一种原子力显微镜用电解池及原子力显微镜的制作方法

文档序号:17061970发布日期:2019-03-08 18:16阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种原子力显微镜用电解池,包括电解池本体,其特征在于,还包括环形对电极和片状工作电极,电解池本体的侧壁的内壁面上设置有支撑结构,所述支撑结构具有在水平姿态下设置所述环形对电极的支撑面,片状工作电极平行间隔设置在环形对电极的下方,环形对电极的中心孔形成在电化学测试时供测试探针穿过的检测通道。

2.如权利要求1所述的原子力显微镜用电解池,其特征在于,所述侧壁的内壁面的下端向内凸起形成环形内凸台,环形内凸台的上端面形成所述支撑面。

3.如权利要求2所述的原子力显微镜用电解池,其特征在于,所述支撑面与侧壁上端面的距离不大于支撑面与侧壁下端面的距离。

4.如权利要求1所述的原子力显微镜用电解池,其特征在于,片状工作电极密封安装在所述侧壁的下端面上,片状工作电极和侧壁围成所述电解池本体。

5.如权利要求1所述的原子力显微镜用电解池,其特征在于,电解池本体还包括底壁,所述底壁上设置有用于安装片状工作电极的通槽,通槽的内槽面形成密封安装工作电极的安装面,底壁的下端面与电解池支撑基底之间的间隙形成供片状工作电极的导电引线引出电解池外的导电通路。

6.一种原子力显微镜,包括测试探针和电解池,电解池包括电解池本体,其特征在于,还包括环形对电极和片状工作电极,电解池本体的侧壁的内壁面上设置有支撑结构,所述支撑结构具有在水平姿态下设置所述环形对电极的支撑面,片状工作电极平行间隔设置在环形对电极的下方,环形对电极的中心孔形成在电化学测试时供测试探针穿过的检测通道。

7.如权利要求6所述的原子力显微镜,其特征在于,所述侧壁的内壁面的下端向内凸起形成环形内凸台,环形内凸台的上端面形成所述支撑面。

8.如权利要求7所述的原子力显微镜,其特征在于,所述支撑面与侧壁上端面的距离不大于支撑面与侧壁下端面的距离。

9.如权利要求6所述的原子力显微镜,其特征在于,片状工作电极密封安装在所述侧壁的下端面上,片状工作电极和侧壁围成所述电解池本体。

10.如权利要求6所述的原子力显微镜,其特征在于,电解池本体还包括底壁,所述底壁上设置有用于安装片状工作电极的通槽,通槽的内槽面形成密封安装工作电极的安装面,底壁的下端面与电解池支撑基底之间的间隙形成供片状工作电极的导电引线引出电解池外的导电通路。

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