一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列的制作方法

本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列。

背景技术：

三轴陀螺仪是惯性导航系统的核心敏感器件，可以同时测量x轴、y轴、z轴方向上的角速度输入，其广泛应用于军事导航、深空探测等高精尖领域，具有极其广泛的应用前景。现有三轴陀螺仪主要分为两类：一类是组装式三轴陀螺仪（由三个单轴陀螺仪组装而成），此种三轴陀螺仪受组装工艺所限，存在测量精度低的问题。另一类是单片集成式三轴陀螺仪，此种三轴陀螺仪存在的问题是：其一，无法实现各驱动、检测方向的完全解耦，导致各模态之间的耦合误差大，由此导致测量精度低。其二，结构和加工工艺复杂，导致难以实现大批量生产，由此导致生产成本高。基于此，有必要发明一种全新的三轴陀螺仪，以解决现有三轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题。

技术实现要素：

本发明为了解决现有三轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题，提供了一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列。

本发明是采用如下技术方案实现的：

一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列，包括玻璃基底、第一正方形框架、第一驱动模块、x轴检测模块、第一z轴检测模块、第一驱动检测模块、第二正方形框架、第二驱动模块、y轴检测模块、第二z轴检测模块、第二驱动检测模块；

第一正方形框架位于玻璃基底的上方，且第一正方形框架的四边均与玻璃基底平行；第一正方形框架的下表面与玻璃基底的上表面之间留有间隙；

所述第一驱动模块包括左纵向条形可动驱动极板、右纵向条形可动驱动极板、两个左锚块、两个右锚块、两根左方波形弹性支撑悬梁、两根右方波形弹性支撑悬梁、八对左固定驱动极板、八对右固定驱动极板、左一弹性解耦悬梁、右一弹性解耦悬梁；

左纵向条形可动驱动极板和右纵向条形可动驱动极板对称分布于第一正方形框架的内腔左部和内腔右部，且左纵向条形可动驱动极板和右纵向条形可动驱动极板均与玻璃基底平行；左纵向条形可动驱动极板的下表面和右纵向条形可动驱动极板的下表面均与玻璃基底的上表面之间留有间隙；左纵向条形可动驱动极板的表面开设有八个上下贯通的左矩形驱动孔，且八个左矩形驱动孔由前向后等距排列；右纵向条形可动驱动极板的表面开设有八个上下贯通的右矩形驱动孔，且八个右矩形驱动孔由前向后等距排列；两个左锚块均固定于玻璃基底的上表面，且两个左锚块对称分布于第一正方形框架的内腔左前角和内腔左后角；两个右锚块均固定于玻璃基底的上表面，且两个右锚块对称分布于第一正方形框架的内腔右前角和内腔右后角；两根左方波形弹性支撑悬梁的首端面分别与左纵向条形可动驱动极板的前端面和后端面固定；两根左方波形弹性支撑悬梁的尾端分别通过两个左锚块与玻璃基底的上表面固定；两根右方波形弹性支撑悬梁的首端面分别与右纵向条形可动驱动极板的前端面和后端面固定；两根右方波形弹性支撑悬梁的尾端分别通过两个右锚块与玻璃基底的上表面固定；八对左固定驱动极板均垂直固定于玻璃基底的上表面，且八对左固定驱动极板一一对应地对称分布于八个左矩形驱动孔的内腔前部和内腔后部；八对左固定驱动极板和左纵向条形可动驱动极板构成变间距式静电力驱动电容；八对右固定驱动极板均垂直固定于玻璃基底的上表面，且八对右固定驱动极板一一对应地对称分布于八个右矩形驱动孔的内腔前部和内腔后部；八对右固定驱动极板和右纵向条形可动驱动极板构成变间距式静电力驱动电容；左一弹性解耦悬梁包括左一u形弹性解耦悬梁段、左二u形弹性解耦悬梁段、左直形弹性解耦悬梁段；左一u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于第一正方形框架的左内侧面前部和左内侧面后部；左二u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于左纵向条形可动驱动极板的左端面前部和左端面后部；左直形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于左一u形弹性解耦悬梁段的底边中部和左二u形弹性解耦悬梁段的底边中部；右一弹性解耦悬梁包括右一u形弹性解耦悬梁段、右二u形弹性解耦悬梁段、右直形弹性解耦悬梁段；右一u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于第一正方形框架的右内侧面前部和右内侧面后部；右二u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于右纵向条形可动驱动极板的右端面前部和右端面后部；右直形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于右一u形弹性解耦悬梁段的底边中部和右二u形弹性解耦悬梁段的底边中部；

所述x轴检测模块包括纵向条形x轴检测板、四个x轴检测梳齿、左二弹性解耦悬梁、右二弹性解耦悬梁；

纵向条形x轴检测板位于第一正方形框架的内腔中部，且纵向条形x轴检测板与玻璃基底平行；纵向条形x轴检测板的下表面与玻璃基底的上表面之间留有间隙；纵向条形x轴检测板的表面开设有四个上下贯通的纵向条形检测孔，且四个纵向条形检测孔由左向右等距排列；四个x轴检测梳齿均垂直固定于玻璃基底的上表面，且四个x轴检测梳齿一一对应地位于四个纵向条形检测孔的内腔中部；四个x轴检测梳齿的上端面均低于纵向条形x轴检测板的上表面，且四个x轴检测梳齿和纵向条形x轴检测板构成变面积式电容检测；左二弹性解耦悬梁包括左矩形连接板、两个左连接块、两根左一l形弹性解耦悬梁段、两根左二l形弹性解耦悬梁段；左矩形连接板位于左纵向条形可动驱动极板的右端面和纵向条形x轴检测板的左端面之间，且左矩形连接板与玻璃基底平行；左矩形连接板的下表面与玻璃基底的上表面之间留有间隙；两个左连接块分别固定于纵向条形x轴检测板的左端面前部和左端面后部；两根左一l形弹性解耦悬梁段的首端分别垂直固定于左纵向条形可动驱动极板的右端面前部和右端面后部；两根左一l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于左矩形连接板的前端面左部和后端面左部；两根左二l形弹性解耦悬梁段的首端分别通过两个左连接块与纵向条形x轴检测板的左端面前部和左端面后部固定；两根左二l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于左矩形连接板的前端面右部和后端面右部；右二弹性解耦悬梁包括右矩形连接板、两个右连接块、两根右一l形弹性解耦悬梁段、两根右二l形弹性解耦悬梁段；右矩形连接板位于右纵向条形可动驱动极板的左端面和纵向条形x轴检测板的右端面之间，且右矩形连接板与玻璃基底平行；右矩形连接板的下表面与玻璃基底的上表面之间留有间隙；两个右连接块分别固定于纵向条形x轴检测板的右端面前部和右端面后部；两根右一l形弹性解耦悬梁段的首端分别垂直固定于右纵向条形可动驱动极板的左端面前部和左端面后部；两根右一l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于右矩形连接板的前端面右部和后端面右部；两根右二l形弹性解耦悬梁段的首端分别通过两个右连接块与纵向条形x轴检测板的右端面前部和右端面后部固定；两根右二l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于右矩形连接板的前端面左部和后端面左部；

