一种基于肖特基势垒的气体光检测器的制作方法

文档序号:16678733发布日期:2019-01-19 00:11阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种基于肖特基势垒的气体光检测器,包括弧面在下方的半圆形透光棱镜,半圆形透光棱镜的平面上方设置有气体感应层,气体感应层的上方设置有N型半导体层,N型半导体层的上方设置有金属层,金属层与外接电源的正极电连接,N型半导体层外接电源的负极电连接;基于肖特基势垒的气体光检测器,通过在检测器中设置气体感应层,由入射光入射气体感应层从而引起肖特基结的肖特基势垒发生变化,不同气体填充在气体感应层,会引起肖特基势垒不同的变化,在已知入射光特性的情况,根据肖特基势垒的变化,判断待测气体的特性,该基于肖特基势垒的气体光检测器,结构简单,实现了基于肖特基势垒检测器的多用能应用。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:中山科立特光电科技有限公司
技术研发日:2018.10.16
技术公布日:2019.01.18
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