓冷炉210拉出的阶段的玻璃带204的温度成为玻璃带204的玻璃的应变点以下的温度，虽然也受玻璃的种类的影响，但是通常冷却至150?250°C。该缓冷工序出于去除玻璃带204内部的残留应力和降低玻璃带204的温度的目的而实施。在缓冷工序中，玻璃带204通过测定部211(相当于形状测定装置10)，进而然后，被搬运至玻璃带切断部212。在玻璃带切断部212将缓冷至常温附近的玻璃带204切断，能得到矩形形状的玻璃板(切断工序，图12的S6)。需要说明的是，玻璃带切断部212的玻璃带的温度为其场所的气氛温度?50°C的情况是通例。
[0074]测定工序(图12的S4)的玻璃带204的拍摄位置(S卩，测定部211的位置)是玻璃带204的温度处于该玻璃的应变点以下的温度的位置。通常，测定部211优选设置在距缓冷炉210的玻璃带出口为搬运方向下游的位置，进而设置在玻璃带204的温度处于200°C以下的位置。而且，测定部211也可以设置在切断工序的紧前方，但是在将从测定工序得到的数据反映到切断工序中的情况下，虽然也受玻璃带204的移动速度的影响，但是优选在距切断位置分离了 30cm以上，尤其是分离了 Im以上的位置设置测定部211。
[0075]在控制工序(图12的S5)中，利用基于在测定工序中得到的厚度方向坐标来运算缓冷炉210内的缓冷条件的控制单元(图示省略)。通过该控制单元，根据向缓冷炉210交接的缓冷条件的指令，来变更设置在缓冷炉210内的燃烧气体或电加热器等的条件。由此，改变向玻璃带204局部性地施加的能量或者赋予的能量的速度，能够进行抑制翘曲等变形的控制。
[0076]由此，利用测定表面或背面的厚度方向的位置的结果，能够制造出相对于形状的高品质的玻璃板。
[0077]而且，也可以将用于实现图1的运算装置13的功能的程序记录在计算机能够读取的记录介质中，将记录在该记录介质中的程序向计算机系统读入并执行，由此实现运算装置13。需要说明的是，在此所说的“计算机系统”包括OS或周边设备等硬件。
[0078]而且，“计算机能够读取的记录介质”是软盘、光磁盘、R0M、CD-R0M等的移动式介质、内置于计算机系统的硬盘等存储装置。进而，“计算机能够读取的记录介质”也包括经由互联网等网络或电话线路等通信线路而发送程序的情况的通信线那样在短时间期间动态地保持程序的介质、成为这种情况的服务器或客户端的计算机系统内部的易失性存储器那样将程序保持一定时间的介质。而且，上述程序可以是用于实现前述的功能的一部分的程序，进而也可以通过将前述的功能与已经记录在计算机系统中的程序的组合来实现。
[0079]在上述的实施方式中，作为被测定物，假定了玻璃，但是在树脂板等透明平板的检查中也可以应用本发明。
[0080]以上，参照附图，详细叙述了本发明的实施方式，但是具体的结构并不局限于该实施方式，也包括不脱离本发明的主旨的范围的设计变更等。
[0081 ]本申请基于在2013年12月27日提出申请的日本专利申请2013-272661，并将其内容作为参照而援引于此。
[0082]工业实用性
[0083]根据本发明，即便是更薄的被测定物，也能够高精度地算出表面或背面的板厚方向的位置。
[0084]标号说明
[0085]10…形状测定装置
[0086]11…图案显示物
[0087]12…相机
[0088]13…运算装置
[0089]31…反射像取得部
[0090]32…分离部
[0091]33…表面位置算出部
[0092]34…背面位置算出部
【主权项】