所述第一z轴检测模块包括八个前可动z轴检测梳齿、八个后可动z轴检测梳齿、八对前固定z轴检测梳齿、八对后固定z轴检测梳齿；

八个前可动z轴检测梳齿均垂直固定于第一正方形框架的前外侧面，且八个前可动z轴检测梳齿由左向右等距排列；八个前可动z轴检测梳齿的下端面均与玻璃基底的上表面之间留有间隙；八个后可动z轴检测梳齿均垂直固定于第一正方形框架的后外侧面，且八个后可动z轴检测梳齿由左向右等距排列；八个后可动z轴检测梳齿的下端面均与玻璃基底的上表面之间留有间隙；八对前固定z轴检测梳齿均垂直固定于玻璃基底的上表面；八对前固定z轴检测梳齿一一对应地对称分布于八个前可动z轴检测梳齿的两侧，且八对前固定z轴检测梳齿和八个前可动z轴检测梳齿一一对应地构成差动式变间距电容检测；八对后固定z轴检测梳齿均垂直固定于玻璃基底的上表面；八对后固定z轴检测梳齿一一对应地对称分布于八个后可动z轴检测梳齿的两侧，且八对后固定z轴检测梳齿和八个后可动z轴检测梳齿一一对应地构成差动式变间距电容检测；

所述第一驱动检测模块包括八个左可动驱动检测梳齿、八个右可动驱动检测梳齿、八对左固定驱动检测梳齿、八对右固定驱动检测梳齿；

八个左可动驱动检测梳齿均垂直固定于第一正方形框架的左外侧面，且八个左可动驱动检测梳齿由前向后等距排列；八个左可动驱动检测梳齿的下端面均与玻璃基底的上表面之间留有间隙；八个右可动驱动检测梳齿均垂直固定于第一正方形框架的右外侧面，且八个右可动驱动检测梳齿由前向后等距排列；八个右可动驱动检测梳齿的下端面均与玻璃基底的上表面之间留有间隙；八对左固定驱动检测梳齿均垂直固定于玻璃基底的上表面；八对左固定驱动检测梳齿一一对应地对称分布于八个左可动驱动检测梳齿的两侧，且八对左固定驱动检测梳齿和八个左可动驱动检测梳齿一一对应地构成差动式变间距电容检测；八对右固定驱动检测梳齿均垂直固定于玻璃基底的上表面；八对右固定驱动检测梳齿一一对应地对称分布于八个右可动驱动检测梳齿的两侧，且八对右固定驱动检测梳齿和八个右可动驱动检测梳齿一一对应地构成差动式变间距电容检测；

第二正方形框架位于玻璃基底的上方，且第二正方形框架的四边均与玻璃基底平行；第二正方形框架的下表面与玻璃基底的上表面之间留有间隙；

所述第二驱动模块包括前横向条形可动驱动极板、后横向条形可动驱动极板、两个前锚块、两个后锚块、两根前方波形弹性支撑悬梁、两根后方波形弹性支撑悬梁、八对前固定驱动极板、八对后固定驱动极板、前一弹性解耦悬梁、后一弹性解耦悬梁；

前横向条形可动驱动极板和后横向条形可动驱动极板对称分布于第二正方形框架的内腔前部和内腔后部，且前横向条形可动驱动极板和后横向条形可动驱动极板均与玻璃基底平行；前横向条形可动驱动极板的下表面和后横向条形可动驱动极板的下表面均与玻璃基底的上表面之间留有间隙；前横向条形可动驱动极板的表面开设有八个上下贯通的前矩形驱动孔，且八个前矩形驱动孔由左向右等距排列；后横向条形可动驱动极板的表面开设有八个上下贯通的后矩形驱动孔，且八个后矩形驱动孔由左向右等距排列；两个前锚块均固定于玻璃基底的上表面，且两个前锚块对称分布于第二正方形框架的内腔左前角和内腔右前角；两个后锚块均固定于玻璃基底的上表面，且两个后锚块对称分布于第二正方形框架的内腔左后角和内腔右后角；两根前方波形弹性支撑悬梁的首端面分别与前横向条形可动驱动极板的左端面和右端面固定；两根前方波形弹性支撑悬梁的尾端分别通过两个前锚块与玻璃基底的上表面固定；两根后方波形弹性支撑悬梁的首端面分别与后横向条形可动驱动极板的左端面和右端面固定；两根后方波形弹性支撑悬梁的尾端分别通过两个后锚块与玻璃基底的上表面固定；八对前固定驱动极板均垂直固定于玻璃基底的上表面，且八对前固定驱动极板一一对应地对称分布于八个前矩形驱动孔的内腔左部和内腔右部；八对前固定驱动极板和前横向条形可动驱动极板构成变间距式静电力驱动电容；八对后固定驱动极板均垂直固定于玻璃基底的上表面，且八对后固定驱动极板一一对应地对称分布于八个后矩形驱动孔的内腔左部和内腔右部；八对后固定驱动极板和后横向条形可动驱动极板构成变间距式静电力驱动电容；前一弹性解耦悬梁包括前一u形弹性解耦悬梁段、前二u形弹性解耦悬梁段、前直形弹性解耦悬梁段；前一u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于第二正方形框架的前内侧面左部和前内侧面右部；前二u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于前横向条形可动驱动极板的前端面左部和前端面右部；前直形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于前一u形弹性解耦悬梁段的底边中部和前二u形弹性解耦悬梁段的底边中部；后一弹性解耦悬梁包括后一u形弹性解耦悬梁段、后二u形弹性解耦悬梁段、后直形弹性解耦悬梁段；后一u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于第二正方形框架的后内侧面左部和后内侧面右部；后二u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于后横向条形可动驱动极板的后端面左部和后端面右部；后直形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于后一u形弹性解耦悬梁段的底边中部和后二u形弹性解耦悬梁段的底边中部；

