技术特征:
技术总结
一种检查设备包括光源。第一测量单元被配置为接收来自光源的光并将其引导到第一测量物体。第二测量单元被配置为接收来自光源的光并将其引导到第二测量物体。检查单元被配置为接收从第一测量单元提供的第一光信号并且使用第一光信号检查第一测量物体,并且接收从第二测量单元提供的第二光信号并且使用第二光信号检查第二测量物体。测量位置选择单元被配置为通过调整反射镜的角度来交替地启用两个测量单元的检查。
技术研发人员:安泰兴;金英德;朴相吉;朴峻范;岩阳一郎;田炳焕
受保护的技术使用者:三星电子株式会社
技术研发日:2018.09.13
技术公布日:2019.03.22