1.一种形状测定装置，其特征在于，具备: 预定图案，配置在与作为透明的平板的被测定物相对的一方或另一方； 摄像部，构成为所述被测定物的表面及背面的所述预定图案的各自的反射像在与所述预定图案的延伸方向垂直的分离方向上分离，通过拍摄所述被测定物的表面及背面的所述预定图案的反射像而生成包括所述表面及背面各自的反射像的图像； 运算部，基于所述被测定物、所述预定图案、所述摄像部的位置关系，从所述摄像部拍摄到的反射像算出所述表面和所述背面中的至少一方的倾斜角度;及 决定部，基于所算出的所述倾斜角度来决定所述表面和所述背面中的至少一方的形状， 所述预定图案包括多个要素，所述多个要素的各要素的在与所述延伸方向垂直的方向上形成的一端和另一端在所述延伸方向上相互偏离。2.根据权利要求1所述的形状测定装置，其中， 所述多个要素中的所述各要素在所述延伸方向上反复配置。3.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其中， 所述多个要素中的所述各要素形成为长条形状。4.根据权利要求1?3中任一项所述的形状测定装置，其中， 所述多个要素中的相邻的第一要素和第二要素中，所述第一要素从一端朝向另一端而向作为所述延伸方向的一方的方向的第一方向偏离而形成，所述第二要素从所述第一要素侧的一端朝向另一端而向作为所述延伸方向的另一方的方向的第二方向偏离而形成。5.根据权利要求1?4中任一项所述的形状测定装置，其中， 所述多个要素中的所述各要素彼此分离而形成。6.根据权利要求1?4中任一项所述的形状测定装置，其中， 所述预定图案利用所述多个要素而形成为正弦波的形状。7.根据权利要求1?6中任一项所述的形状测定装置，其中， 所述预定图案具有:第一图案列，利用所述多个要素形成;及第二图案列，与所述第一图案列平行地配置，且与所述第一图案列呈线对称。8.一种形状测定方法，其特征在于，具有: 第一工序，拍摄预定图案的在所述被测定物的表面及背面的各自的反射像作为在与所述预定图案的延伸方向垂直的分离方向上分离的图像，其中，所述预定图案配置在与作为透明的平板的被测定物相对的一方或另一方； 第二工序，基于所述被测定物、所述预定图案、拍摄所述图像的位置的位置关系，从在所述第一工序中拍摄到的反射像算出所述表面和所述背面中的至少一方的倾斜角度;及第三工序，基于所算出的所述倾斜角度来决定所述表面和所述背面中的至少一方的形状， 所述预定图案包括多个要素，所述多个要素的各要素的在与所述延伸方向垂直的方向上形成的一端和另一端在所述延伸方向上相互偏离。9.根据权利要求8所述的形状测定方法，其中， 所述多个要素中的所述各要素在所述延伸方向上反复配置。10.根据权利要求8或9所述的形状测定方法，其中， 所述多个要素中的所述各要素形成为长条形状。11.根据权利要求8?10中任一项所述的形状测定方法，其中， 所述多个要素中的相邻的第一要素和第二要素中，所述第一要素从一端朝向另一端而向作为所述延伸方向的一方的方向的第一方向偏离而形成，所述第二要素从所述第一要素侧的一端朝向另一端而向作为所述延伸方向的另一方的方向的第二方向偏离而形成。12.根据权利要求8?11中任一项所述的形状测定方法，其中， 所述多个要素中的所述各要素彼此分离而形成。13.根据权利要求8?11中任一项所述的形状测定方法，其中， 所述预定图案利用所述多个要素而形成为正弦波的形状。14.一种玻璃板的制造方法，具有如下工序:将玻璃的原材料熔融而得到熔融玻璃的熔融工序;将所述熔融玻璃成形为连续的板状的玻璃带的成形工序;一边使所述玻璃带移动一边逐渐进行冷却的缓冷工序;测定所述玻璃带的表面形状的测定工序;将所述玻璃带切断的切断工序;及基于所述测定工序的测定结果来控制在所述缓冷工序中的缓冷条件的控制工序，其中， 所述测定工序是使用以所述玻璃带为测定对象的权利要求8?13中任一项所述的形状测定方法来进行测定的工序。
【文档编号】G01B11/25GK105849503SQ201480071278
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2014年12月22日
【发明人】大音仁昭, 菅原彰, 有田祐介, 池野田稔
【申请人】旭硝子株式会社