所述y轴检测模块包括横向条形y轴检测板、四个y轴检测梳齿、前二弹性解耦悬梁、后二弹性解耦悬梁；

横向条形y轴检测板位于第二正方形框架的内腔中部，且横向条形y轴检测板与玻璃基底平行；横向条形y轴检测板的下表面与玻璃基底的上表面之间留有间隙；横向条形y轴检测板的表面开设有四个上下贯通的横向条形检测孔，且四个横向条形检测孔由前向后等距排列；四个y轴检测梳齿均垂直固定于玻璃基底的上表面，且四个y轴检测梳齿一一对应地位于四个横向条形检测孔的内腔中部；四个y轴检测梳齿的上端面均低于横向条形y轴检测板的上表面，且四个y轴检测梳齿和横向条形y轴检测板构成变面积式电容检测；前二弹性解耦悬梁包括前矩形连接板、两个前连接块、两根前一l形弹性解耦悬梁段、两根前二l形弹性解耦悬梁段；前矩形连接板位于前横向条形可动驱动极板的后端面和横向条形y轴检测板的前端面之间，且前矩形连接板与玻璃基底平行；前矩形连接板的下表面与玻璃基底的上表面之间留有间隙；两个前连接块分别固定于横向条形y轴检测板的前端面左部和前端面右部；两根前一l形弹性解耦悬梁段的首端分别垂直固定于前横向条形可动驱动极板的后端面左部和后端面右部；两根前一l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于前矩形连接板的左端面前部和右端面前部；两根前二l形弹性解耦悬梁段的首端分别通过两个前连接块与横向条形y轴检测板的前端面左部和前端面右部固定；两根前二l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于前矩形连接板的左端面后部和右端面后部；后二弹性解耦悬梁包括后矩形连接板、两个后连接块、两根后一l形弹性解耦悬梁段、两根后二l形弹性解耦悬梁段；后矩形连接板位于后横向条形可动驱动极板的前端面和横向条形y轴检测板的后端面之间，且后矩形连接板与玻璃基底平行；后矩形连接板的下表面与玻璃基底的上表面之间留有间隙；两个后连接块分别固定于横向条形y轴检测板的后端面左部和后端面右部；两根后一l形弹性解耦悬梁段的首端分别垂直固定于后横向条形可动驱动极板的前端面左部和前端面右部；两根后一l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于后矩形连接板的左端面后部和右端面后部；两根后二l形弹性解耦悬梁段的首端分别通过两个后连接块与横向条形y轴检测板的后端面左部和后端面右部固定；两根后二l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于后矩形连接板的左端面前部和右端面前部；

所述第二z轴检测模块包括八个左可动z轴检测梳齿、八个右可动z轴检测梳齿、八对左固定z轴检测梳齿、八对右固定z轴检测梳齿；

八个左可动z轴检测梳齿均垂直固定于第二正方形框架的左外侧面，且八个左可动z轴检测梳齿由前向后等距排列；八个左可动z轴检测梳齿的下端面均与玻璃基底的上表面之间留有间隙；八个右可动z轴检测梳齿均垂直固定于第二正方形框架的右外侧面，且八个右可动z轴检测梳齿由前向后等距排列；八个右可动z轴检测梳齿的下端面均与玻璃基底的上表面之间留有间隙；八对左固定z轴检测梳齿均垂直固定于玻璃基底的上表面；八对左固定z轴检测梳齿一一对应地对称分布于八个左可动z轴检测梳齿的两侧，且八对左固定z轴检测梳齿和八个左可动z轴检测梳齿一一对应地构成差动式变间距电容检测；八对右固定z轴检测梳齿均垂直固定于玻璃基底的上表面；八对右固定z轴检测梳齿一一对应地对称分布于八个右可动z轴检测梳齿的两侧，且八对右固定z轴检测梳齿和八个右可动z轴检测梳齿一一对应地构成差动式变间距电容检测；

所述第二驱动检测模块包括八个前可动驱动检测梳齿、八个后可动驱动检测梳齿、八对前固定驱动检测梳齿、八对后固定驱动检测梳齿；

八个前可动驱动检测梳齿均垂直固定于第二正方形框架的前外侧面，且八个前可动驱动检测梳齿由左向右等距排列；八个前可动驱动检测梳齿的下端面均与玻璃基底的上表面之间留有间隙；八个后可动驱动检测梳齿均垂直固定于第二正方形框架的后外侧面，且八个后可动驱动检测梳齿由左向右等距排列；八个后可动驱动检测梳齿的下端面均与玻璃基底的上表面之间留有间隙；八对前固定驱动检测梳齿均垂直固定于玻璃基底的上表面；八对前固定驱动检测梳齿一一对应地对称分布于八个前可动驱动检测梳齿的两侧，且八对前固定驱动检测梳齿和八个前可动驱动检测梳齿一一对应地构成差动式变间距电容检测；八对后固定驱动检测梳齿均垂直固定于玻璃基底的上表面；八对后固定驱动检测梳齿一一对应地对称分布于八个后可动驱动检测梳齿的两侧，且八对后固定驱动检测梳齿和八个后可动驱动检测梳齿一一对应地构成差动式变间距电容检测。

