技术特征：
技术总结
本发明公开了一种声学微质量传感器及检测方法，所述声学微质量传感器包括：用于产生谐振频率的谐振器；承载谐振器振动模式的基片；在所述谐振器的下表面按照预设规律设置有用于通过逆压电效应来激励谐振器的两个简并谐振模式的压电薄膜；在所述谐振器中心区域设置有用于将所述谐振器中产生的简并谐振模式的能量限制在中心台阶区域的凸起的薄台阶；在所述谐振器表面等间隔设置有用于吸附待检测物质并引起谐振频率移动的功能化敏感膜。本发明通过电磁超声换能器非接触式激励谐振器的振动模式或者在谐振器表面镀上压电薄膜材料并利用其逆压电效应来激励谐振器的振动模式，快速、准确实现对待检测物质的检测。
技术研发人员：付琛;罗景庭;胡终须
受保护的技术使用者：深圳大学
技术研发日：2018.09.25
技术公布日：2019.02.22