工作时，将位于八个左矩形驱动孔（右矩形驱动孔）内腔前部的八个左固定驱动极板（右固定驱动极板）通过引线连接在一起并施加正向电压，将位于八个左矩形驱动孔（右矩形驱动孔）内腔后部的八个左固定驱动极板（右固定驱动极板）通过引线连接在一起并施加反向电压，由此使得每对左固定驱动极板（右固定驱动极板）均构成一个推挽式驱动电容，左纵向条形可动驱动极板（右纵向条形可动驱动极板）由此在静电力的驱动下进行前后振动，并带动第一正方形框架和纵向条形x轴检测板进行前后振动。将位于八个前矩形驱动孔（后矩形驱动孔）内腔左部的八个前固定驱动极板（后固定驱动极板）通过引线连接在一起并施加正向电压，将位于八个前矩形驱动孔（后矩形驱动孔）内腔右部的八个前固定驱动极板（后固定驱动极板）通过引线连接在一起并施加反向电压，由此使得每对前固定驱动极板（后固定驱动极板）均构成一个推挽式驱动电容，前横向条形可动驱动极板（后横向条形可动驱动极板）由此在静电力的驱动下进行左右振动，并带动第二正方形框架和横向条形y轴检测板进行左右振动。具体工作过程如下：一、测量x轴方向上的角速度输入：当x轴方向上没有角速度输入时，纵向条形x轴检测板与四个x轴检测梳齿的重叠面积保持不变，纵向条形x轴检测板和四个x轴检测梳齿形成的电容的容量保持不变。此时，通过检测纵向条形x轴检测板和四个x轴检测梳齿形成的电容的容量，即可解算出x轴方向上的角速度输入为零。当x轴方向上有角速度输入时，纵向条形x轴检测板在哥氏力作用下进行上下振动，由此使得纵向条形x轴检测板与四个x轴检测梳齿的重叠面积发生变化，从而使得纵向条形x轴检测板和四个x轴检测梳齿形成的电容的容量发生变化。此时，通过检测纵向条形x轴检测板和四个x轴检测梳齿形成的电容的容量，即可解算出x轴方向上的角速度输入。二、测量y轴方向上的角速度输入：当y轴方向上没有角速度输入时，横向条形y轴检测板与四个y轴检测梳齿的重叠面积保持不变，横向条形y轴检测板和四个y轴检测梳齿形成的电容的容量保持不变。此时，通过检测横向条形y轴检测板和四个y轴检测梳齿形成的电容的容量，即可解算出y轴方向上的角速度输入为零。当y轴方向上有角速度输入时，横向条形y轴检测板在哥氏力作用下进行上下振动，由此使得横向条形y轴检测板与四个y轴检测梳齿的重叠面积发生变化，从而使得横向条形y轴检测板和四个y轴检测梳齿形成的电容的容量发生变化。此时，通过检测横向条形y轴检测板和四个y轴检测梳齿形成的电容的容量，即可解算出y轴方向上的角速度输入。三、测量z轴方向上的角速度输入：当z轴方向上没有角速度输入时，八个前可动z轴检测梳齿（后可动z轴检测梳齿）与八对前固定z轴检测梳齿（后固定z轴检测梳齿）的间距保持不变，八个左可动z轴检测梳齿（右可动z轴检测梳齿）与八对左固定z轴检测梳齿（右固定z轴检测梳齿）的间距保持不变，八个前可动z轴检测梳齿（后可动z轴检测梳齿）和八对前固定z轴检测梳齿（后固定z轴检测梳齿）形成的电容的容量保持不变，八个左可动z轴检测梳齿（右可动z轴检测梳齿）和八对左固定z轴检测梳齿（右固定z轴检测梳齿）形成的电容的容量保持不变。此时，通过检测八个前可动z轴检测梳齿（后可动z轴检测梳齿）和八对前固定z轴检测梳齿（后固定z轴检测梳齿）形成的电容的容量，或者通过检测八个左可动z轴检测梳齿（右可动z轴检测梳齿）和八对左固定z轴检测梳齿（右固定z轴检测梳齿）形成的电容的容量，即可解算出z轴方向上的角速度输入为零。当z轴方向上有角速度输入时，第一正方形框架在哥氏力作用下进行左右振动，第二正方形框架在哥氏力作用下进行前后振动，由此使得八个前可动z轴检测梳齿（后可动z轴检测梳齿）与八对前固定z轴检测梳齿（后固定z轴检测梳齿）的间距发生变化，同时使得八个左可动z轴检测梳齿（右可动z轴检测梳齿）与八对左固定z轴检测梳齿（右固定z轴检测梳齿）的间距发生变化，从而使得八个前可动z轴检测梳齿（后可动z轴检测梳齿）和八对前固定z轴检测梳齿（后固定z轴检测梳齿）形成的电容的容量发生变化，同时使得八个左可动z轴检测梳齿（右可动z轴检测梳齿）和八对左固定z轴检测梳齿（右固定z轴检测梳齿）形成的电容的容量发生变化。此时，通过检测八个前可动z轴检测梳齿（后可动z轴检测梳齿）和八对前固定z轴检测梳齿（后固定z轴检测梳齿）形成的电容的容量，或者通过检测八个左可动z轴检测梳齿（右可动z轴检测梳齿）和八对左固定z轴检测梳齿（右固定z轴检测梳齿）形成的电容的容量，即可解算出z轴方向上的角速度输入。四、驱动检测：当第一正方形框架进行前后振动时，八个左可动驱动检测梳齿（右可动驱动检测梳齿）随之进行前后振动，由此使得八个左可动驱动检测梳齿（右可动驱动检测梳齿）与八对左固定驱动检测梳齿（右固定驱动检测梳齿）的间距发生变化，从而使得八个左可动驱动检测梳齿（右可动驱动检测梳齿）和八对左固定驱动检测梳齿（右固定驱动检测梳齿）形成的电容的容量发生变化。此时，通过检测八个左可动驱动检测梳齿（右可动驱动检测梳齿）和八对左固定驱动检测梳齿（右固定驱动检测梳齿）形成的电容的容量，即可实现驱动检测功能。当第二正方形框架进行左右振动时，八个前可动驱动检测梳齿（后可动驱动检测梳齿）随之进行左右振动，由此使得八个前可动驱动检测梳齿（后可动驱动检测梳齿）与八对前固定驱动检测梳齿（后固定驱动检测梳齿）的间距发生变化，从而使得八个前可动驱动检测梳齿（后可动驱动检测梳齿）和八对前固定驱动检测梳齿（后固定驱动检测梳齿）形成的电容的容量发生变化。此时，通过检测八个前可动驱动检测梳齿（后可动驱动检测梳齿）和八对前固定驱动检测梳齿（后固定驱动检测梳齿）形成的电容的容量，即可实现驱动检测功能。

基于上述过程，与现有三轴陀螺仪相比，本发明所述的一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列通过采用全新结构，实现了同时测量x轴、y轴、z轴方向上的角速度输入，由此具备了如下优点：一、与现有组装式三轴陀螺仪相比，本发明采用了单片集成式结构，因此其不再受组装工艺所限，由此有效提高了测量精度。二、与现有单片集成式三轴陀螺仪相比，本发明具备了如下优点：其一，本发明实现了各驱动、检测方向的完全解耦，由此有效减小了各模态之间的耦合误差，从而有效提高了测量精度。其二，本发明的结构和加工工艺更简单，因此其能够实现大批量生产，由此有效降低了生产成本。

本发明结构合理、设计巧妙，有效解决了现有三轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题，适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图中：1-玻璃基底，2-第一正方形框架，301a-左纵向条形可动驱动极板，301b-右纵向条形可动驱动极板，302a-左锚块，302b-右锚块，303a-左方波形弹性支撑悬梁，303b-右方波形弹性支撑悬梁，304a-左固定驱动极板，304b-右固定驱动极板，305a-左一弹性解耦悬梁，305b-右一弹性解耦悬梁，401-纵向条形x轴检测板，402-x轴检测梳齿，403a-左二弹性解耦悬梁，403b-右二弹性解耦悬梁，501a-前可动z轴检测梳齿，501b-后可动z轴检测梳齿，502a-前固定z轴检测梳齿，502b-后固定z轴检测梳齿，601a-左可动驱动检测梳齿，601b-右可动驱动检测梳齿，602a-左固定驱动检测梳齿，602b-右固定驱动检测梳齿，7-第二正方形框架，801a-前横向条形可动驱动极板，801b-后横向条形可动驱动极板，802a-前锚块，802b-后锚块，803a-前方波形弹性支撑悬梁，803b-后方波形弹性支撑悬梁，804a-前固定驱动极板，804b-后固定驱动极板，805a-前一弹性解耦悬梁，805b-后一弹性解耦悬梁，901-横向条形y轴检测板，902-y轴检测梳齿，903a-前二弹性解耦悬梁，903b-后二弹性解耦悬梁，1001a-左可动z轴检测梳齿，1001b-右可动z轴检测梳齿，1002a-左固定z轴检测梳齿，1002b-右固定z轴检测梳齿，1101a-前可动驱动检测梳齿，1101b-后可动驱动检测梳齿，1102a-前固定驱动检测梳齿，1102b-后固定驱动检测梳齿。

具体实施方式

一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列，包括玻璃基底1、第一正方形框架2、第一驱动模块、x轴检测模块、第一z轴检测模块、第一驱动检测模块、第二正方形框架7、第二驱动模块、y轴检测模块、第二z轴检测模块、第二驱动检测模块；

第一正方形框架2位于玻璃基底1的上方，且第一正方形框架2的四边均与玻璃基底1平行；第一正方形框架2的下表面与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；

所述第一驱动模块包括左纵向条形可动驱动极板301a、右纵向条形可动驱动极板301b、两个左锚块302a、两个右锚块302b、两根左方波形弹性支撑悬梁303a、两根右方波形弹性支撑悬梁303b、八对左固定驱动极板304a、八对右固定驱动极板304b、左一弹性解耦悬梁305a、右一弹性解耦悬梁305b；

左纵向条形可动驱动极板301a和右纵向条形可动驱动极板301b对称分布于第一正方形框架2的内腔左部和内腔右部，且左纵向条形可动驱动极板301a和右纵向条形可动驱动极板301b均与玻璃基底1平行；左纵向条形可动驱动极板301a的下表面和右纵向条形可动驱动极板301b的下表面均与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；左纵向条形可动驱动极板301a的表面开设有八个上下贯通的左矩形驱动孔，且八个左矩形驱动孔由前向后等距排列；右纵向条形可动驱动极板301b的表面开设有八个上下贯通的右矩形驱动孔，且八个右矩形驱动孔由前向后等距排列；两个左锚块302a均固定于玻璃基底1的上表面，且两个左锚块302a对称分布于第一正方形框架2的内腔左前角和内腔左后角；两个右锚块302b均固定于玻璃基底1的上表面，且两个右锚块302b对称分布于第一正方形框架2的内腔右前角和内腔右后角；两根左方波形弹性支撑悬梁303a的首端面分别与左纵向条形可动驱动极板301a的前端面和后端面固定；两根左方波形弹性支撑悬梁303a的尾端分别通过两个左锚块302a与玻璃基底1的上表面固定；两根右方波形弹性支撑悬梁303b的首端面分别与右纵向条形可动驱动极板301b的前端面和后端面固定；两根右方波形弹性支撑悬梁303b的尾端分别通过两个右锚块302b与玻璃基底1的上表面固定；八对左固定驱动极板304a均垂直固定于玻璃基底1的上表面，且八对左固定驱动极板304a一一对应地对称分布于八个左矩形驱动孔的内腔前部和内腔后部；八对左固定驱动极板304a和左纵向条形可动驱动极板301a构成变间距式静电力驱动电容；八对右固定驱动极板304b均垂直固定于玻璃基底1的上表面，且八对右固定驱动极板304b一一对应地对称分布于八个右矩形驱动孔的内腔前部和内腔后部；八对右固定驱动极板304b和右纵向条形可动驱动极板301b构成变间距式静电力驱动电容；左一弹性解耦悬梁305a包括左一u形弹性解耦悬梁段、左二u形弹性解耦悬梁段、左直形弹性解耦悬梁段；左一u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于第一正方形框架2的左内侧面前部和左内侧面后部；左二u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于左纵向条形可动驱动极板301a的左端面前部和左端面后部；左直形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于左一u形弹性解耦悬梁段的底边中部和左二u形弹性解耦悬梁段的底边中部；右一弹性解耦悬梁305b包括右一u形弹性解耦悬梁段、右二u形弹性解耦悬梁段、右直形弹性解耦悬梁段；右一u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于第一正方形框架2的右内侧面前部和右内侧面后部；右二u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于右纵向条形可动驱动极板301b的右端面前部和右端面后部；右直形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于右一u形弹性解耦悬梁段的底边中部和右二u形弹性解耦悬梁段的底边中部；

所述x轴检测模块包括纵向条形x轴检测板401、四个x轴检测梳齿402、左二弹性解耦悬梁403a、右二弹性解耦悬梁403b；

纵向条形x轴检测板401位于第一正方形框架2的内腔中部，且纵向条形x轴检测板401与玻璃基底1平行；纵向条形x轴检测板401的下表面与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；纵向条形x轴检测板401的表面开设有四个上下贯通的纵向条形检测孔，且四个纵向条形检测孔由左向右等距排列；四个x轴检测梳齿402均垂直固定于玻璃基底1的上表面，且四个x轴检测梳齿402一一对应地位于四个纵向条形检测孔的内腔中部；四个x轴检测梳齿402的上端面均低于纵向条形x轴检测板401的上表面，且四个x轴检测梳齿402和纵向条形x轴检测板401构成变面积式电容检测；左二弹性解耦悬梁403a包括左矩形连接板、两个左连接块、两根左一l形弹性解耦悬梁段、两根左二l形弹性解耦悬梁段；左矩形连接板位于左纵向条形可动驱动极板301a的右端面和纵向条形x轴检测板401的左端面之间，且左矩形连接板与玻璃基底1平行；左矩形连接板的下表面与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；两个左连接块分别固定于纵向条形x轴检测板401的左端面前部和左端面后部；两根左一l形弹性解耦悬梁段的首端分别垂直固定于左纵向条形可动驱动极板301a的右端面前部和右端面后部；两根左一l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于左矩形连接板的前端面左部和后端面左部；两根左二l形弹性解耦悬梁段的首端分别通过两个左连接块与纵向条形x轴检测板401的左端面前部和左端面后部固定；两根左二l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于左矩形连接板的前端面右部和后端面右部；右二弹性解耦悬梁403b包括右矩形连接板、两个右连接块、两根右一l形弹性解耦悬梁段、两根右二l形弹性解耦悬梁段；右矩形连接板位于右纵向条形可动驱动极板301b的左端面和纵向条形x轴检测板401的右端面之间，且右矩形连接板与玻璃基底1平行；右矩形连接板的下表面与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；两个右连接块分别固定于纵向条形x轴检测板401的右端面前部和右端面后部；两根右一l形弹性解耦悬梁段的首端分别垂直固定于右纵向条形可动驱动极板301b的左端面前部和左端面后部；两根右一l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于右矩形连接板的前端面右部和后端面右部；两根右二l形弹性解耦悬梁段的首端分别通过两个右连接块与纵向条形x轴检测板401的右端面前部和右端面后部固定；两根右二l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于右矩形连接板的前端面左部和后端面左部；

所述第一z轴检测模块包括八个前可动z轴检测梳齿501a、八个后可动z轴检测梳齿501b、八对前固定z轴检测梳齿502a、八对后固定z轴检测梳齿502b；

八个前可动z轴检测梳齿501a均垂直固定于第一正方形框架2的前外侧面，且八个前可动z轴检测梳齿501a由左向右等距排列；八个前可动z轴检测梳齿501a的下端面均与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；八个后可动z轴检测梳齿501b均垂直固定于第一正方形框架2的后外侧面，且八个后可动z轴检测梳齿501b由左向右等距排列；八个后可动z轴检测梳齿501b的下端面均与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；八对前固定z轴检测梳齿502a均垂直固定于玻璃基底1的上表面；八对前固定z轴检测梳齿502a一一对应地对称分布于八个前可动z轴检测梳齿501a的两侧，且八对前固定z轴检测梳齿502a和八个前可动z轴检测梳齿501a一一对应地构成差动式变间距电容检测；八对后固定z轴检测梳齿502b均垂直固定于玻璃基底1的上表面；八对后固定z轴检测梳齿502b一一对应地对称分布于八个后可动z轴检测梳齿501b的两侧，且八对后固定z轴检测梳齿502b和八个后可动z轴检测梳齿501b一一对应地构成差动式变间距电容检测；

所述第一驱动检测模块包括八个左可动驱动检测梳齿601a、八个右可动驱动检测梳齿601b、八对左固定驱动检测梳齿602a、八对右固定驱动检测梳齿602b；

八个左可动驱动检测梳齿601a均垂直固定于第一正方形框架2的左外侧面，且八个左可动驱动检测梳齿601a由前向后等距排列；八个左可动驱动检测梳齿601a的下端面均与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；八个右可动驱动检测梳齿601b均垂直固定于第一正方形框架2的右外侧面，且八个右可动驱动检测梳齿601b由前向后等距排列；八个右可动驱动检测梳齿601b的下端面均与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；八对左固定驱动检测梳齿602a均垂直固定于玻璃基底1的上表面；八对左固定驱动检测梳齿602a一一对应地对称分布于八个左可动驱动检测梳齿601a的两侧，且八对左固定驱动检测梳齿602a和八个左可动驱动检测梳齿601a一一对应地构成差动式变间距电容检测；八对右固定驱动检测梳齿602b均垂直固定于玻璃基底1的上表面；八对右固定驱动检测梳齿602b一一对应地对称分布于八个右可动驱动检测梳齿601b的两侧，且八对右固定驱动检测梳齿602b和八个右可动驱动检测梳齿601b一一对应地构成差动式变间距电容检测；

第二正方形框架7位于玻璃基底1的上方，且第二正方形框架7的四边均与玻璃基底1平行；第二正方形框架7的下表面与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；

所述第二驱动模块包括前横向条形可动驱动极板801a、后横向条形可动驱动极板801b、两个前锚块802a、两个后锚块802b、两根前方波形弹性支撑悬梁803a、两根后方波形弹性支撑悬梁803b、八对前固定驱动极板804a、八对后固定驱动极板804b、前一弹性解耦悬梁805a、后一弹性解耦悬梁805b；

前横向条形可动驱动极板801a和后横向条形可动驱动极板801b对称分布于第二正方形框架7的内腔前部和内腔后部，且前横向条形可动驱动极板801a和后横向条形可动驱动极板801b均与玻璃基底1平行；前横向条形可动驱动极板801a的下表面和后横向条形可动驱动极板801b的下表面均与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；前横向条形可动驱动极板801a的表面开设有八个上下贯通的前矩形驱动孔，且八个前矩形驱动孔由左向右等距排列；后横向条形可动驱动极板801b的表面开设有八个上下贯通的后矩形驱动孔，且八个后矩形驱动孔由左向右等距排列；两个前锚块802a均固定于玻璃基底1的上表面，且两个前锚块802a对称分布于第二正方形框架7的内腔左前角和内腔右前角；两个后锚块802b均固定于玻璃基底1的上表面，且两个后锚块802b对称分布于第二正方形框架7的内腔左后角和内腔右后角；两根前方波形弹性支撑悬梁803a的首端面分别与前横向条形可动驱动极板801a的左端面和右端面固定；两根前方波形弹性支撑悬梁803a的尾端分别通过两个前锚块802a与玻璃基底1的上表面固定；两根后方波形弹性支撑悬梁803b的首端面分别与后横向条形可动驱动极板801b的左端面和右端面固定；两根后方波形弹性支撑悬梁803b的尾端分别通过两个后锚块802b与玻璃基底1的上表面固定；八对前固定驱动极板804a均垂直固定于玻璃基底1的上表面，且八对前固定驱动极板804a一一对应地对称分布于八个前矩形驱动孔的内腔左部和内腔右部；八对前固定驱动极板804a和前横向条形可动驱动极板801a构成变间距式静电力驱动电容；八对后固定驱动极板804b均垂直固定于玻璃基底1的上表面，且八对后固定驱动极板804b一一对应地对称分布于八个后矩形驱动孔的内腔左部和内腔右部；八对后固定驱动极板804b和后横向条形可动驱动极板801b构成变间距式静电力驱动电容；前一弹性解耦悬梁805a包括前一u形弹性解耦悬梁段、前二u形弹性解耦悬梁段、前直形弹性解耦悬梁段；前一u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于第二正方形框架7的前内侧面左部和前内侧面右部；前二u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于前横向条形可动驱动极板801a的前端面左部和前端面右部；前直形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于前一u形弹性解耦悬梁段的底边中部和前二u形弹性解耦悬梁段的底边中部；后一弹性解耦悬梁805b包括后一u形弹性解耦悬梁段、后二u形弹性解耦悬梁段、后直形弹性解耦悬梁段；后一u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于第二正方形框架7的后内侧面左部和后内侧面右部；后二u形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于后横向条形可动驱动极板801b的后端面左部和后端面右部；后直形弹性解耦悬梁段的两端分别垂直固定于后一u形弹性解耦悬梁段的底边中部和后二u形弹性解耦悬梁段的底边中部；

所述y轴检测模块包括横向条形y轴检测板901、四个y轴检测梳齿902、前二弹性解耦悬梁903a、后二弹性解耦悬梁903b；

横向条形y轴检测板901位于第二正方形框架7的内腔中部，且横向条形y轴检测板901与玻璃基底1平行；横向条形y轴检测板901的下表面与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；横向条形y轴检测板901的表面开设有四个上下贯通的横向条形检测孔，且四个横向条形检测孔由前向后等距排列；四个y轴检测梳齿902均垂直固定于玻璃基底1的上表面，且四个y轴检测梳齿902一一对应地位于四个横向条形检测孔的内腔中部；四个y轴检测梳齿902的上端面均低于横向条形y轴检测板901的上表面，且四个y轴检测梳齿902和横向条形y轴检测板901构成变面积式电容检测；前二弹性解耦悬梁903a包括前矩形连接板、两个前连接块、两根前一l形弹性解耦悬梁段、两根前二l形弹性解耦悬梁段；前矩形连接板位于前横向条形可动驱动极板801a的后端面和横向条形y轴检测板901的前端面之间，且前矩形连接板与玻璃基底1平行；前矩形连接板的下表面与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；两个前连接块分别固定于横向条形y轴检测板901的前端面左部和前端面右部；两根前一l形弹性解耦悬梁段的首端分别垂直固定于前横向条形可动驱动极板801a的后端面左部和后端面右部；两根前一l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于前矩形连接板的左端面前部和右端面前部；两根前二l形弹性解耦悬梁段的首端分别通过两个前连接块与横向条形y轴检测板901的前端面左部和前端面右部固定；两根前二l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于前矩形连接板的左端面后部和右端面后部；后二弹性解耦悬梁903b包括后矩形连接板、两个后连接块、两根后一l形弹性解耦悬梁段、两根后二l形弹性解耦悬梁段；后矩形连接板位于后横向条形可动驱动极板801b的前端面和横向条形y轴检测板901的后端面之间，且后矩形连接板与玻璃基底1平行；后矩形连接板的下表面与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；两个后连接块分别固定于横向条形y轴检测板901的后端面左部和后端面右部；两根后一l形弹性解耦悬梁段的首端分别垂直固定于后横向条形可动驱动极板801b的前端面左部和前端面右部；两根后一l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于后矩形连接板的左端面后部和右端面后部；两根后二l形弹性解耦悬梁段的首端分别通过两个后连接块与横向条形y轴检测板901的后端面左部和后端面右部固定；两根后二l形弹性解耦悬梁段的尾端分别垂直固定于后矩形连接板的左端面前部和右端面前部；

所述第二z轴检测模块包括八个左可动z轴检测梳齿1001a、八个右可动z轴检测梳齿1001b、八对左固定z轴检测梳齿1002a、八对右固定z轴检测梳齿1002b；

八个左可动z轴检测梳齿1001a均垂直固定于第二正方形框架7的左外侧面，且八个左可动z轴检测梳齿1001a由前向后等距排列；八个左可动z轴检测梳齿1001a的下端面均与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；八个右可动z轴检测梳齿1001b均垂直固定于第二正方形框架7的右外侧面，且八个右可动z轴检测梳齿1001b由前向后等距排列；八个右可动z轴检测梳齿1001b的下端面均与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；八对左固定z轴检测梳齿1002a均垂直固定于玻璃基底1的上表面；八对左固定z轴检测梳齿1002a一一对应地对称分布于八个左可动z轴检测梳齿1001a的两侧，且八对左固定z轴检测梳齿1002a和八个左可动z轴检测梳齿1001a一一对应地构成差动式变间距电容检测；八对右固定z轴检测梳齿1002b均垂直固定于玻璃基底1的上表面；八对右固定z轴检测梳齿1002b一一对应地对称分布于八个右可动z轴检测梳齿1001b的两侧，且八对右固定z轴检测梳齿1002b和八个右可动z轴检测梳齿1001b一一对应地构成差动式变间距电容检测；

所述第二驱动检测模块包括八个前可动驱动检测梳齿1101a、八个后可动驱动检测梳齿1101b、八对前固定驱动检测梳齿1102a、八对后固定驱动检测梳齿1102b；

八个前可动驱动检测梳齿1101a均垂直固定于第二正方形框架7的前外侧面，且八个前可动驱动检测梳齿1101a由左向右等距排列；八个前可动驱动检测梳齿1101a的下端面均与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；八个后可动驱动检测梳齿1101b均垂直固定于第二正方形框架7的后外侧面，且八个后可动驱动检测梳齿1101b由左向右等距排列；八个后可动驱动检测梳齿1101b的下端面均与玻璃基底1的上表面之间留有间隙；八对前固定驱动检测梳齿1102a均垂直固定于玻璃基底1的上表面；八对前固定驱动检测梳齿1102a一一对应地对称分布于八个前可动驱动检测梳齿1101a的两侧，且八对前固定驱动检测梳齿1102a和八个前可动驱动检测梳齿1101a一一对应地构成差动式变间距电容检测；八对后固定驱动检测梳齿1102b均垂直固定于玻璃基底1的上表面；八对后固定驱动检测梳齿1102b一一对应地对称分布于八个后可动驱动检测梳齿1101b的两侧，且八对后固定驱动检测梳齿1102b和八个后可动驱动检测梳齿1101b一一对应地构成差动式变间距电容检测。

具体实施时，玻璃基底1的上表面分别溅射有四个x轴检测引线电极、八对前z轴检测引线电极、八对后z轴检测引线电极、八对左驱动检测引线电极、八对右驱动检测引线电极、四个y轴检测引线电极、八对左z轴检测引线电极、八对右z轴检测引线电极、八对前驱动检测引线电极、八对后驱动检测引线电极；四个x轴检测引线电极与四个x轴检测梳齿402一一对应连接；八对前z轴检测引线电极与八对前固定z轴检测梳齿502a一一对应连接；八对后z轴检测引线电极与八对后固定z轴检测梳齿502b一一对应连接；八对左驱动检测引线电极与八对左固定驱动检测梳齿602a一一对应连接；八对右驱动检测引线电极与八对右固定驱动检测梳齿602b一一对应连接；四个y轴检测引线电极与四个y轴检测梳齿902一一对应连接；八对左z轴检测引线电极与八对左固定z轴检测梳齿1002a一一对应连接；八对右z轴检测引线电极与八对右固定z轴检测梳齿1002b一一对应连接；八对前驱动检测引线电极与八对前固定驱动检测梳齿1102a一一对应连接；八对后驱动检测引线电极与八对后固定驱动检测梳齿1102b一一对应连接。工作时，通过四个x轴检测引线电极可以检测纵向条形x轴检测板和四个x轴检测梳齿形成的电容的容量。通过八对前z轴检测引线电极（后z轴检测引线电极）可以检测八个前可动z轴检测梳齿（后可动z轴检测梳齿）和八对前固定z轴检测梳齿（后固定z轴检测梳齿）形成的电容的容量。通过八对左驱动检测引线电极（右驱动检测引线电极）可以检测八个左可动驱动检测梳齿（右可动驱动检测梳齿）和八对左固定驱动检测梳齿（右固定驱动检测梳齿）形成的电容的容量。通过四个y轴检测引线电极可以检测横向条形y轴检测板和四个y轴检测梳齿形成的电容的容量。通过八对左z轴检测引线电极（右z轴检测引线电极）可以检测八个左可动z轴检测梳齿（右可动z轴检测梳齿）和八对左固定z轴检测梳齿（右固定z轴检测梳齿）形成的电容的容量。通过八对前驱动检测引线电极（后驱动检测引线电极）可以检测八个前可动驱动检测梳齿（后可动驱动检测梳齿）和八对前固定驱动检测梳齿（后固定驱动检测梳齿）形成的电容的容量。所述玻璃基底1为长方形玻璃基底，且第一正方形框架2和第二正方形框架7对称分布于玻璃基底1的后部上方和前部上方；所述第一正方形框架2、第一驱动模块、x轴检测模块、第一z轴检测模块、第一驱动检测模块、第二正方形框架7、第二驱动模块、y轴检测模块、第二z轴检测模块、第二驱动检测模块均采用硅制成。